本实用新型专利技术揭示了一种实时监测设备垂直和水平度的装置，包括待检设备，所述待检设备上安放有用于检测垂直和水平度的检测传感器，所述检测传感器输出端连接有信号发射器，还包括信号接收器，与所述信号发射器信号连接。本实用新型专利技术在安装或者调试时，能够对现场机台设备的垂直度和水平度进行实时监测，能够对不良品的生产追踪以及高精度设备的维护提供指导性数据，提高设备的准确性。提高设备的准确性。提高设备的准确性。
【技术实现步骤摘要】
一种实时监测设备垂直和水平度的装置
[0001]本技术涉及自动化领域，特别是涉及一种实时监测设备垂直和水平度的装置。
技术介绍
[0002]现在自动化领域，机台现场安装，运行的垂直和水平度，大部分只靠普通的水平仪器测试安装水平度和垂直掉线法验证垂直度作为验收标准，但是对于精度高的设备(比如半导体SEMI设备)在设备的运行时(比如有机械手臂的运动的惯性，导致机台水平度有瞬时的偏差，导致设备的运行误差)，由于设备现场安装的地面平整度不可控等因素，以及设备运动部件的惯性导致的水平度偏差没有实时的检测手段验证设备的垂直和水平度。
[0003]目前在设备安装和运行时，水平仪只能体现设备单一状态的设备水平度，无法经行实时监测，无法数据收集及分析，比如设备在运行时部件运动带来的设备震动导致的水平度的偏差，无法指导性的去找到问题所在，无法对设备的机械加固或软件优化等工作进行指导和分析，存在一定的缺陷。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于，提供一种实时监测设备垂直和水平度的装置，以实现机台设备垂直度和水平度的远程监测，提高产品的良品率。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供一种实时监测设备垂直和水平度的装置，包括待检设备，所述待检设备上安放有用于检测垂直和水平度的检测传感器，所述检测传感器输出端连接有信号发射器，还包括信号接收器，与所述信号发射器信号连接。
[0006]进一步的，所述信号发射器连接有云端服务器，所述云端服务器通过所述信号接收器连接有接收终端。
[0007]进一步的，所述接收终端至少包括电脑、平板、手机、上位机中的一种。
[0008]进一步的，所述待检设备包括机台设备本体，所述机台设备本体底面上安装有承重支架，所述机台设备本体上设置有用于安放所述检测传感器的工作台面。
[0009]进一步的，所述检测传感器设置有多个，且所述检测传感器均匀设置在所述工作台面上。
[0010]进一步的，所述检测传感器采用重力传感器。
[0011]进一步的，所述信号发射器以及所述信号接收器均采用无线路由器。
[0012]相比于现有技术，本技术至少具有以下有益效果：
[0013]本技术在安装或者调试时，能够对现场机台设备的垂直度和水平度进行实时监测，能够对不良品的生产追踪以及高精度设备的维护提供指导性数据，提高设备的准确性。
附图说明
[0014]图1为本技术实时监测设备垂直和水平度的装置一个实施例的整体结构示意图；
[0015]图2为本技术实时监测设备垂直和水平度的装置一个实施例的电路结构示意图。
具体实施方式
[0016]下面将结合示意图对本技术的实时监测设备垂直和水平度的装置进行更详细的描述，其中表示了本技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本技术，而仍然实现本技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本技术的限制。
[0017]在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本技术。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。
[0018]如图1所示，本技术实施例提出了一种实时监测设备垂直和水平度的装置，包括待检设备6，所述待检设备6上安放有用于检测垂直和水平度的检测传感器1，所述检测传感器1输出端连接有信号发射器2，还包括信号接收器，与所述信号发射器信号连接。
[0019]在本实施方式中，安装在待检设备上的检测传感器能够实时对待检设备进行垂直度和水平度参数进行监测，并且监测数据通过信号发射器发送信号接收端，进而能够对待检设备进行实时检测，使得设备的安装或调试更准确。
[0020]在一个实施例中，所述信号发射器2连接有云端服务器3，所述云端服务器3通过所述信号接收器4连接有接收终端5(例如上位机)。
[0021]这样，能够在远程实时快速地了解待检设备的运行情况。
[0022]所述云端服务器3还能够进行数据的存储。
[0023]所述待检设备6包括机台设备本体，所述机台设备本体底面上安装有承重支架7，所述机台设备本体上设置有用于安放所述检测传感器1的工作台面8。在本实施方式中，检测传感器1安装在工作台面8上，当工作台面8在水平度或垂直度上发生变化时，检测传感器1能够迅速检测并传递数据，实现了待检设备垂直度以及水平度参数的快速实时监测，能够为高精度设备的维护提供指导性数据。
[0024]所述检测传感器1采用重力传感器。在本实施方式中，通过重力传感器测量由于重力引起的加速度，可以计算出设备相对于水平面的倾斜角度，进而判断出待检设备垂直度以及水平度参数的变化。需要说明的是，检测传感器1不局限于重力传感器，能够检测出垂直度以及水平度参数的传感器均可。
[0025]所述检测传感器1设置有多个，且所述检测传感器1均匀设置在所述工作台面上。在本实施方式中，检测传感器1设置多个，能够对待检设备进行大区域多平面的的监测，避免了因局部检测不到位而造成漏检的情况。
[0026]所述信号发射器2以及所述信号接收器4均采用无线路由器。在本实施方式中，检测传感器1采用无线传感器，可直接与无线路由器进行无线连接，进而通过无线路由器将检测数据发送至云端服务器。需要说明的是，信号发生器以及信号接收器不局限于无线路由
器，也可通过其他信号发射以及信号接收装置。
[0027]所述接收终端5至少包括电脑、平板、手机中的一种。在本实施方式中，接收终端可连接至接收侧的无线路由器，获取云端服务器的数据，方便对现场待检设备的运行情况进行实时监测。
[0028]综上所述，本技术对现场机台设备在安装或者调试时，能够对垂直度和水平度进行实时监测，能够对不良品的生产追踪以及高精度设备的维护提供指导性数据，大大提高了产品的良品率。
[0029]显然，本领域的技术人员可以对本技术进行各种改动和变型而不脱离本技术的精神和范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及其等同技术的范围之内，则本技术也意图包含这些改动和变型在内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种实时监测设备垂直和水平度的装置，其特征在于，包括待检设备，所述待检设备上安放有用于检测垂直和水平度的检测传感器，所述检测传感器输出端连接有信号发射器，还包括信号接收器，与所述信号发射器信号连接。2.如权利要求1所述的实时监测设备垂直和水平度的装置，其特征在于，所述信号发射器连接有云端服务器，所述云端服务器通过所述信号接收器连接有接收终端。3.如权利要求2所述的实时监测设备垂直和水平度的装置，其特征在于，所述接收终端至少包括电脑、平板、手机、上位机中的一种。4.如权利要求1所述的实时监测设备垂直和水...
【专利技术属性】
技术研发人员：谭述恩，高波，
申请(专利权)人：上海沃证机电技术服务有限公司，
类型：新型
国别省市：
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