基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基板处理装置。各分支配管具有供环境气体从主配管流入的内部空间。下游闸板设于各分支配管中的比上游闸板靠下游侧的位置，开闭分支配管。上游切换部件在上游空间允许外部环境气体的流入的状态以及上游空间禁止外部环境气体的流入的状态之间切换上游空间的状态。下游切换部件在下游空间允许外部环境气体的流入的状态以及下游空间禁止外部环境气体的流入的状态之间切换下游空间的状态。状态。状态。

【技术实现步骤摘要】
基板处理装置
[0001]本申请主张基于在2021年7月30日提出的日本专利申请2021
‑
126155号的优先权，在此通过引用而并入该申请的全部内容。


[0002]本专利技术涉及一种处理基板的基板处理装置。
[0003]成为处理的对象的基板例如包括半导体晶片、液晶显示装置以及有机EL(Electroluminescence：电致发光)显示装置等的FPD(Flat Panel Display：平板显示器)用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板、陶瓷基板、太阳能电池用基板等。

技术介绍

[0004]日本专利第6611893号公报所公开的基板液体处理装置包括进行预定的基板处理的处理单元、第一排气管、第二排气管以及排气切换单元。
[0005]第一排气管包括供碱性废气流动的单独排气管、供酸性废气流动的单独排气管、以及供有机废气流动的单独排气管。第二排气管将来自处理单元的废气引导至第一排气管的多个单独排气管。
[0006]排气切换单元将来自处理单元的废气的流出目的地切换至单独排气管的任本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板处理装置，其特征在于，包括：腔室，其收纳基板；主配管，其排出上述腔室内的环境气体；多个分支配管，其与上述主配管连接，各分支配管具有供环境气体从上述主配管流入的内部空间；多个上游闸板，其在上述分支配管的每一个中各设置一个，开闭对应的上述分支配管；多个下游闸板，其在上述分支配管的每一个中在比上述上游闸板靠下游侧的位置各设置一个，开闭对应的上述分支配管；上游切换部件，其在各上述内部空间中的比上述上游闸板靠下游侧且比上述下游闸板靠上游侧的上游空间允许来自与上述主配管不同的路径的外部环境气体的流入的状态、以及上述上游空间禁止上述外部环境气体的流入的状态之间切换上述上游空间的状态；以及下游切换部件，其在各上述内部空间中的比上述下游闸板靠下游侧的下游空间允许上述外部环境气体的流入的状态、以及上述下游空间禁止上述外部环境气体的流入的状态之间切换上述下游空间的状态。2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，上述分支配管在设有上述上游闸板的位置具有在剖视时呈圆形的上游内周面，上述上游闸板包括上游阀芯，该上游阀芯具有沿着上述上游内周面的形状，且通过在上述分支配管内旋转来开闭上述分支配管。3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，上述分支配管在设有上述下游闸板的位置具有在剖视时呈圆形的下游内周面，上述下游闸板包括下游阀芯，该下游阀芯具有沿着上述下游内周面的形状，且通过在上述分支配管内旋转来开闭上述分支配管。4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于，还包括封闭构造，在上述下游阀芯关闭了上述分支配管的状态下，上述封闭构造将上述下游内周面以及上述下游阀芯之间封闭。5.根据权利要求1～4任一项中所述的基板处理装置，其特征在于，各上述分支配管具有将上述上游空间以及上述分支配管的周围的空间相连的上游开口，上述上游切换部件包括开闭上述上游开口的上游开闭闸板。6.根据权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于，还包括送风部件，该送风部件设于上述分支配管的外部，经由上述上游开口向上述上游空间送入上述分支配管的周围的环境气体。7.根据权利要求1～4任一项中所述的基板处理装置，其特征在于，还包括供给配管，该供给配管在比上述上游闸板靠下游侧且比上述下游闸板靠上游侧与上述分支配管连接，上述上游切换部件在经由上述供给配管向上述上游空间供给气体的状态与停止经由上述供给配管向上述上游空间供给气体的状态之间切换上述上游空间的状态。8.根据权利要求1～4任一项中所述的基...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木达大，泷昭彦，西村优大，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：