一种过滤组件及三氯氢硅尾气回收设备制造技术

本实用新型专利技术涉及三氯氢硅尾气回收设备领域，具体公开了一种过滤组件及三氯氢硅尾气回收设备，将尾气通入尾气管中，之后通过沉降器过滤出尾气中较大的固体杂质，之后通过沉降管对气体和固体进行分离，过滤后的尾气进入到气体过滤装置，通过内部的滤芯中将尾气中的气体和固体彻底分离，之后让二次过滤后的尾气进入冷凝器，设置冷凝温度在

【技术实现步骤摘要】
一种过滤组件及三氯氢硅尾气回收设备


[0001]本技术涉及三氯氢硅尾气回收设备领域，具体为一种过滤组件及三氯氢硅尾气回收设备。

技术介绍

[0002]三氯氢硅是合成有机硅的重要中间体,也是制备多晶硅的主要原料。制备三氯氢硅比较成熟的工艺是采用金属硅粉和气体氯化氢制备。
[0003]现有技术中，一般对三氯氢硅尾气处理主要采用：尾气水喷淋中和处理法和活性炭吸附法。
[0004]但是，这些方法在对尾气的处理并不彻底，并且对尾气中的氢气不能进行有效的回收和利用。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种过滤组件，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种过滤组件，所述抗震型重型汽车油箱支架包括：
[0007]沉降器，所述沉降器的一侧外壁上方设有尾气管，所述沉降器的底部设有沉降管，所述沉降器的另一侧外壁设有过滤管；
[0008]气体过滤装置，所述气体过滤装置的一侧外壁和过滤管固定连接，所述气体过滤装置上方设有盖板，所述气体过滤装置的另一侧外壁设有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种过滤组件，其特征在于：所述过滤组件包括：沉降器(1)，所述沉降器(1)的一侧外壁上方设有尾气管(2)，所述沉降器(1)的底部设有沉降管(3)，所述沉降器(1)的另一侧外壁设有过滤管(4)；气体过滤装置(5)，所述气体过滤装置(5)的一侧外壁和过滤管(4)固定连接，所述气体过滤装置(5)上方设有盖板(6)，所述气体过滤装置(5)的另一侧外壁设有冷凝器(8)；及吸附器(9)，所述吸附器(9)的一侧外壁和冷凝器(8)固定连接，所述吸附器(9)的另一侧外壁设有收集管(10)。2.根据权利要求1所述的一种过滤组件，其特征在于：所述沉降器(1)内壁和尾气管(2)外壁固定连接，所述沉降管(3)的外壁和沉降器(1)的内壁固定连接，所述过滤管(4)的外壁和沉降器(1)的内壁固定连接。3.根据权利要求2所述的一种过滤组件，其特征在于：所述气体过滤装置(5)内壁设有固定槽(15)，所述气体过滤装置(...

【专利技术属性】
技术研发人员：董同俊，雷亚洲，尚艳军，肖锋，
申请(专利权)人：河南尚宇新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：