一种可见光高透中红外高反射型分光镜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可见光高透中红外高反射型分光镜，包括基底和镀设在基底上的多层膜层，多层膜层从下往上依次为金属氧化物膜层、金属膜层、过渡膜层和超宽带透波材料膜层，其中，金属氧化物膜层的折射率在550nm处的折射率≤1.67，超宽带透波材料膜层的折射率在800nm处的折射率≤2.3。本实用新型专利技术的金属氧化物膜层、金属膜层和过渡膜层均采用低温低速的电子束蒸镀方式逐一镀制，超宽带透波材料膜层采用高温中速率的电阻蒸发或者电子束蒸发方式镀制于过渡膜层上。本实用新型专利技术在42

【技术实现步骤摘要】
一种可见光高透中红外高反射型分光镜


[0001]本技术涉及光学元件，尤其涉及一种可见光高透中红外高反射型分光镜。

技术介绍

[0002]随着红外技术的发展和对红外材料研究的深入，红外探测装置在辨别目标、确认目标和排除干扰等方面的能力越来越强，在机载、舰载、弹载、车载等各种作战武器平台上的应用也越来越广泛，各种作战武器平台无不装备红外光电(探测)系统。可见光高透中红外高反射型分光镜可以置于系统中，放于探测器之前，一方面可以通过可见波段的探测对目标进行图像捕捉，另一方面可以通过红外探测进一步识别目标(或者其内部)，实现对目标的双重识别验证。然而在高温高湿度的环境中，分光镜由于各膜层和基底的热膨胀系数不一致，导致膜层破裂，一旦撕裂之后，后续更多的水汽容易渗透到膜层和基底中间，造成脱膜。

技术实现思路

[0003]技术目的：本技术的目的是提供一种不易脱膜的可见光高透中红外高反射型分光镜。
[0004]技术方案：本技术所述可见光高透中红外高反射型分光镜，包括基底和镀设在基底上的多层膜层，多层膜层从下往上依次为金属氧化物膜层、金属膜层、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可见光高透中红外高反射型分光镜，包括基底(1)和镀设在基底上的多层膜层，其特征在于，所述多层膜层从下往上依次为金属氧化物膜层(2)、金属膜层(3)、过渡膜层(4)和超宽带透波材料膜层(5)，其中，金属氧化物膜层(2)的折射率在550nm处的折射率≤1.67，超宽带透波材料膜层(5)的折射率在800nm处的折射率≤2.3。2.根据权利要求1所述可见光高透中红外高反射型分光镜，其特征在于，所述金属膜层(3)的镀膜区域小于金属氧化物膜层(2)的镀膜区域，过渡膜层(4)包覆金属膜层(3)。3.根据权利要求1所述可见光高透中红外高反射型分光镜，其特征在于，所述过渡膜层(4)和超宽带透波材料膜层(5)的镀膜区域与金属氧化物膜层(2)的镀膜区域相同。4.根据权利要求2所...

【专利技术属性】
技术研发人员：武磊，范一，马如银，
申请(专利权)人：南京茂莱光学科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：