定序器时间跳跃执行制造技术

一种方法，其包括接收序列配方中的多个操作。多个操作与在基板处理系统中处理多个基板相关联。该方法进一步包括识别与多个操作对应的多个完成时间。多个完成时间中的每一完成时间对应于多个操作中的相应操作的完成。该方法进一步包括通过对多个完成时间中的每一者设定虚拟时间轴来模拟多个操作，以产生序列配方的时间表。该方法进一步包括基于时间表，使多个基板得到处理，或执行校正动作。或执行校正动作。或执行校正动作。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】定序器时间跳跃执行


[0001]本公开内容涉及诸如基板处理系统的制造系统中的时间跳跃，且特定而言涉及制造系统中的定序器时间跳跃。

技术介绍

[0002]通过使用制造设备执行一个或多个制造处理来生产产品。举例而言，基板处理设备用于通过将基板传送至处理腔室且在处理腔室中对基板执行处理来处理基板。

技术实现思路

[0003]下文为本公开内容的简单概述，其提供对本公开内容的一些方面的基本理解。本概述并非对本公开内容的广泛概述。本概述不预期指明本公开内容的重要或关键要素，也不描述本公开内容的特定实施的任何范围或权利要求书的任何范围。其唯一目的是以简单的形式呈现本公开内容的一些概念，作为对其后所提供的更详细描述的序言。
[0004]在本公开内容的一个方面中，方法包括接收序列配方中的多个操作。多个操作与在基板处理系统中处理多个基板相关联。该方法进一步包括识别与多个操作对应的多个完成时间。多个完成时间中的每一完成时间对应于多个操作中相应操作的完成。该方法进一步包括通过对多个完成时间中的每一者设定虚拟时间轴来模拟多个操作，以产生序列配方的时间表(schedule)。该方法进一步包括基于时间表，使多个基板得到处理，或执行校正动作。
[0005]在本公开内容的另一方面中，非暂时性机器可读储存介质储存指令，这些指令被当执行时使处理装置接收序列配方中的多个操作。多个操作与在基板处理系统中处理多个基板相关联。处理装置进一步识别与多个操作对应的多个完成时间。多个完成时间中的每一完成时间对应于多个操作中相应操作的完成。处理装置进一步通过对多个完成时间中的每一者设定虚拟时间轴来模拟多个操作，以产生序列配方的时间表。处理装置进一步基于时间表，使多个基板得到处理，或执行校正动作。
[0006]在本公开内容的另一方面中，系统包括存储器及耦接至存储器的处理装置。处理装置接收序列配方中的多个操作。多个操作与在基板处理系统中处理多个基板相关联。处理装置进一步识别与多个操作对应的多个完成时间。多个完成时间中的每一完成时间对应于多个操作中相应操作的完成。处理装置进一步通过对多个完成时间中的每一者设定虚拟时间轴来模拟多个操作，以产生序列配方的时间表。处理装置进一步基于时间表，使多个基板得到处理，或执行校正动作。
附图说明
[0007]通过示例说明本公开内容，且本公开内容不受附图的各图的限制。
[0008]图1A为根据某些实施方式的图示例示性系统架构的方块图。
[0009]图1B为根据某些实施方式的处理系统。
[0010]图2A至图2B为根据某些实施方式的与时间跳跃相关联的方法的流程图。
[0011]图3图示根据某些实施方式的时间跳跃图。
[0012]图4为根据某些实施方式的图示计算机系统的方块图。
具体实施方式
[0013]本文所描述的内容涉及定序器时间跳跃执行的技术。
[0014]通过使用制造设备执行一个或多个制造处理生产产品。举例而言，使用基板处理设备处理基板(例如晶片、半导体、显示器等)。基板处理系统基于序列配方处理基板，序列配方包括不同的操作，例如传输操作(例如将基板传送至不同位置的机器人)、处理操作(例如在处理腔室中处理基板)、清洁操作(例如在处理操作之后清洁处理腔室)和/或类似者。举例而言，在半导体处理中，使用具有多个处理操作的特定处理程序在基板上制造多层特征。基板处理系统(例如集群工具)包括多个处理腔室，以在不从(例如基板处理系统的)处理环境中移除基板的情况下执行配方的处理序列(例如在集群工具的处理腔室中完成的器件制造操作或处理配方操作的序列)。基板处理系统具有有限数量的机器人来执行传输操作及有限数量的处理腔室来执行处理操作。对于移动至下一操作的基板，基板要完成前一操作，对应类型的处理腔室是可用的，且对应的机器人是可用的。
[0015]在已知的系统中，基于系统的当前状态控制基板传输操作及处理操作。考虑到经由不同可能的机器人将基板移动至不同可能的处理腔室的不同可能的路线(routing)，在已知的系统中，以不一致的时序按许多不同的随机顺序对晶片进行路由(route)。路线的随机性及不同的时序导致基板处理系统中的设备停滞(deadlock)、随机延迟、产量降低、不同的基板在处理腔室中被延迟不同时间量进而导致基板的不均匀性，和/或类似者。
[0016]在一些已知的系统中，基于配方在基板处理系统中处理一批测试基板，以试图识别停滞、延迟和/或类似者。对一批测试基板执行配方的操作是耗时的，使用的资源(例如基板、基板处理材料、能量等)的量增加，且对基板处理系统造成损伤(例如磨损及撕裂)。
[0017]在一些已知的系统中，在计算机系统中执行对基板处理的实时模拟。将实时模拟认为是对基板的实际处理。举例而言，如果处理一定量的基板花费十小时，则实时处理也花费十小时。执行基板处理的实时模拟是耗时的，且使用的资源(例如能量、处理器负荷等)的量增加。
[0018]考虑到由已知的系统(例如处理一批测试基板，对基板处理的实时模拟)使用的时间及资源的量，测试不同可能的随机顺序的子集。完成这些测试案例的测试可花费数周。即使一些随机顺序(例如测试案例)得到测试且不导致停滞，但在实际使用中可发生不同的随机顺序(例如未测试的测试案例)，此举导致停滞、损伤、延迟、产量降低、基板不均匀性和/或类似者。
[0019]本文公开的装置、系统及方法提供调度器(scheduler)时间跳跃执行。处理装置接收序列配方的操作。操作包括与在基板处理系统中处理基板相关联的传输操作、处理操作及清洁操作。
[0020]处理装置识别序列配方的操作的完成时间。举例而言，处理装置识别传输操作(例如机器人已放下一个基板且准备好拾取下一基板)、处理操作(例如处理腔室已完成处理基板且准备好从处理腔室移除基板)及清洁操作(例如处理腔室已完成清洁且准备好接收下
一基板)中的每一者的完成时间。
[0021]处理装置通过对完成时间中的每一者设定虚拟时间轴来模拟操作，从而产生时间表(例如时刻表(timetable))来。处理装置通过设定虚拟时间轴以时间跳跃至每一完成时间来模拟操作。在一些实施方式中，通过使用虚拟时间轴，每一操作花费处理装置的中央处理单元(CPU)的一个循环，而非实际的实时。
[0022]时间跳跃是指从第一时间点跳至第二时间点(例如跳过中间时间点)。使用真实时间轴是指实际场景中的每一时间量在模拟中占据同一时间量。举例而言，对于实际基板的1分钟的传输操作及30分钟的处理操作，使用真实时间轴将花费31分钟来模拟。使用虚拟时间轴是指时间跳跃至真实场景中的时间点(例如同时跳过中间时间点)。举例而言，在1分钟处终止的传输操作及在31分钟处终止的处理操作使用虚拟时间轴将需要花费中央处理单元(CPU)的2个循环(例如约1纳秒)来模拟(例如通过在CPU一个循环中时间跳跃至传输操作的终点，随后在CPU另一循环中时间跳跃至处理操作的终点)。
[0023]通过使用虚拟时间轴模拟操作，处本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种方法，其包含以下步骤：接收序列配方中的多个操作，其中所述多个操作与在基板处理系统中处理多个基板相关联；识别对应于所述多个操作的多个完成时间，其中所述多个完成时间中的每一完成时间对应于所述多个操作中的相应操作的完成；通过对所述多个完成时间中的每一者设定虚拟时间轴来模拟所述多个操作，以产生所述序列配方的时间表；及基于所述时间表，使所述多个基板得到处理，或执行校正动作。2.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个操作包含基板传输操作、一个或多个基板处理操作及个或多个清洁操作。3.根据权利要求1所述的方法，其中识别所述多个完成时间的步骤包含以下步骤：基于所述序列配方及历史时序，确定所述多个操作中的每一操作的对应开始时间及对应总时间；及计算所述多个操作中的每一操作的所述对应开始时间及所述对应总时间的对应总和来产生所述多个完成时间。4.根据权利要求1所述的方法，其中模拟所述多个操作的步骤包含以下步骤：基于所述多个操作中的每一操作的对应开始时间及对应总时间产生唤醒队列；基于所述多个完成时间对所述唤醒队列中的所述多个操作进行排序；及对于所述唤醒队列中的所述多个操作中的每一操作，获取所述唤醒队列中的下一操作，且设定所述虚拟时间轴以时间跳跃至所述下一操作的对应完成时间，直至完成所述唤醒队列中的所述多个操作中的每一操作。5.根据权利要求1所述的方法，其中接收所述多个操作的步骤包含以下步骤：接收包含启发式逻辑的定序器代码，且其中模拟所述多个操作以产生所述时间表的步骤包含以下步骤：运行所述定序器代码以产生输出，并以所述序列配方的所述时间表的格式储存所述输出。6.根据权利要求1所述的方法，其中基于所述时间表使所述多个基板得到处理的步骤包含以下步骤：基于所述时间表，对所述基板处理系统内的一个或多个机器人进行预先定位，以用于一个或多个对应传输操作。7.根据权利要求1所述的方法，其中基于所述时间表使所述多个基板得到处理的步骤包含以下步骤：基于所述时间表，准备所述基板处理系统内的一个或多个处理腔室，以用于一个或多个对应的处理操作。8.根据权利要求1所述的方法，其进一步包含以下步骤：基于所述时间表预测第一盒基板的完成时间；及基于所述完成时间对一个或多个载体机器人进行预先定位，以从所述基板处理系统卸载所述第一盒基板，并将第二盒基板装载至所述基板处理系统。9.根据权利要求1所述的方法，其中所述使所述校正动作得到执行的步骤包含以下步骤：
基于所述时间表预测所述基板处理系统中的一个或多个停滞；及使所述序列配方得到更新以防止所述一个或多个停滞。10.一种非暂时性机器可读储存介质，其储存指令，所述指令被执行时使处理装置：接收序列配方中的多个操作，其中所述多个操作与在基板处理系统中处理多个基板相关联；识别对应于所述多个操作的多个完成时间，其中所述多个完成时间中的每一完成时间对应于所述多个操作中的相应操作的完成；通过对所述多个完成时间中的每一者设定虚拟时间轴来模拟所述多个操作，以产生所述序列配方的时间表；及基于所述时间表，使所述多个基板得到处理，或执行校正动作。11.根据权利要求10所述的非暂时性机器可读储存介质，其中所述多个操作包含基板传输操作、一个或多个基板处理操作及一个或多个清洁操作。12.根据权利要求10所述的非暂时性机器可读储存介质，其中为了识别所述多个完成时间，所述处理装置：基于所述序列配方及历史时序，确定所述多个操作中的每一操作的对应开始时间及对应总时间；及计算所述多个操作中的每一操作的所述对应...

【专利技术属性】
技术研发人员：王重阳，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：