一种有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统，旨在解决现有的有机胶显影废液回收系统在回收处理时，由于有机胶的分子量更大，对膜的粘附性更大，很容易污染堵塞纳滤膜，TAAH分离效果会逐步降低的问题，包括有沿显影废液分离过滤流程依次设置并通过主管路连接的：废液储罐，用于盛放显影废液；陶瓷膜过滤组件，用于截留显影废液中高分子的有机胶，以获得含高分子有机胶的非透过液和含有少量有机胶的透过液；产品储罐，用于盛放含有少量有机胶的透过液。本实用新型专利技术尤其适用于显影废液回收再生系统中高分子的有机胶分离，具有较高的社会使用价值和应用前景。较高的社会使用价值和应用前景。较高的社会使用价值和应用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统


[0001]本技术涉及半导体及平板显示器制造
，具体涉及一种有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统。

技术介绍

[0002]半导体及平板显示器制造过程中在晶圆或玻璃基板上形成图案的方法：首先在基板上或基板上形成的金属或非金属膜层上涂布光致抗蚀剂，然后紫外光透过形成图案的光罩对光致抗蚀剂进行曝光。利用曝光和未曝光光致抗蚀剂溶解度的差异，使用显影液对其进行显影，之后再进行蚀刻，从而实现形成图案的目的。
[0003]显影液的主要成分为四烷基氢氧化铵(即TAAH)，显影后，显影废液含有光致抗蚀剂和未完成利用的TAAH，工厂需要花费大量费用对废液进行生物降解处理。
[0004]公开号为CN1504414A的中国技术专利，公开了一种显影废液的处理方法：通过多级纳滤装置过滤去除光刻胶，实现TAAH和光刻胶的分离从而实现TAAH的循环利用，但由于有机胶的分子量更大，对膜的粘附性更大，采用此方法进行循环利用时，很容易污染堵塞纳滤膜，TAAH分离效果会逐步降低。
[0005]为降低废液处理费用，减少废水中的氨氮排放，提高TAAH的资源利用，我们提出了一种有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统以对有机胶显影废液回收纯化TAAH再利用。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于解决或至少缓解现有技术中所存在的问题。
[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：
[0008]一种有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统，包括有沿显影废液分离过滤流程依次设置并通过主管路连接的：
[0009]废液储罐，用于盛放显影废液；
[0010]陶瓷膜过滤组件，用于截留显影废液中高分子的有机胶，以获得含高分子有机胶的非透过液和含有少量有机胶的透过液；
[0011]产品储罐，用于盛放含有少量有机胶的透过液。
[0012]可选地，所述陶瓷膜过滤组件至少包括有依次逐步截留显影废液中高分子的有机胶的一级陶瓷膜过滤件、二级陶瓷膜过滤件和三级陶瓷膜过滤件，以获得含高分子有机胶的非透过液和含有少量有机胶的透过液。
[0013]可选地，所述一级陶瓷膜过滤件的陶瓷膜为孔径50
‑
200nm，膜通量为120L/m2·
h的微滤陶瓷膜。
[0014]可选地，所述二级陶瓷膜过滤件的陶瓷膜为孔径2
‑
50nm，膜通量为40L/m2·
h的超滤陶瓷膜。
[0015]可选地，所述三级陶瓷膜过滤件的陶瓷膜为孔径≤2nm纳米，膜通量为30L/m2·
h的纳滤陶瓷膜。
[0016]可选地，所述二级陶瓷膜过滤件和三级陶瓷膜过滤件上均设有向一级陶瓷膜过滤件输入侧主管路回流非透过液的回流管。
[0017]可选地，还包括有设置于废液储罐与陶瓷膜过滤组件之间的初滤件，用于初步过滤去除显影废液中可见固体杂质。
[0018]可选地，所述陶瓷膜过滤组件上设有用于向外部废水处理系统排出陶瓷膜过滤组件中截留的非透过液的废液输出管和安装于废液输出管上以控制非透过液流量的控制阀。
[0019]可选地，所述废液储罐与初滤件之间的主管路上安装有第一高压泵，初滤件与陶瓷膜过滤组件之间的主管路上安装有第二高压泵。
[0020]本技术实施例提供了一种有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统，具备以下有益效果：
[0021]1、本技术的有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统可对显影废液进行多级陶瓷膜过滤，显影废液中的TAAH和小分子有机胶透过多级陶瓷膜逐步过滤成为含有少量有机胶的透过液，而高分子的有机胶树脂被多级陶瓷膜截留成为非透过液，实现显影废液中高分子的有机胶的分离，便于后续工序的TAAH提纯，降低显影废液回收再生处理难度，提高TAAH的资源利用。
[0022]2、本技术中的多级陶瓷膜抗污染性强，且有机胶不容易污染堵塞膜，在使用中可采用反冲洗等多种手段进行清洗，使用寿命长且设备使用成本低。
附图说明
[0023]下面将以明确易懂的方式，结合附图说明优选实施方式，对一种有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统的上述特性、技术特征、优点及其实现方式予以进一步说明。
[0024]图1为本技术中有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统的流程图；
[0025]图2为本技术中陶瓷膜过滤件的截面图。
[0026]图中：废液储罐10、产品储罐20、第一高压泵30、第二高压泵40、初滤件50、陶瓷膜过滤组件60、一级陶瓷膜过滤件60A、二级陶瓷膜过滤件60B、三级陶瓷膜过滤件60C、回流管601、废液输出管70、控制阀701。
具体实施方式
[0027]下面结合附图1
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2和实施例对本技术进一步说明：
[0028]实施例1
[0029]一种有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统，包括有沿显影废液处理流程设置并通过主管路依次连接的：
[0030]废液储罐10，用于盛放显影废液；
[0031]初滤件50，用于初步过滤去除显影废液中可见固体杂质，本实施例中，初滤件50为滤袋过滤器；
[0032]陶瓷膜过滤组件60，用于截留显影废液中高分子的有机胶，以获得含高分子有机胶的非透过液和含有少量有机胶的透过液；
[0033]产品储罐20，用于盛放含有少量有机胶的透过液；
[0034]其中，所述废液储罐10与初滤件50之间的主管路上安装有第一高压泵30，初滤件
50与陶瓷膜过滤组件60之间的主管路上安装有第二高压泵40；
[0035]所述陶瓷膜过滤组件60至少包括有依次逐步截留显影废液中高分子的有机胶的一级陶瓷膜过滤件60A、二级陶瓷膜过滤件60B和三级陶瓷膜过滤件60C，以获得含高分子有机胶的非透过液和含有少量有机胶的透过液，本实施例中，二级陶瓷膜过滤件60B和三级陶瓷膜过滤件60C上均设有向一级陶瓷膜过滤件60A输入侧主管路回流非透过液的回流管601；
[0036]可以理解的是，陶瓷膜又称无机陶瓷膜，是以无机陶瓷材料经特殊工艺制备而形成的非对称膜。与有机膜相比，陶瓷膜抗污染性强，有机胶不容易污染堵塞膜，且陶瓷膜机械强度高，耐酸、碱、氧化，可以采用反冲洗等多种手段进行清洗。
[0037]所述一级陶瓷膜过滤件60A的陶瓷膜为孔径50
‑
200nm，膜通量为120L/m2·
h的微滤陶瓷膜；所述二级陶瓷膜过滤件60B的陶瓷膜为孔径2
‑
50nm，膜通量为40L/m2·
h的超滤陶瓷膜；所述三级陶瓷膜过滤件60C的陶瓷膜为孔径≤2nm纳米，膜通量为30L/m2·
h的纳滤陶瓷膜。
[0038]本实施例中，如图1所示，所述陶瓷膜过滤组件60上设有用于向外部废水处理系统排出陶瓷膜过滤组件60中截留的非透过液的废液输出管70和安装于废液输出管上以控制非透过液流量的控本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统，其特征在于，包括有沿显影废液分离过滤流程依次设置并通过主管路连接的：废液储罐(10)，用于盛放显影废液；陶瓷膜过滤组件(60)，用于截留显影废液中高分子的有机胶，以获得含高分子有机胶的非透过液和含有少量有机胶的透过液；产品储罐(20)，用于盛放含有少量有机胶的透过液；其中，所述陶瓷膜过滤组件(60)至少包括有依次逐步截留显影废液中高分子的有机胶的一级陶瓷膜过滤件(60A)、二级陶瓷膜过滤件(60B)和三级陶瓷膜过滤件(60C)，以获得含高分子有机胶的非透过液和含有少量有机胶的透过液：所述一级陶瓷膜过滤件(60A)的陶瓷膜为孔径50
‑
200nm，膜通量为120L/m2·
h的微滤陶瓷膜；所述二级陶瓷膜过滤件(60B)的陶瓷膜为孔径2
‑
50nm，膜通量为40L/m2·
h的超滤陶瓷膜；所述三级陶瓷膜过滤件(60C)的陶瓷膜为孔径≤2nm纳米，膜通量为30L/m2·

【专利技术属性】
技术研发人员：王庆赞，
申请(专利权)人：江苏想象医疗科技有限公司，
类型：新型
国别省市：