在半导体设备和洁净室中测量化学气体污染物的可携式盘制造技术

一种检测器盘包括盘主体，盘主体具有底盘和顶盖，顶盖包括第一孔。传感器设置在盘主体内部并定位成经由顶盖中的第一孔而暴露于外部环境。固态传感器适于检测化学气体污染物的水平并基于化学气体污染物的检测的水平输出检测信号。微控制器设置在PCB上并适于由检测信号中包含的化学气体污染物的检测的水平产生测量数据。无线通信电路设置在PCB上，无线通信电路适于将测量数据无线传输到无线接入点装置。装置。装置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】在半导体设备和洁净室中测量化学气体污染物的可携式盘


[0001]本专利技术的一些实施例总体上涉及一种用于在半导体设备和/或洁净室中测量化学气体污染物的可携式盘。

技术介绍

[0002]多年来，半导体设备、洁净室、和其他此类清洁制造(“晶片厂(fab)”)环境的主要焦点一直是从空气中去除机械颗粒，这些颗粒已知会导致被沉积以用于处理的薄膜中的缺陷，并从而减少半导体制造的装置中的缺陷或错误的数量。最近，这一重点已扩展到减少通常称为空气分子污染物(airborne molecular contaminants，AMC)和挥发性有机化合物(volatile organiccompounds，VOC)的化学气体污染物。例如，晶片厂已经开始使用化学预过滤器来过滤在晶片厂层级已过滤的空气，以便在处理工具层级过滤更多。处理制造商已开始改变制造处理以清洁真空部件，以确保微量化学气体污染物不会进入生产环境。这些措施并不便宜，而且尽管做出这些努力，但半导体处理系统工具的复杂性使得难以确定在多步骤、多工具处理中，基板在何处可能暴露于浓度过高的任何数量的化学气体污染物。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种检测器盘，包括：盘主体，包括底盘和顶盖，所述顶盖包括第一孔；传感器，设置在由所述盘主体形成的内部内并定位成经由所述顶盖中的所述第一孔而暴露于外部环境，其中所述传感器适于检测化学气体污染物的水平并基于所述化学气体污染物的检测的水平而输出检测信号；微控制器，设置在所述盘主体的所述内部中并耦接到所述传感器，所述微控制器适于由所述检测信号中包含的所述化学气体污染物的所述检测的水平产生测量数据；和无线通信电路，设置在所述盘主体的所述内部中并耦接到所述微控制器，所述无线通信电路适于将所述测量数据无线传输到无线接入点装置。2.如权利要求1所述的检测器盘，其中所述传感器适于检测空气分子污染物或挥发性有机化合物中至少一种的粒子的以ppm计的化学气体污染物水平。3.如权利要求1所述的检测器盘，其中所述传感器是固态传感器，所述固态传感器：在10秒内测量所述化学气体污染物的水平的浓度的百分之五十；和在30秒内测量所述化学气体污染物的水平的所述浓度的百分之九十。4.如权利要求1所述的检测器盘，进一步包括印刷电路板(PCB)，所述PCB设置在所述盘主体的所述内部中并且在所述PCB上至少设置有所述传感器，其中所述底盘包括基板且所述顶盖进一步包括侧壁，所述侧壁附接到所述底盘并包围所述PCB，所述侧壁包括至少一个开口以提供通往连接器接口的入口，所述连接器接口附接到所述PCB。5.如权利要求1所述的检测器盘，进一步包括：印刷电路板(PCB)，设置在所述盘主体的所述内部中，并且在所述PCB上至少设置有所述传感器；和串行通信接口，所述串行通信接口将所述传感器耦接到所述PCB，所述串行通信接口将所述检测信号从所述传感器传输到所述PCB，其中所述串行通信接口是串行外围接口或互集成电路接口中的一者。6.如权利要求1所述的检测器盘，其中所述顶盖包括靠近所述第一孔定位的第二孔，所述检测器盘进一步包括：印刷电路板(PCB)，设置在所述盘主体的所述内部中，并且在所述PCB上至少设置有所述传感器；和轴流风扇，在所述PCB上设置在所述第二孔下方，其中所述轴流风扇用以使空气移动通过所述传感器。7.如权利要求6所述的检测器，其中所述PCB包括位于所述第二孔下方的第三孔，且所述轴流风扇在所述PCB上设置在所述第二孔和所述第三孔之间，以使移动通过所述传感器的空气穿过所述第二孔进入并穿过所述PCB的所述第三孔排出。8.如权利要求1所述的检测器盘，进一步包括印刷电路板(PCB)，所述PCB设置在所述盘主体的所述内部中且在所述PCB上至少设置有所述传感器，其中所述顶盖包括一组第一孔，所述一组第一孔包括所述第一孔，且其中所述检测器盘进一步包括设置在所述PCB上的一组传感器，所述一组传感器包括所述传感器，其中所述一组传感器中的每个传感器靠近所述一组第一孔中的一个第一孔定位。9.如权利要求8所述的检测器盘，其中所述顶盖包括靠近所述一组第一孔的一组第二
孔，且所述PCB包括位于所述一组第二孔下方的一组第三孔，且其中所述检测器盘进一步包括设置在所述PCB上的在所述一组第二孔和所述一组第三孔之间的一组轴流风扇，所述一组轴流风扇用以使空气移动通过所述一组传感器。10.如权利要求1所述的检测器盘，进一步包括：印刷电路板(PCB)，设置在所述盘主体的所述内部中，其中所述传感器、所述微控制器、和所述无线通信电路设置在所述PCB上；存储卡，设置在所述PCB上，所述存储卡用于储存所述测量数据；电池，设置在所述PCB上；和电源管理器，所述电源管理器与所述电池耦接，所述电源管理器包括升压转换器以将所述电池的电压源转换为足以至少为所述微控制器、所述传感器、和所述存储卡供电的功率水平。11.如权利要求1所述的检测器盘，其中所述盘主体的厚度在6毫米(mm)和9mm之间，且其中所述盘主体的直径为约190mm至320mm。12.一种检测器盘，包括：基板盘；吸附剂管，附接到所述基板盘，所述吸附剂管包括在第一端的第一开口和在第二端的第二开口，所述第一开口被盖住；微机电系统(MEMS)泵，设置所述基板盘，所述MEMS泵包括附...

【专利技术属性】
技术研发人员：德文德拉，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：