一种碳化硅半导体薄膜材料的制备装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术适用于碳化硅薄膜制备技术领域，提供了一种碳化硅半导体薄膜材料的制备装置，包括喷膜料筒，还包括：上密封盖，所述上密封盖包括第一盖板，所述第一盖板上设置有第一卡合块和定位柱，所述第一卡合块上开设有第一固定槽；安下密封盖，所述下密封盖包括第二盖板，所述第二盖板上安装有第二卡合块，所述第二卡合块上开设有第二固定槽；以及安装于喷膜料筒上的固定机构，所述固定机构包括转动环和固定环，所述转动环上设置有螺纹凸起，所述螺纹凸起上安装有插杆，且所述插杆的一侧滑动安装于固定环中，所述插杆插入喷膜料筒中，并与第一固定槽或第二固定槽配合。该装置可实现对上密封盖和下密封盖的便捷固定，操作简单，使用效果好。用效果好。用效果好。

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅半导体薄膜材料的制备装置


[0001]本技术属于碳化硅薄膜制备
，尤其涉及一种碳化硅半导体薄膜材料的制备装置。

技术介绍

[0002]碳化硅是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成。正由于碳化硅具有优良的性质，人们专门生产出一种碳化硅薄膜，它是通过专门的成型装置而制成的。
[0003]但是现有的碳化硅薄膜成型装置的密封盖多是通过螺栓进行固定的，造成了密封盖的拆卸十分的不便。

技术实现思路

[0004]本技术实施例的目的在于提供一种碳化硅半导体薄膜材料的制备装置，旨在解决现有的碳化硅薄膜成型装置的密封盖多是通过螺栓进行固定的，造成了密封盖的拆卸十分的不便的问题。
[0005]本技术实施例是这样实现的，一种碳化硅半导体薄膜材料的制备装置，包括喷膜料筒，还包括：
[0006]安装于喷膜料筒顶部的上密封盖，所述上密封盖包括第一盖板，所述第一盖板靠近喷膜料筒的一端设置有第一卡合块和定位柱，所述第一卡合块阵列安装于第一盖板上，且所述第一卡合块上开设有第一固定槽；
[0007]安装于喷膜料筒底部的下密封盖，所述下密封盖包括第二盖板，所述第二盖板靠近喷膜料筒的一侧阵列安装有第二卡合块，所述第二卡合块上开设有第二固定槽；以及
[0008]安装于喷膜料筒上的固定机构，所述固定机构设置有两组，所述固定机构包括转动环和固定环，所述转动环转动安装于喷膜料筒上，所述转动环上设置有螺纹凸起，所述螺纹凸起上安装有插杆，且所述插杆的一侧滑动安装于固定环中，所述插杆插入喷膜料筒中，并与第一固定槽或第二固定槽配合。
[0009]进一步的技术方案，所述喷膜料筒上设置有用于驱动转动环旋转的驱动组件。
[0010]进一步的技术方案，所述驱动组件包括安装于喷膜料筒上的双头电机，所述双头电机的输出端设置有驱动轴，所述驱动轴上设置有齿轮，且两个转动环上均设置有与齿轮啮合的齿环。
[0011]进一步的技术方案，所述第一盖板远离喷膜料筒的一侧设置有拉环。
[0012]进一步的技术方案，一组所述固定机构中设置有三个插杆。
[0013]本技术实施例提供的一种碳化硅半导体薄膜材料的制备装置，使用时，分别将上密封盖和下密封盖插入喷膜料筒中，使得第一卡合块和第二卡合块与喷膜料筒侧壁上开设的定位槽匹配，然后启动双头电机，双头电机带动驱动轴转动，驱动轴带动齿轮转动，齿轮通过与齿环的配合可带动转动环旋转，转动环带动螺纹凸起转动，从而通过螺纹凸起
与插杆的配合，可带动插杆在固定环的导向作用下进行向心滑动，从而可将插杆插入第一固定槽或者第二固定槽中，实现对上密封盖和下密封盖的固定。该装置可实现对上密封盖和下密封盖的便捷固定，操作简单，使用效果好。
附图说明
[0014]图1为本技术实施例提供的一种碳化硅半导体薄膜材料的制备装置的结构示意图；
[0015]图2为本技术实施例提供的一种碳化硅半导体薄膜材料的制备装置中的固定机构的结构示意图；
[0016]图3为本技术实施例提供的一种碳化硅半导体薄膜材料的制备装置中的上密封盖的结构示意图。
[0017]附图中：喷膜料筒1；上密封盖2；第一盖板21；第一卡合块22；第一固定槽23；定位柱24；拉环25；固定机构3；转动环31；固定环32；插杆33；螺纹凸起34；驱动部4；双头电机41；驱动轴42；齿环43；齿轮44；下密封盖5；第二盖板51；第二卡合块52；第二固定槽53。
具体实施方式
[0018]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0019]以下结合具体实施例对本技术的具体实现进行详细描述。
[0020]如图1
‑
3所示，为本技术一个实施例提供的一种碳化硅半导体薄膜材料的制备装置，包括喷膜料筒1，还包括：
[0021]安装于喷膜料筒1顶部的上密封盖2，所述上密封盖2包括第一盖板21，所述第一盖板21远离喷膜料筒1的一侧设置有拉环25，所述第一盖板21靠近喷膜料筒1的一端设置有第一卡合块22和定位柱24，所述第一卡合块22阵列安装于第一盖板21上，且所述第一卡合块22上开设有第一固定槽23；
[0022]安装于喷膜料筒1底部的下密封盖5，所述下密封盖5包括第二盖板51，所述第二盖板51靠近喷膜料筒1的一侧阵列安装有第二卡合块52，所述第二卡合块52上开设有第二固定槽53；以及
[0023]安装于喷膜料筒1上的固定机构3，所述固定机构3设置有两组，所述固定机构3包括转动环31和固定环32，所述转动环31转动安装于喷膜料筒1上，所述转动环31上设置有螺纹凸起34，所述螺纹凸起34上安装有插杆33，且所述插杆33的一侧滑动安装于固定环32中，所述插杆33插入喷膜料筒1中，并与第一固定槽23或第二固定槽53配合。
[0024]在本技术实施例中，一组所述固定机构3中设置有三个插杆33。使用时，分别将上密封盖2和下密封盖5插入喷膜料筒1中，使得第一卡合块22和第二卡合块52与喷膜料筒1侧壁上开设的定位槽匹配，然后通过驱动部4可带动转动环31旋转，转动环31带动螺纹凸起34转动，从而通过螺纹凸起34与插杆33的配合，可带动插杆33在固定环32的导向作用下进行向心滑动，从而可将插杆33插入第一固定槽23或者第二固定槽53中，实现对上密封盖2和下密封盖5的固定。
[0025]如图1所示，作为本技术的一种优选实施例，所述喷膜料筒1上设置有用于驱动转动环31旋转的驱动组件。
[0026]在本技术实施例中，所述驱动组件包括安装于喷膜料筒1上的双头电机41，所述双头电机41的输出端设置有驱动轴42，所述驱动轴42上设置有齿轮44，且两个转动环31上均设置有与齿轮44啮合的齿环43。通过双头电机41可带动两端的驱动轴42同步转动，驱动轴42带动齿轮44转动，齿轮44通过与齿环43的配合可带动转动环31旋转。
[0027]工作原理：使用时，分别将上密封盖2和下密封盖5插入喷膜料筒1中，使得第一卡合块22和第二卡合块52与喷膜料筒1侧壁上开设的定位槽匹配，然后启动双头电机41，双头电机41带动驱动轴42转动，驱动轴42带动齿轮44转动，齿轮44通过与齿环43的配合可带动转动环31旋转，转动环31带动螺纹凸起34转动，从而通过螺纹凸起34与插杆33的配合，可带动插杆33在固定环32的导向作用下进行向心滑动，从而可将插杆33插入第一固定槽23或者第二固定槽53中，实现对上密封盖2和下密封盖5的固定。
[0028]以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅半导体薄膜材料的制备装置，包括喷膜料筒，其特征在于，还包括：安装于喷膜料筒顶部的上密封盖，所述上密封盖包括第一盖板，所述第一盖板靠近喷膜料筒的一端设置有第一卡合块和定位柱，所述第一卡合块阵列安装于第一盖板上，且所述第一卡合块上开设有第一固定槽；安装于喷膜料筒底部的下密封盖，所述下密封盖包括第二盖板，所述第二盖板靠近喷膜料筒的一侧阵列安装有第二卡合块，所述第二卡合块上开设有第二固定槽；以及安装于喷膜料筒上的固定机构，所述固定机构设置有两组，所述固定机构包括转动环和固定环，所述转动环转动安装于喷膜料筒上，所述转动环上设置有螺纹凸起，所述螺纹凸起上安装有插杆，且所述插杆的一侧滑动安装于固定环中，...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐晶骥，董国斌，叶俊，
申请(专利权)人：上海东煦电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：