状态检测装置以及状态检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及状态检测装置以及状态检测方法，在抑制检测精度的降低的同时检测卡盘销的开闭状态。状态检测装置具有：至少1个卡盘销，其用于保持基板；拍摄部，其拍摄卡盘销，将获得的至少1个图像作为对象图像；匹配坐标计算部，其利用对象图像和表示卡盘销的至少1个图像即基准图像进行匹配处理，计算匹配坐标，所述匹配坐标是表示图像间的匹配分数最高的情况下的基准图像在对象图像中的位置的坐标；检测部，其根据匹配坐标，检测卡盘销的开闭状态。检测卡盘销的开闭状态。检测卡盘销的开闭状态。

【技术实现步骤摘要】
状态检测装置以及状态检测方法


[0001]本申请说明书所公开的技术涉及基于图像的检测技术。

技术介绍

[0002]在基板处理装置中，使用设置于保持基板的保持单元且配置于基板的端部的传感器等来检测用于保持基板的卡盘销的开闭状态(例如，参照专利文献1)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献1：日本特开2010
‑
232523号公报

技术实现思路

[0005]专利技术要解决的课题
[0006]配置于基板的端部的传感器由于基板处理时从喷嘴供给的处理液、或由该处理液等形成的雾附着造成检测部被污染，其结果是，存在检测精度降低的情况。
[0007]本申请说明书所公开的技术是鉴于以上所记载那样的问题而完成的，是用于在抑制检测精度的降低的同时检测卡盘销的开闭状态的技术。
[0008]用于解决课题的手段
[0009]作为本申请说明书所公开的技术的第一方式的状态检测方法具有：获得包含用于保持基板的至少1个卡盘销的一部分的至少1个图像作为基准图像的工序；获得拍摄所述卡盘销的至少一部分而得到的至少1个图像作为对象图像的工序；利用所述基准图像和所述对象图像进行匹配处理，计算匹配坐标的工序，所述匹配坐标是表示图像间的匹配分数最高的情况下的所述基准图像在所述对象图像中的位置的坐标；以及根据所述匹配坐标，检测所述卡盘销的开闭状态的工序。
[0010]作为本申请说明书所公开的技术的第二方式的状态检测方法与作为第一方式的状态检测方法相关联，所述基准图像表示的范围与所述对象图像中的一部分范围对应。
[0011]作为本申请说明书所公开的技术的第三方式的状态检测方法与作为第一方式或第二方式的状态检测方法相关联，所述基准图像是不包含所述基板的图像。
[0012]作为本申请说明书所公开的技术的第四方式的状态检测方法与作为第一方式～第三方式中任一个方式的状态检测方法相关联，所述基准图像中的所述卡盘销是打开状态、保持所述基板的关闭状态以及未保持所述基板的关闭状态中的任一个。
[0013]作为本申请说明书所公开的技术的第五方式的状态检测方法与作为第一方式～第四方式中任一个方式的状态检测方法相关联，获得所述基准图像的工序是与多个所述卡盘销分别对应地获得多个所述基准图像的工序，获得所述对象图像的工序是对各个所述基准图像所示的所述卡盘销进行拍摄而得到多个所述对象图像的工序。
[0014]作为本申请说明书所公开的技术的第六方式的状态检测方法与作为第一方式～第五方式中任一个方式的状态检测方法相关联，还具有检测所述基板是否被所述卡盘销保持的工序，检测所述卡盘销的开闭状态的工序是基于在根据所述基板是否被所述卡盘销保
持而限定的坐标范围中所包含的所述匹配坐标，检测所述卡盘销的开闭状态的工序。
[0015]作为本申请说明书所公开的技术的第七方式的状态检测方法与作为第一方式～第六方式中任一个方式的状态检测方法相关联，所述基准图像和所述对象图像所表示的范围中的至少一方具有沿着被所述卡盘销保持的所述基板的外缘部的长边方向。
[0016]作为本申请说明书所公开的技术的第八方式的状态检测方法与作为第一方式～第七方式中任一个方式的状态检测方法相关联，在获得所述基准图像的工序中，将与所述基准图像对应的规定像素的坐标作为基准坐标，且根据所述基准坐标来设定阈值，检测所述卡盘销的开闭状态的工序是根据所述匹配坐标相较于所述基准坐标是否为所述阈值的范围内来检测所述卡盘销的开闭状态。
[0017]作为本申请说明书所公开的技术的第九方式的状态检测装置具有：至少1个卡盘销，其用于保持基板；拍摄部，其拍摄所述卡盘销的至少一部分，将得到的至少1个图像作为对象图像；匹配坐标计算部，其利用所述对象图像和包含所述卡盘销的一部分的至少1个图像即基准图像进行匹配处理，计算匹配坐标，所述匹配坐标是表示图像间的匹配分数最高的情况下的所述基准图像在所述对象图像中的位置的坐标；以及检测部，其根据所述匹配坐标来检测所述卡盘销的开闭状态。
[0018]专利技术效果
[0019]根据本申请说明书所公开的技术的至少第一方式、第九方式，能够根据通过使用拍摄卡盘销而得到的对象图像来进行匹配处理而计算出的匹配坐标，检测卡盘销的开闭状态。因此，即使不在基板的端部配置传感器等来使用，只要有拍摄卡盘销的图像的摄影机等即可，因此，能够在抑制检测精度的降低的同时检测卡盘销的开闭状态。
[0020]另外，与本申请说明书所公开的技术相关联的目的、特征、局面、优点通过以下所示的详细的说明和附图而变得更加清楚。
附图说明
[0021]图1是表示实施方式相关的基板处理装置的整体结构的例子的图。
[0022]图2是实施方式相关的处理单元的俯视图。
[0023]图3是实施方式相关的处理单元的剖视图。
[0024]图4是概念性地表示控制部的功能的例子的图。
[0025]图5是概略性地例示实际运用图4中例示的控制部的情况下的硬件结构的图。
[0026]图6是表示实施方式相关的基板处理装置的动作的流程图。
[0027]图7是表示用于获得第二状态的基准图像的、描绘旋转卡盘整体的整体图像的例子的图。
[0028]图8是表示用于获得对象图像的旋转卡盘的图。
[0029]图9是表示匹配坐标的分布的例子的图。
[0030]图10是表示匹配坐标的分布的例子的图。
[0031]图11是表示对象图像的提取的例子的图。
[0032]图12是表示基准图像中的基准坐标的例子的图。
[0033]附图标记说明
[0034]70摄影机，91匹配坐标计算部，92检测部，93驱动控制部，100基板处理装置。
具体实施方式
[0035]以下，一边参照附图一边对实施方式进行说明。在以下的实施方式中，为了技术的说明也示出了详细的特征等，但它们是例示，为了能够实施实施方式，它们并非全部都是必须的特征。
[0036]此外，附图是概略性地示出的，为了便于说明，在附图中适当地进行结构的省略或结构的简化等。另外，在不同的附图中分别示出的结构等的大小以及位置的相互关系未必准确地记载，能够适当变更。另外，在并非剖视图的俯视图等附图中，为了容易理解实施方式的内容，有时也标注阴影线。
[0037]另外，在以下所示的说明中，对一样的结构要素标注相同的附图标记来进行图示，对于它们的名称和功能也设为一样的名称和功能。因此，有时为了避免重复而省略针对它们的详细的说明。
[0038]另外，在本申请说明书所记载的说明中，在记载为“具备”、“包含”或者“具有”某一结构要素等的情况下，只要没有特别说明，就不是排除其他结构要素的存在的排他性的表现。
[0039]另外，在本申请说明书所记载的说明中，即使存在使用“第一”或“第二”等序数的情况，这些用语也是为了便于理解实施方式的内容而使用的，实施方式的内容并不限定于由这些序数能够产生的顺序等。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种状态检测方法，其特征在于，具有：获得包含用于保持基板的至少1个卡盘销的一部分的至少1个图像作为基准图像的工序；获得拍摄所述卡盘销的至少一部分而得到的至少1个图像作为对象图像的工序；利用所述基准图像和所述对象图像进行匹配处理，计算匹配坐标的工序，所述匹配坐标是表示图像间的匹配分数最高的情况下的所述基准图像在所述对象图像中的位置的坐标；以及根据所述匹配坐标，检测所述卡盘销的开闭状态的工序。2.根据权利要求1所述的状态检测方法，其特征在于，所述基准图像所表示的范围与所述对象图像中的一部分的范围相对应。3.根据权利要求1或2所述的状态检测方法，其特征在于，所述基准图像是不包含所述基板的图像。4.根据权利要求1或2所述的状态检测方法，其特征在于，所述基准图像中的所述卡盘销是打开状态、保持所述基板的关闭状态以及未保持所述基板的关闭状态中的任一个。5.根据权利要求1或2所述的状态检测方法，其特征在于，获得所述基准图像的工序是与多个所述卡盘销分别对应地获得多个所述基准图像的工序，获得所述对象图像的工序是对各个所述基准图像所示的所述卡盘销进行拍摄而获得多个所述对象图像的工序。6.根据权利要求1或2所述的状态检测方法，其特征在于，所述状态检...

【专利技术属性】
技术研发人员：冲田有史，犹原英司，角间央章，增井达哉，出羽裕一，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：