光罩盒密封制造技术

一种盒包含具有盖主体的盖、具有底板主体的底板，以及一或多个密封表面。所述一或多个密封表面形成于所述底板主体及所述盖主体中的一或多者上，以提供密封。一种产生光罩盒的方法包含使一或多个密封表面形成于底板的底板主体及盖的盖主体中的至少一者上。形成所述一或多个密封表面以在所述底板与所述盖之间提供密封。所述一或多个密封表面中的每一者包含具有约或大于70的洛氏C硬度的耐磨最外层涂层。层。层。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光罩盒密封
[0001]相关申请案的交叉参考
[0002]本申请案主张在2020年4月30日申请的第63/017,825号美国临时申请案的权益及优先权，所述美国申请案出于所有目的以引用方式并入本文中。


[0003]本公开涉及用于光罩的光罩盒。更具体来说，本公开涉及用于在光罩盒中提供密封的表面。

技术介绍

[0004]光罩盒用于容纳光罩，例如(举例来说)用于半导体处理中的光刻掩模。光罩盒可用于光罩的存储及运输。光罩盒可包含在处理期间由一或多个工具处置及操纵的金属内盒。内盒包含底板及盖，且底板及盖含有光罩且保护光罩在运输、存储及处理期间免受污染或物理损伤。光罩盒包含(例如)用于与极紫外线(EUV)光刻工具一起使用的EUV盒。光罩盒可包含具有盒门的外盒及含有内盒的盒圆顶。

技术实现思路

[0005]本公开涉及用于光罩的光罩盒。更具体来说，本公开涉及用于在光罩盒中提供密封的表面。
[0006]在实施例中，一种盒包含具有盖主体的盖、具有底板主体的底板及一或多个密封表面。所述一或多个密封表面形成于所述底板主体及所述盖本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种盒，其包括：盖，其包含盖主体；底板，其包含底板主体；以及一或多个密封表面，其经形成于所述底板主体及所述盖主体的一或多者上，以在所述盖与所述底板之间提供密封，所述一或多个密封表面各自包含具有约或大于70的洛氏C硬度的耐磨最外层涂层。2.根据权利要求1所述的盒，其中所述耐磨最外层涂层的所述洛氏C硬度是约或大于80。3.根据权利要求1所述的盒，其中所述耐磨最外层涂层是氮化钛、氮化铬及类金刚石碳或金刚石
‑
镍复合物中的一者。4.根据权利要求1所述的盒，其包括经形成于所述底板主体上的具有第一耐磨最外层涂层的第一密封表面及经形成于所述盖主体上的具有第二耐磨最外层涂层的第二密封表面，其中所述第一耐磨最外层涂层与所述第二耐磨最外层涂层相同。5.根据权利要求1所述的盒，其包括经形成于底板主体上的具有第一耐磨最外层涂层的第一密封表面及经形成于所述盖主体上的具有第二耐磨最外层涂层的第二密封表面，其中所述第一耐磨最外层涂层不同于所述第二耐磨最外层涂层。6.根据权利要求1的密封盒，其中所述一或多个密封表面包含经形成于所述底板主体上的第一密封表面，所述底板包含所述第一密封表面的所述耐磨最外层涂层，所述第一密封表面的所述耐磨最外层涂层经安置以当所述盖放置于所述底板上时直接接触所述盖。7.根据权利要求6所述的盒，其中所述底板主体包含铝，所述耐磨最外层涂层形成于所述铝上。8.根据权利要求6所述的盒，其中所述一或多个密封表面包含经形成于所述盖主体上的第二密封表面，所述盖包含所述第二密封表面的所述耐磨最外层涂层，所述盖的所述耐磨最外层涂层经安置以当所述盖放置于所述底板上时直接接触所述底板的所述耐磨最外层涂层。9.根据权利要求1所述的盒，其中当放置于所述底板上时，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：R，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：发明
国别省市：