压电振子制造技术

本发明专利技术的压电振子(1)具备压电振动元件(10)、压电振动元件(10)、基座部件(30)以及盖部件(40)，盖部件(40)具有顶壁部(41)和侧壁部(42)，侧壁部(42)具有与基座部件(30)对置的对置面(43B)，在基座部件(30)，设置有连接压电振动元件(10)的供电用电极和用于接地的接地用电极，接地用电极经由接合部件(50)与盖部件(40)电连接，导电性粘合剂具有树脂系粘合剂(51)和导电性填料(52)，导电性填料(52)的体积相对于导电性粘合剂的总体积的比率为3vol％以上且18vol％以下。以上且18vol％以下。以上且18vol％以下。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压电振子


[0001]本专利技术涉及压电振子。

技术介绍

[0002]振子在移动通信终端、通信基站、家电等各种电子设备中，用于定时设备、传感器、振荡器等用途。随着电子设备的高功能化，需要廉价且高性能的振动元件。
[0003]在专利文献1中，公开了一种石英振子，该石英振子经由导电性粘合剂接合基座部件和金属制的盖部件，通过该导电性粘合剂将盖部件与基座部件的接地用电极电连接，抑制由电磁波的出入引起的噪声。
[0004]专利文献1:日本特开2015－220749号公报
[0005]然而，在专利文献1所记载的石英振子中，有由于导电性粘合剂的位置偏移、渗透，而石英振动元件与盖部件短路的情况。

技术实现思路

[0006]本专利技术是鉴于这样的情况而完成的，本专利技术的目的在于提供一种能够抑制噪声并且抑制不合格产品的产生的压电振子。
[0007]本专利技术的一个方式的压电振子具备：压电振动元件；基座部件，搭载有压电振动元件；以及导电性材料的盖部件，与基座部件之间夹着导电性粘合剂的接合部件而接合，且与基座部件之间形成配置有压电振动元件的内部空间，盖部件具有顶壁部和从顶壁部的外缘向基座部件延伸的侧壁部，侧壁部具有与基座部件对置的对置面，在基座部件，设置连接压电振动元件的供电用电极和用于接地的接地用电极，接地用电极经由接合部件与盖部件电连接，导电性粘合剂具有树脂系粘合剂和分散于树脂系粘合剂的导电性填料，导电性填料的体积相对于导电性粘合剂的总体积的比率为3vol％以上且18vol％以下。/>[0008]本专利技术的一个方式的压电振子具备：压电振动元件；基座部件，搭载有压电振动元件；以及导电性材料的盖部件，与基座部件之间夹着导电性粘合剂的接合部件而接合，与基座部件之间形成配置有压电振动元件的内部空间，盖部件具有顶壁部和从顶壁部的外缘向基座部件延伸的侧壁部，侧壁部具有与基座部件对置的对置面，在基座部件，设置连接压电振动元件的供电用电极和用于接地的接地用电极，接地用电极经由接合部件与盖部件电连接，导电性粘合剂具有树脂系粘合剂和分散于树脂系粘合剂的导电性填料，在基座部件，设置至少覆盖与对置面对置的供电用电极的区域的绝缘性材料的保护膜，保护膜与接合部件接触，接地用电极与对置面之间的间隙G1、保护膜与对置面之间的间隙G2以及导电性填料的粒径R满足如下关系：G1＜R＜G2。
[0009]根据本专利技术，能够提供一种能够抑制噪声并且抑制不合格产品的产生的压电振子。
附图说明
[0010]图1是示意性地表示实施方式的石英振子的结构的分解立体图。
[0011]图2是示意性地表示实施方式的石英振子的结构的俯视图。
[0012]图3是示意性地表示实施方式的石英振子的结构的剖视图。
[0013]图4是示意性地表示基座部件和石英振动元件的结构的俯视图。
[0014]图5是包含接地用电极的石英振子的放大剖视图。
[0015]图6是包含供电用电极的石英振子的放大剖视图。
[0016]图7是汇总了实施例以及比较例的表。
具体实施方式
[0017]以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。各实施方式的附图是例示，各部的尺寸、形状是示意性的，不应将本申请专利技术的技术范围限定地解释为该实施方式。
[0018]参照图1～图4，对本专利技术的实施方式的石英振子1的结构进行说明。图1是示意性地表示实施方式的石英振子的结构的分解立体图。图2是示意性地表示实施方式的石英振子的结构的俯视图。图3是示意性地表示实施方式的石英振子的结构的剖视图。图4是示意性地表示基座部件和石英振动元件的结构的俯视图。此外，图3是沿着图2所示的石英振子1的III－III线的剖视图。
[0019]在各个附图中，为了明确各个附图相互的关系，帮助理解各部件的位置关系，为了方便，有附加由X轴、Y
′
轴以及Z
′
轴构成的正交坐标系的情况。在各附图中，X轴、Y
′
轴以及Z
′
轴相互对应。X轴、Y
′
轴以及Z
′
轴分别与后述的石英片11的结晶轴(Crystallographic Axes)相关。X轴相当于石英晶体的电轴(极性轴)，Y轴相当于石英晶体的机械轴，Z轴相当于石英晶体的光学轴。Y
′
轴和Z
′
轴分别是使Y轴和Z轴围绕X轴从Y轴向Z轴的方向旋转了35度15分
±
1分30秒后的轴。
[0020]在以下的说明中，将与X轴平行的方向称为“X轴方向”，将与Y
′
轴平行的方向称为“Y
′
轴方向”，将与Z
′
轴平行的方向称为“Z
′
轴方向”。另外，将X轴、Y
′
轴以及Z
′
轴的箭头的前端方向称为“+(正)”，将与箭头相反的方向称为“－(负)”。此外，为了方便，将+Y
′
轴方向作为上方、将－Y
′
轴方向作为下方来进行说明，但石英振子1的上下的朝向并不是限定的方向。
[0021]石英振子1具备石英振动元件10、基座部件30、盖部件40以及接合部件50。石英振动元件10设置在基座部件30与盖部件40之间。基座部件30和盖部件40构成用于收容石英振动元件10的保持器，沿着Y
′
轴方向重叠。石英振动元件10搭载于基座部件30。
[0022]首先，对石英振动元件10进行说明。
[0023]石英振动元件10是通过压电效应使石英振动，转换电能和机械能的压电振动元件。石英振动元件10具备薄片状的石英片11、构成一对激发电极的第一激发电极14a和第二激发电极14b、构成一对引出电极的第一引出电极15a和第二引出电极15b、以及构成一对连接电极的第一连接电极16a和第二连接电极16b。
[0024]石英片11具有相互对置的上表面11A和下表面11B。上表面11A位于与基座部件30对置的一侧的相反侧，即与后述的盖部件40的顶壁部41对置的一侧。下表面11B位于与基座部件30对置的一侧。
[0025]石英片11例如是AT切割型的石英晶体。AT切割型的石英片11形成为在由相互交叉的X轴、Y
′
轴以及Z
′
轴构成的正交坐标系中，与由X轴和Z
′
轴确定的面平行的面(以下，称为“XZ
′
面”。对于由其他轴确定的面也同样。)为主面，与Y
′
轴平行的方向为厚度。
[0026]使用AT切割型的石英片11的石英振动元件10在较宽的温度范围具有较高的频率稳定性。在AT切割型的石英振动元件10中，厚度剪切振动模式(Thickness Shear Vibration Mode)被用作主要振动。石英片11也可以应用AT切割以外的不同的切割。例如，可以应用BT切割、GT切割、SC切割等。另外，石英振动元件也可以是使用被称为Z板的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种压电振子，具备：压电振动元件；基座部件，搭载有上述压电振动元件；导电性材料的盖部件，在该盖部件与上述基座部件之间形成内部空间，在该内部空间配置有上述压电振动元件；以及接合部件，接合上述基座部件和上述盖部件，且上述接合部件由导电性粘合剂设置，上述盖部件具有顶壁部和从上述顶壁部的外缘向上述基座部件延伸的侧壁部，上述侧壁部具有与上述基座部件对置的对置面，在上述基座部件，设置有连接上述压电振动元件的供电用电极和用于接地的接地用电极，上述接地用电极经由上述接合部件与上述盖部件电连接，上述导电性粘合剂具有树脂系粘合剂和分散于上述树脂系粘合剂的导电性填料，上述导电性填料的体积相对于上述导电性粘合剂的总体积的比率为3vol％以上且18vol％以下。2.根据权利要求1所述的压电振子，其中，在上述基座部件，由绝缘性材料设置保护膜，其中，上述保护膜至少覆盖与上述对置面对置的上述供电用电极的区域，上述保护膜与上述接合部件接触，上述接地用电极与上述对置面之间的间隙G1、上述保护膜与上述对置面之间的间隙G2以及上述导电性填料的粒径R满足如下关系：G1＜R＜G2。3.一种压电振子，具备：压电振动元件；基座部件，搭载有上述压电振动元件；导电性材料的盖部件，在该盖部件与上述基座部件之间形成内部空间，在该内部空间配置有上述压电振动元件；以及接合部件，接合上述基座部件和上述盖部件，且上述接合部件由导电性粘合剂设置，上述盖部件具有顶壁部和从上述顶壁部的外缘向上述基座部件延伸的侧壁部，上述侧壁部具有与上述基座部件对置的对置面，在上述基座部件，设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：松村威哉，河森慎介，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：