一种废气燃烧器制造技术

技术编号:36467496 阅读:40 留言:0更新日期:2023-01-25 23:08
本发明专利技术公开了一种废气燃烧器,涉及燃烧器技术领域。本发明专利技术包括基座、单向管道阀、导风外管、接废气燃烧内芯、燃烧保护罩、助燃内芯;基座包括上下导通的圆筒;圆筒上端固定有圆板;圆板中心贯穿固定有内螺纹管;圆管下端固定有第一法兰盘;单向管道阀输出端安装在圆筒内侧的内螺纹管下端;导风外管通过螺栓安装在圆板上端;接废气燃烧内芯下端与导风外管内壁配合。本发明专利技术通过基座、单向管道阀、导风外管、接废气燃烧内芯、燃烧保护罩、助燃内芯和点火器的组合,点火后废气在燃烧保护罩与助燃内芯之间燃烧,燃烧过程中助燃内芯整体处于高温状态,助燃环板处于红热状态,可燃废气与氧气在此间发生强烈氧化反应,有效的降低了废气排放造成的危害。造成的危害。造成的危害。

【技术实现步骤摘要】
一种废气燃烧器


[0001]本专利技术属于燃烧器
,特别是涉及一种废气燃烧器。

技术介绍

[0002]在半导体或显示器制造工序等中排放的废气,特别是SiH4、DCS、NH3、F2、NF3等的毒性、易爆性及腐蚀性强,不仅对人体有害,若不净化而直接排放到大气中,将引发严重的环境污染。对于如上所述的废气,在法律上规制有害成分的含量不超过许可浓度,需要经过无害化处理过程后排放到大气中。上述废气的无害化处理采用燃烧方式、湿化方式、吸附方式、冷却方式、触媒方式等多种气体洗涤装置。其中,燃烧方式一般为用加热器及点火方式的燃烧器将废气进行无害化或低害化的处理方式。
[0003]为了能够将废气充分燃烧并对部分燃烧的能量进行利用,达到节能减排的目的,本申请文件提供了一种废气燃烧器。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种废气燃烧器,通过基座、单向管道阀、导风外管、接废气燃烧内芯、燃烧保护罩、助燃内芯和点火器的组合,点火后废气在燃烧保护罩与助燃内芯之间燃烧,燃烧的过程中助燃内芯整体处于高温状态,助燃环板处于红热状态,可燃本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种废气燃烧器,包括基座(1)、单向管道阀(2),其特征在于:还包括导风外管(3)、接废气燃烧内芯(4)、燃烧保护罩(5)、助燃内芯(6);所述基座(1)包括上下导通的圆筒(11);所述圆筒(11)上端固定有圆板(12);所述圆板(12)中心贯穿固定有内螺纹管(13);所述圆管(11)下端固定有第一法兰盘(14);所述单向管道阀(2)输出端安装在所述圆筒(11)内侧的内螺纹管(13)下端;所述导风外管(3)通过螺栓安装在所述圆板(12)上端;所述接废气燃烧内芯(4)下端与所述导风外管(3)内壁配合,且所述接废气燃烧内芯(4)下端与所述内螺纹管(13)上端螺纹连接;所述助燃内芯(6)安装在所述接废气燃烧内芯(4)上端;所述导风外管(3)上端部外壁贯穿安装有点火器(7);所述燃烧保护罩(5)安装在所述导风外管(3)上端,且罩设在所述助燃内芯(6)外侧。2.根据权利要求1所述的一种废气燃烧器,其特征在于,所述导风外管(3)包括圆管(31);所述圆管(31)上端固定有向外扩口的第一圆锥筒(32);所述点火器(7)贯穿安装在所述第一圆锥筒(32)壁上;所述圆管(31)中部贯穿固定有进风管(33);所述圆管(31)下端固定有与所述基座(1)连接配合的第二法兰盘(34);所述第一圆锥筒(32)上端固定有与所述燃烧保护罩(5)连接配合的第三法兰盘(35)。3.根据权利要求2所述的一种废气燃烧器,其特征在于,所述接废气燃烧内芯(4)包括导气圆管(41);所述导气圆管(41)下端外壁开设外螺纹线(42);所述导气圆管(41)下端部...

【专利技术属性】
技术研发人员:罗娜文维民余秀宇
申请(专利权)人:中船九江锅炉有限公司
类型:发明
国别省市:

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