一种导气筒内壁打磨装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及单晶硅拉制生产辅助设备技术领域，提供一种导气筒内壁打磨装置，包括操作台、夹紧机构、移动机构及打磨机构，夹紧机构设于操作台顶面、用于固定待打磨的导气筒，移动机构设于操作台顶面，打磨机构设于移动机构上；打磨机构具有一可变速转动的打磨头，打磨头通过移动机构的驱动可水平伸入导气筒内对其内壁进行打磨。本实用新型专利技术通过移动机构的驱动，可使得转动的打磨头伸入狭长的导气筒内以完成内壁氧化物层的打磨，与手工清理相比，操作顺畅且高效可靠，提高了导气筒内壁氧化物层的清理效率。层的清理效率。层的清理效率。

【技术实现步骤摘要】
一种导气筒内壁打磨装置


[0001]本技术涉及单晶硅拉制生产辅助设备
，具体涉及一种导气筒内壁打磨装置。

技术介绍

[0002]在生产直拉单晶硅过程中，需要在热场系统中方设置导气筒用来排出炉体内的挥发物，导气筒的排气效果直接影响成晶质量。
[0003]现有导气筒为直筒型结构，在重复使用过程中，由于导气筒的排气口处于炉外室温与炉内高温的连接处，温差变化较大，导致挥发物在排气口处（即导气筒尾端内壁）产生聚集而形成坚硬的氧化物层，严重时会造成导气筒通道堵塞，使氧化物又回流至石英坩埚内，直接影响熔硅料内的氧含量，致使拉制出的硅晶体氧含量过高，质量不合格。为保证导气筒的排气效果，需要经常对导气筒内壁的氧化物层进行清理。
[0004]目前，导气筒内壁氧化物层的清理方式是手工清理，该清理方式主要存在以下问题：
[0005]1、导气筒长度较长，内壁狭小，手工清理操作不顺畅；
[0006]2、氧化物层厚实坚硬，手工清理比较困难，清理不到位，而且清理效率低；
[0007]3、手工清理力度无法把控，容易造成导气筒破损；<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种导气筒内壁打磨装置，其特征在于，包括：操作台；夹紧机构，设于所述操作台顶面，用于固定待打磨的导气筒；移动机构，设于所述操作台顶面；及打磨机构，设于所述移动机构上；其中，所述打磨机构具有一可变速转动的打磨头，所述打磨头通过所述移动机构的驱动可水平伸入所述导气筒内对其内壁进行打磨。2.根据权利要求1所述的导气筒内壁打磨装置，其特征在于：所述夹紧机构包括固定连接于所述操作台顶面的定位挡板及两套间隔设置的夹具组件；所述定位挡板朝向所述打磨头的侧面上设有用于定位所述导气筒端部的定位环；所述定位环的内径沿着远离所述打磨头的方向逐渐减小。3.根据权利要求2所述的导气筒内壁打磨装置，其特征在于，所述定位环为橡胶环，其可拆卸地连接于所述定位挡板朝向所述打磨头的侧面上。4.根据权利要求2或3所述的导气筒内壁打磨装置，其特征在于：每套所述的夹具组件包括锁扣夹具、下限位块、支块及上限位块；所述锁扣夹具分为独立的上下两部分，所述锁扣夹具的下部分为一挂钩、其固定连接于所述下限位块侧面；所述下限位块与所述支块分别固定连接于所述操作台顶面；所述上限位块一端与所述支块上端铰接、另一端与所述锁扣夹具的上部分固定连接；所述锁扣夹具的上部分通过U型连杆与所述挂钩相连接。5.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明成，田小雄，吴平，
申请(专利权)人：四川永祥光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：