【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于声音检测、声音定位和波束成形的装置及其制造方法
[0001]本公开涉及一种用于声音检测、声音定位和波束成形的装置、电子设备；以及一种制造用于声音检测、声音定位和波束成形的装置的方法。
[0002]具有分立麦克风的麦克风阵列已经被用于各种应用中，例如来实现方向性，声音定位和波束成形。对于声音定位和波束成形能够提供多种方法，从评估互相关和自相关函数到延迟求和或边扫描边跟踪算法，同时考虑远场和近场中的声音信号。
[0003]为了获得良好的空间分辨率，理想的麦克风阵列应当具有大孔径(整个阵列的尺寸)，因为分辨率的瑞利准则表明θ＝sin
‑1(1.22
·
λ/D)，其中θ是待检测的两个源之间的最小角度，D是线性孔径的尺寸，并且λ是声压波的波长。这意味着小孔径在较低频率下不具有良好的方向性。
[0004]另一方面，具有大孔径和少量换能器的的阵列在较高频率下会遭受方向性损失，这被称为旁瓣。对于具有N个等间隔换能器的一维阵列，这能够从阵列的孔径函数的空间傅里叶变换(也称为模式函数)中导出。在这种情况下，模式函数能够写成：...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于声音检测、声音定位和波束成形的装置(34)，所述装置包括：
‑
具有主延伸平面的显示器(1)，
‑
多个麦克风堆叠(3)，其中，所述显示器(1)在横向方向(x、y)上围绕每个麦克风堆叠(3)，所述横向方向平行于所述显示器(1)的主延伸平面延伸，以及
‑
多个弹性连接件(7)，其中，每个弹性连接件在横向方向(x、y)上围绕一个相应的麦克风堆叠(3)，并将所述相应的麦克风堆叠(3)与所述显示器(1)机械连接，其中，每个麦克风堆叠(3)包括：
‑
微机电换能器阵列(5)，所述换能器阵列(5)包括多个膜(14)和对应的集成后部容积(17)，所述后部容积(17)在横断方向(z)上设置在所述膜(14)下面，所述横断方向垂直于所述显示器(1)的主延伸平面延伸，以及
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光学读取器件(6)，其配置为单独检测每个膜(14)的位移。2.根据权利要求1所述的装置(34)，其中，每个麦克风堆叠(3)还包括：
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弹性层(8)，以及
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垫片(9)，其包括穿透所述垫片(9)的多个通孔(13)，其中，在所述横断方向(z)上，所述垫片(9)设置在所述弹性层(8)与所述换能器阵列(5)之间，并且所述换能器阵列(5)的膜(14)与所述垫片(9)的通孔(13)对齐。3.根据权利要求1所述的装置(34)，其中，每个麦克风堆叠(3)还包括2D材料层作为最顶层，其中所述换能器阵列(5)的膜(14)由所述2D材料层的相应部分形成。4.根据权利要求1至3之一所述的装置(34)，其中，每个换能器阵列(5)还包括在所述横断方向(z)上设置在所述多个膜(14)下面的衬底(15)，并且其中，每个后部容积(17)由在相应膜(14)下面的衬底(15)中的腔形成。5.根据权利要求4所述的装置(34)，其中，所述换能器阵列(5)还包括将每个后部容积(17)与环境连接的通气孔(18)，所述通气孔(18)由衬底(15)中的开口形成。6.根据权利要求1至5之一所述的装置(34)，其中，所述光学读取器件(6)包括至少一个光源(25)和至少一个光电检测器(26)，其中，所述光源(25)和所述光电检测器(26)设置在另一衬底(16)上，所述另一衬底(16)沿横断方向(z)在所述换能器阵列(5)下面附接到所述换能器阵列(5)。7.根据权利要求1至6之一所述的装置(34)，其中每个换能器阵列(5)在俯视图中具有矩形形状，其中，在每个横向方向(x、y)上，所述换能器阵列(5)具有至少1mm且至多10mm的长度(l)和宽度(w)。8.根据权利要求1至7之一所述的装置(34)，其中，在横向方向(x、y)上，每个换能器阵列(5)与相邻的换能器阵列(5)间隔开至少1cm且至多1...
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