【技术实现步骤摘要】
一种实时监测设备垂直和水平度的装置
[0001]本技术涉及自动化领域，特别是涉及一种实时监测设备垂直和水平度的装置。
技术介绍
[0002]现在自动化领域，机台现场安装，运行的垂直和水平度，大部分只靠普通的水平仪器测试安装水平度和垂直掉线法验证垂直度作为验收标准，但是对于精度高的设备(比如半导体SEMI设备)在设备的运行时(比如有机械手臂的运动的惯性，导致机台水平度有瞬时的偏差，导致设备的运行误差)，由于设备现场安装的地面平整度不可控等因素，以及设备运动部件的惯性导致的水平度偏差没有实时的检测手段验证设备的垂直和水平度。
[0003]目前在设备安装和运行时，水平仪只能体现设备单一状态的设备水平度，无法经行实时监测，无法数据收集及分析，比如设备在运行时部件运动带来的设备震动导致的水平度的偏差，无法指导性的去找到问题所在，无法对设备的机械加固或软件优化等工作进行指导和分析，存在一定的缺陷。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于，提供一种实时监测设备垂直和水平度的装置，以实现机台设备垂直度和水平度的远程监...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种实时监测设备垂直和水平度的装置，其特征在于，包括待检设备，所述待检设备上安放有用于检测垂直和水平度的检测传感器，所述检测传感器输出端连接有信号发射器，还包括信号接收器，与所述信号发射器信号连接。2.如权利要求1所述的实时监测设备垂直和水平度的装置，其特征在于，所述信号发射器连接有云端服务器，所述云端服务器通过所述信号接收器连接有接收终端。3.如权利要求2所述的实时监测设备垂直和水平度的装置，其特征在于，所述接收终端至少包括电脑、平板、手机、上位机中的一种。4.如权利要求1所述的实时监测设备垂直和水...
【专利技术属性】
技术研发人员：谭述恩，高波，
申请(专利权)人：上海沃证机电技术服务有限公司，
类型：新型
国别省市：
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