过氧化氢的去除方法和去除装置以及纯水制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术的过氧化氢去除装置去除被处理水中含有的过氧化氢，具有阳极(11)和阴极(12)、以及设置于阳极(11)与阴极(12)之间且至少一部分填充有具有过氧化氢分解能力的金属催化剂的过氧化氢去除室(23)，在阳极(11)和阴极(12)之间施加直流电压。(12)之间施加直流电压。(12)之间施加直流电压。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】过氧化氢的去除方法和去除装置以及纯水制造装置


[0001]本专利技术涉及在排水处理、纯水/超纯水制造工序中，用于去除水中的过氧化氢的方法和装置以及纯水制造装置。

技术介绍

[0002]以往，在电子部件的清洗、表面处理中，过氧化氢作为氧化剂与酸、碱等药液一起被广泛使用。过氧化氢具有氧化力，因此需要适当地管理并去除，使得过氧化氢不会流入构成水处理系统的离子交换树脂装置等耐氧化性低的装置。通常，由氧化剂引起的劣化会对水处理设备造成不能恢复的致命的损伤。特别地，已知在电再生式脱离子装置(EDI：electrodeionization)内的离子交换树脂中，若存在氧化剂，则容易劣化。例如，已知在超纯水制造系统中若被处理水中含有过氧化氢，则超纯水制造系统中含有的离子交换树脂的一部分被氧化分解而引起有机物的溶出。
[0003]此外，由于过氧化氢具有氧化力而杀菌力也高，因此在想要将含有过氧化氢的排水从纯水系统向系统外的排水系统排出时，也有可能对排水处理系统中含有的生物处理设备造成影响，因此有必要预先将过氧化氢去除后排出。此外，在纯水/超纯水制造系统中，已本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种去除被处理水中含有的过氧化氢的方法，包括如下工序：在阳极与阴极之间施加直流电压，并且将所述被处理水通水于过氧化氢去除室，所述过氧化氢去除室设置于所述阳极与所述阴极之间，且在所述过氧化氢去除室的至少一部分填充有具有过氧化氢分解能力的金属催化剂。2.根据权利要求1所述的去除被处理水中含有的过氧化氢的方法，其中，在所述过氧化氢去除室中填充有离子交换体，且在所述离子交换体的至少一部分担载有所述金属催化剂。3.根据权利要求2所述的去除被处理水中含有的过氧化氢的方法，其中，所述离子交换体为阴离子交换体。4.根据权利要求2或3所述的去除被处理水中含有的过氧化氢的方法，其中，在所述通水的工序之后，将从所述过氧化氢去除室取出的所述离子交换体的自由状态下的体积除以所述过氧化氢去除室的容积所得的值即填充率为95％以上且125％以下。5.根据权利要求1至4中的任一项所述的去除被处理水中含有的过氧化氢的方法，其中，所述金属催化剂为铂族金属催化剂。6.根据权利要求1至5中的任一项所述的去除被处理水中含有的过氧化氢的方法，其中，所述过氧化氢去除室在朝向所述阳极的一侧由阴离子交换膜划分，且在朝向所述阴极的一侧由阳离子交换膜划分。7.根据权利要求1至6中的任一项所述的去除被处理水中含有的过氧化氢的方法，其中，所述被处理水中的过氧化氢浓度为1μg/L以上。8.根据权利要求1至7中的任一项所述的去除被处理水中含有的过氧化氢的方法，其中，所述被处理水包含碳酸成分。9.根据权利要求8所述的去除被处理水中含有的过氧化氢的方法，其中，所述被处理水中的所述碳酸成分的浓度以总碳酸计为0.01mg/L以上的CO2换算浓度。10.一种过氧化氢去除装置，去除被处理水中含有的过氧化氢，所述过氧化氢去除装置具有：阳极和阴极；以及过氧化氢去除室，其设置于所述阳极与所述阴极之间，且在所述过氧化氢去除室的至少一部分填充有具有过氧化氢分...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐佐木庆介，须藤史生，高橋一重，近藤司，柴崎贤治，阿部真弓，
申请(专利权)人：奥加诺株式会社，
类型：发明
国别省市：