热辐射光检测装置及激光加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术的热辐射光检测装置具备：框体，其具有多个壁部；光入射部，其安装于多个壁部中的1个壁部，并使热辐射光入射于框体内；光提取部，其配置于框体内，并从热辐射光提取第1波长的光及与第1波长不同的第2波长的光；第1光检测部，其安装于多个壁部中的1个壁部，并检测第1波长的光；第2光检测部，其安装于多个壁部中的1个壁部，并检测第2波长的光；及第1温度检测部，其安装于多个壁部中的、与安装有第1光检测部的壁部不同的壁部。部的壁部不同的壁部。部的壁部不同的壁部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】热辐射光检测装置及激光加工装置


[0001]本公开涉及一种热辐射光检测装置及激光加工装置。

技术介绍

[0002]已知一种激光加工装置，其一边通过对被加工物照射激光而加工被加工物，一边通过在被加工物检测从被照射激光的区域发出的热辐射光而测量该区域的温度(例如，参照专利文献1)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本专利特开2006
‑
341563号公报

技术实现思路

[0006]专利技术所要解决的技术问题
[0007]如上述那样的激光加工装置中，在被加工物照射有激光的区域的温度的测量精度有可能因环境温度的影响而降低。特别地，在被加工物照射有激光的区域的温度为低温(例如，250℃以下的温度)的情况下，环境温度的影响变得显著。
[0008]本公开的目的在于，提供一种可进行高精度的温度测量的热辐射光检测装置及激光加工装置。
[0009]用于解决技术问题的手段
[0010]本公开的一个方面的热辐射光检测装置具备：框体，其具有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种热辐射光检测装置，其具备：框体，其具有多个壁部；光入射部，其安装于所述多个壁部中的1个壁部，并使热辐射光入射于所述框体内；光提取部，其配置于所述框体内，并从所述热辐射光提取第1波长的光及与所述第1波长不同的第2波长的光；第1光检测部，其安装于所述多个壁部中的1个壁部，并检测所述第1波长的光；第2光检测部，其安装于所述多个壁部中的1个壁部，并检测所述第2波长的光；及第1温度检测部，其安装于所述多个壁部中的、与安装有所述第1光检测部的所述壁部不同的壁部。2.根据权利要求1所述的热辐射光检测装置，其中，所述第1温度检测部安装于所述多个壁部中的、与安装有所述第1光检测部的所述壁部相对的壁部。3.根据权利要求1或2所述的热辐射光检测装置，其中，所述第1光检测部具有：检测所述第1波长的光的第1光检测元件，所述光提取部及所述第1光检测部中的至少1者具有：将所述第1波长的光聚光于所述第1光检测元件的第1聚光透镜，所述第1温度检测部在安装有所述第1温度检测部的所述壁部位于所述第1聚光透镜的FOV内。4.根据权利要求1至3中任一项所述的热辐射光检测装置，其中，还具备：第2温度检测部，其安装于所述多个壁部中的、与安装有所述第2光检测部的所述壁部不同的壁部。5.根据权利要求4所述的热辐射光检测装置，其中，所述第2温度检测部安装于所述多个壁部中的、与安装有所述第2光检测部的所述壁部相对的壁部。6.根据权利要求4或5所述的热辐射光检测装置，其中，所述第2光检测部具有：检测所述第2波长的光的第2光检测元件，所述光提取部及所述第2光检测部中的至少1者具有：将所述第2波长的光聚光于所述第2光检测元件的第2聚光透镜，所述第2温度检测部在安装有所述第2温度检测部的所述壁部，位于所述第2...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊东胜久，渡边正树，松本聪，大宫丈典，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：