导向结构以及输送装置制造方法及图纸

技术编号:36480000 阅读:41 留言:0更新日期:2023-01-25 23:32
本申请涉及半导体测试技术领域,提供了一种导向结构以及输送装置。该导向结构包括安装基座、光轴和至少两个滚动体:安装基座造有贯通的装配孔,光轴穿设于装配孔,且安装基座能够沿光轴的轴向相对光轴移动;至少两个滚动体沿装配孔的周向间隔布设,且每个滚动体均转动连接于安装基座,以与光轴滚动连接;其中,每个滚动体均构造有至少两个滚动面,以与光轴沿周向的至少两个间隔的点点接触;至少两个滚动体能够将光轴架离装配孔的孔壁,以使光轴与装配孔的孔壁之间存在环绕光轴周向的间隙。本申请提供的导向结构能够避免安装基座直接与光轴接触而导致运动卡滞,减少了滚动体与光轴的接触面积,进一步缓解滚动体与光轴之间卡滞的问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
导向结构以及输送装置


[0001]本申请涉及半导体测试
,特别是涉及一种导向结构以及输送装置。

技术介绍

[0002]半导体在进行测试时,需要利用搬运机构将其搬运至不同的工位。在搬运过程中,为满足移动导向以提高运动平稳性,通常配置有轴承导向单元。
[0003]然而,基于半导体测试需求,通常会面临不同温度环境中的搬运,也就容易对上述的轴承导向单元造成影响,致使其发生热变形,从而导致移动卡滞。

技术实现思路

[0004]基于此,有必要提供一种导向结构,以在不同温度环境中工作时确保运动顺畅,改善移动卡滞的问题。
[0005]一种导向结构,包括安装基座、光轴和至少两个滚动体:所述安装基座造有贯通的装配孔;所述光轴穿设于所述装配孔,且所述安装基座能够沿所述光轴的轴向相对所述光轴移动;至少两个所述滚动体沿所述装配孔的周向间隔布设,且每个滚动体均转动连接于所述安装基座,以与所述光轴滚动连接;其中,每个所述滚动体均构造有至少两个滚动面,每个所述滚动面与所述光轴进行点接触;至少两个所述滚动体能够将所述光轴架离所述装配孔的孔壁,以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种导向结构,包括构造有贯通装配孔(101)的安装基座(10)以及穿设于所述装配孔(101)的光轴(20),且所述安装基座(10)能够沿所述光轴(20)的轴向相对所述光轴(20)移动;其特征在于,所述导向结构(100)还包括:至少两个滚动体(30),沿所述装配孔(101)的周向间隔布设,且每个滚动体(30)均转动连接于所述安装基座(10),以与所述光轴(20)滚动连接;其中,每个所述滚动体(30)均构造有至少两个滚动面(301),每个所述滚动面(301)与所述光轴(20)进行点接触;至少两个所述滚动体(30)能够将所述光轴(20)架离所述装配孔(101)的孔壁,以使所述光轴(20)与所述装配孔(101)的孔壁之间存在环绕所述光轴(20)周向的间隙(1001)。2.根据权利要求1所述的导向结构,其特征在于,至少两个所述滚动面(301)沿所述滚动体(30)的轴向邻接或沿所述滚动体(30)的轴向间隔布置。3.根据权利要求1或2所述的导向结构,其特征在于,每个所述滚动体(30)上构造有沿径向向内凹陷的凹槽(302),所述滚动面(301)位于所述凹槽(302)的槽壁,且每个所述滚动面(301)的部分伸入所述装配孔(101)内部与所述光轴(20)接触。4.根据权利要求3所述的导向结构,其特征在于,每个所述滚动体(30)上构造有依次邻接的第一滚动面(3011)、第二滚动面(3012)和第三滚动面(3013),且三者共同围设成所述凹槽(302);所述第一滚动面(3011)和所述第三滚动面(3013)均自与所述第二滚动面(3012)连接处,沿所述滚动体(30)的轴向向外倾斜设置。5.根据权利要求1或4所述的导向结构,其特征在于,所述安装基座(10)上沿所述装配孔(101)的两端均设置有容设空...

【专利技术属性】
技术研发人员:韩世杰沈超
申请(专利权)人:杭州长川科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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