组合物、干燥物、固化物、转印膜、转印膜的制造方法及图案形成方法技术

本发明专利技术的课题在于提供一种(1)即使在显影中产生气泡，也可缩短气泡产生到气泡消失为止的时间的组合物、(2)减少高速涂布中的涂布条纹的组合物及(3)它们的应用。本发明专利技术提供(1)包含碱溶性树脂、聚合性化合物、光聚合引发剂、表面活性剂及溶剂，通过Wilhelmy法测定的表面张力在25℃下为26.5mN/m以下的组合物、(2)包含表面活性剂及溶剂，通过Wilhelmy法测定的25℃下的表面张力T1与在25℃的温度及60％的相对湿度的环境下、在体积达到初始体积的60％的时间点通过Wilhelmy法测定的25℃下的表面张力T2满足T1＞T2的关系的组合物及(3)它们的应用。用。用。

【技术实现步骤摘要】
组合物、干燥物、固化物、转印膜、转印膜的制造方法及图案形成方法


[0001]本专利技术涉及一种组合物、干燥物、固化物、转印膜、转印膜的制造方法及图案形成方法。

技术介绍

[0002]在使用感光性组合物的图案形成方法中，例如，通过使用感光性组合物形成的感光性层的曝光及显影形成图案。感光性组合物有时还用于形成触摸面板用电极的保护膜的方法。例如，下述专利文献1中公开有一种用于形成触摸面板用电极的保护膜的感光性树脂组合物。专利文献1中公开的感光性树脂组合物含有具有羧基且酸值为30～120mgKOH/g的粘合剂聚合物、具有至少3个烯属不饱和基团的光聚合性化合物及光聚合引发剂。
[0003]专利文献1：国际公开第2013/084873号
[0004]在使用现有组合物的图案形成方法中，有时会在显影中产生气泡。若气泡产生到气泡消失为止的时间变长，则显影液与处理对象物的接触受阻，有可能降低显影的均匀性。
[0005]将组合物涂布于对象物时，有时会产生涂布条纹。作为产生涂布条纹的原因之一，可考虑如下现象。例如，认为从被称为狭缝涂布机的涂布装置吐出的组合物逐渐上升而在涂布装置的吐出口附近形成组合物的积液，之后因积液附着于涂膜上而产生涂布条纹。而且，涂布速度越快，越容易产生涂布条纹。

技术实现思路

[0006]本专利技术的一实施方式的目的在于提供一种即使在显影中产生气泡，也可缩短气泡产生到气泡消失为止的时间的组合物。
[0007]本专利技术的另一实施方式的目的在于提供一种减少高速涂布中的涂布条纹的组合物。
[0008]本专利技术的另一实施方式的目的在于提供一种上述组合物的干燥物。
[0009]本专利技术的另一实施方式的目的在于提供一种上述组合物的固化物。
[0010]本专利技术的另一实施方式的目的在于提供一种使用上述组合物的转印膜。
[0011]本专利技术的另一实施方式的目的在于提供一种使用上述组合物的转印膜的制造方法。
[0012]本专利技术的另一实施方式的目的在于提供一种使用上述组合物的图案形成方法。
[0013]本专利技术包括以下方式。
[0014]<1>一种组合物，其包含碱溶性树脂、聚合性化合物、光聚合引发剂、表面活性剂及溶剂，
[0015]上述组合物的通过Wilhelmy法测定的表面张力在25℃下为26.5mN/m以下。
[0016]<2>根据<1>所述的组合物，其中，
[0017]上述表面张力在25℃下为23.0mN/m以上。
[0018]<3>根据<1>或<2>所述的组合物，其中，
[0019]上述表面活性剂为选自氟系表面活性剂、硅酮系表面活性剂及烃系表面活性剂中的至少1种化合物。
[0020]<4>根据<1>或<2>所述的组合物，其中，
[0021]上述表面活性剂为硅酮系表面活性剂。
[0022]<5>根据<1>至<4>中任一项所述的组合物，其中，
[0023]通过Wilhelmy法测定的、上述表面活性剂的固体成分1质量份、1,000质量份的水及2,300质量份的甲醇的混合物的表面张力在25℃下为20.0mN/m～29.0mN/m。
[0024]<6>根据<1>至<5>中任一项所述的组合物，其中，
[0025]上述溶剂为选自甲乙酮、丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单甲醚、甲苯、二甲苯、异丁醇、苯基乙二醇、甲氧基丙基乙酸酯、苯氧乙醇、二丙二醇单甲醚、乙酸正丁酯、乙酸正丙酯、乙酸乙酯、乙酸异丙酯、乙酸异丁酯、乙酸甲酯、二丙酮醇、环己酮、乙二醇单乙醚、乙二醇单乙醚乙酸酯、乙二醇单
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正丁醚及乙二醇单甲醚中的至少1种化合物。
[0026]<7>一种转印膜的制造方法，其依次包括：
[0027]将<1>至<6>中任一项所述的组合物涂布于临时支承体上的工序；及
[0028]干燥上述组合物的工序。
[0029]<8>一种转印膜，其包含临时支承体及<1>至<6>中任一项所述的组合物的干燥物。
[0030]<9>一种图案形成方法，其依次包括：
[0031]准备包含基材及<1>至<6>中任一项所述的组合物的干燥物的层叠体的工序；
[0032]将上述干燥物曝光成图案状的工序：以及
[0033]使用显影液对上述干燥物进行显影而形成树脂图案的工序。
[0034]<10>一种固化物，其为<1>至<6>中任一项所述的组合物的固化物。
[0035]<11>一种组合物，其包含表面活性剂及溶剂，
[0036]所述组合物的通过Wilhelmy法测定的25℃下的表面张力T1与在25℃的温度及60％的相对湿度的环境下、在体积达到初始体积的60％的时间点通过Wilhelmy法测定的25℃下的表面张力T2满足T1＞T2的关系。
[0037]<12>根据<11>所述的组合物，其中，
[0038]上述表面张力T1为25mN/m～35mN/m。
[0039]<13>根据<11>或<12>所述的组合物，其中，
[0040]上述表面张力T2为20mN/m～26mN/m。
[0041]<14>根据<11>至<13>中任一项所述的组合物，其中，
[0042]上述表面张力T1及上述表面张力T2满足5mN/m＜(T1
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T2)＜10mN/m的关系。
[0043]<15>根据<11>至<14>中任一项所述的组合物，其中，
[0044]上述溶剂包含水及有机溶剂。
[0045]<16>根据<15>所述的组合物，其中，
[0046]上述有机溶剂是不与上述水本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种组合物，其包含碱溶性树脂、聚合性化合物、光聚合引发剂、表面活性剂及溶剂，所述组合物的通过Wilhelmy法测定的表面张力在25℃下为26.5mN/m以下。2.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述表面张力在25℃下为23.0mN/m以上。3.根据权利要求1或2所述的组合物，其中，所述表面活性剂为选自氟系表面活性剂、硅酮系表面活性剂及烃系表面活性剂中的至少1种化合物。4.根据权利要求1或2所述的组合物，其中，所述表面活性剂为硅酮系表面活性剂。5.根据权利要求1或2所述的组合物，其中，通过Wilhelmy法测定的、所述表面活性剂的固体成分1质量份、1000质量份的水及2300质量份的甲醇的混合物的表面张力在25℃下为20.0mN/m～29.0mN/m。6.根据权利要求1或2所述的组合物，其中，所述溶剂为选自甲乙酮、丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单甲醚、甲苯、二甲苯、异丁醇、苯基乙二醇、甲氧基丙基乙酸酯、苯氧乙醇、二丙二醇单甲醚、乙酸正丁酯、乙酸正丙酯、乙酸乙酯、乙酸异丙酯、乙酸异丁酯、乙酸甲酯、二丙酮醇、环己酮、乙二醇单乙醚、乙二醇单乙醚乙酸酯、乙二醇单
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正丁醚及乙二醇单甲醚中的至少1种化合物。7.一种转印膜的制造方法，其依次包括：将权利要求1至6中任一项所述的组合物涂布于临时支承体上的工序；及干燥所述组合物的工序。8.一种转印膜，其包含：临时支承体；及权利要求1至6中任一项所述的组合物的干燥物。9.一种图案形成方法，其依次包括：准备包含基材及权利要求1至6中任一项所述的组合物的干燥物的层叠体的工序；将所述干燥物曝光成图案状的工序：以及使用显影液对所述干燥物进行显影而形成树脂图案的工序。10.一种固化物，其为权利要求1至6中任一项所述的组合物的固化物。11.一种组合物，其包含表面活性剂及溶剂，所述组合物的通过Wilhelmy法测定的25℃下的表面张力T1与在25℃的温度及60％的相对湿度的环境下、在体积达到初...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木正弥，山口圭吾，有年阳平，梶谷忠志，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：