一种光刻胶液制备装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及光刻胶液制备技术领域，尤其涉及一种光刻胶液制备装置及方法。本发明专利技术提供一种能够均匀混料的光刻胶液制备装置及方法。本发明专利技术提供了这样一种光刻胶液制备装置及方法，包括有混料筒，安装座上安装有混料筒，混料筒上部呈圆台状，混料筒下部呈倒锥状；安装架，安装座顶部一侧设置有安装架。混料机构能够带动混料筒下部的高浓度原料液内的固化物进行混合打散，第一转轴通过连接杆带动搅拌叶片进行高速旋转，进而能够形成涡旋状，进而靠近混料筒侧壁的液体上升，高浓度原料液经过混料筒上部狭窄口后能够进一步混合下落，实现均匀混合的目的，有利于后续达到相应黏度和浓度。有利于后续达到相应黏度和浓度。有利于后续达到相应黏度和浓度。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶液制备装置及方法


[0001]本专利技术涉及光刻胶液制备
，尤其涉及一种光刻胶液制备装置及方法。

技术介绍

[0002]光刻胶是指一大类具有光敏化学作用的高分子聚合物材料，又叫抗蚀剂，也叫光阻剂。主要应用于集成电路，封装，微机电系统，光电子器件光子器件，平板显示器，太阳能光伏等领域。感光树脂经光照后，在曝光区能很快地发生光固化反应，使得这种材料的物理性能，特别是溶解性、亲合性等发生明显变化。经适当的溶剂处理，溶去可溶性部分，得到所需图像。光刻胶的技术复杂，品种较多。根据其化学反应机理和显影原理，可分负性胶和正性胶两类。光照后不可溶物质的是负性胶：反之，对某些溶剂是不可溶的，经光照后变成可溶物质的即为正性胶。利用这种性能，将光刻胶作涂层，就能在硅片表面刻蚀所需的电路图形。
[0003]现有技术中，光刻胶液的制备不均涂布于芯片上，经过后续高温处理，膜层表面容易收缩，因此，需要设计一种能够均匀混料的光刻胶液制备装置及方法用于解决上述技术问题。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术中，光刻胶液的制备不均涂布于芯片上，经过后续高温处理，膜层表面容易收缩的缺点，本专利技术的技术问题是：提供一种能够均匀混料的光刻胶液制备装置及方法。
[0005]技术方案是：一种光刻胶液制备装置，包括：混料筒，安装座上安装有混料筒，混料筒上部呈圆台状，混料筒下部呈倒锥状；安装架，安装座顶部一侧设置有安装架；进液管，安装架上安装有进液管，进液管与混料筒连通；进料筒，安装架上安装有进料筒，进料筒与混料筒顶部连通；还包括：安装板，进料筒顶部通过支架设置有安装板；混料机构，进料筒顶部中心设置有用于对原料混合的混料机构，混料机构搅拌部位于混料筒内；配料机构，进料筒顶部一侧嵌入式设置有配料机构；料箱，安装板顶部一侧设置有料箱；下料机构，料箱内安装有下料机构，下料机构与配料机构连通。
[0006]此外，特别优选的是，混料机构包括：第一转轴，进料筒顶部中心转动式设置有第一转轴；双轴电机，进料筒顶部安装有双轴电机，双轴电机下部输出轴通过联轴器与第一转轴上端连接；搅拌片，第一转轴下端间隔设置有搅拌片；连接杆，第一转轴中部间隔设置有连接杆；搅拌叶片，连接杆上均设置有搅拌叶片。
[0007]此外，特别优选的是，配料机构包括：配料筒，进料筒顶部一侧嵌入式设置有配料筒；进料管，配料筒侧壁上部均匀间隔设置有进料管；阀门，配料筒底部出料管位于混料筒上方，出料管上设置有阀门，阀门旋转部位位于混料箱外侧；第二转轴，配料筒顶部中心转动式设置有第二转轴；皮带传送组件，第二转轴与双轴电机上部输出轴之间设置有皮带传送组件，皮带传送组件由一个大皮带轮、小皮带轮和平皮带组成，第二转轴上设置有大皮带
轮，双轴电机上部的输出轴上设置有小皮带轮，小皮带轮和大皮带轮之间绕有平皮带；混合叶片，第二转轴位于配料筒部位设置有混合叶片。
[0008]此外，特别优选的是，下料机构包括：通管，料箱底部连通有通管，通管贯穿于安装板；柱形轴，通管内滑动式设置有柱形轴，柱形轴上部竖直开有圆柱槽，柱形轴侧壁开有出液口，出液口与圆柱槽连通；连接块，柱形轴底部设置有连接块；定量筒，柱形轴顶部位于料箱内，柱形轴顶部连接有定量筒；拉杆，连接块上设置有拉杆，拉杆与安装板滑动式连接；出料管，通管上连通有出料管；导液管，出料管通过导液管与配料筒上部连通。
[0009]此外，特别优选的是，还包括有顶升机构，安装板底部设置有与下料机构和配料机构配合的顶升机构，顶升机构包括：U型架，安装板底部靠近第二转轴位置设置有U型架；第三转轴，U型架上对称转动式设置有第三转轴；摆动块，两个第三转轴之间设置有摆动块；环形顶块，大皮带轮底部设置有环形顶块；摆动杆，摆动块上安装有摆动杆，连接块上设置有方形槽，摆动杆一端贯穿于连接块上的方形槽，摆动杆另一端与环形顶块接触。
[0010]此外，特别优选的是，还包括有晃动机构，安装板上设置有能够对料箱内原料进行混合的晃动机构，晃动机构包括：安装杆，安装板顶部中心转动式设置有安装杆，安装杆通过联轴器与双轴电机上部的输出轴连接；凸轮，安装杆上设置有凸轮；方形缸体，料箱靠近安装杆的侧壁位置嵌入式设置有方形缸体；活塞，方形缸体内滑动式设置有两个活塞；移动杆，两个活塞相互远离的侧壁均设置有移动杆；顶板，位于料箱外侧的移动杆端部连接有顶板；弹性件，顶板与方形缸体侧壁之间设置有弹性件；混料板，位于料箱内侧的移动杆端部连接有混料板。
[0011]一种光刻胶液制备装置的使用方法，包括以下步骤：
[0012]S1、往混料筒内侧注入定量的高浓度原料液，然后启动双轴电机带动搅拌片和搅拌叶片预先对混料筒高浓度原料液内的固化物进行混合打散；
[0013]S2、往料箱内注入相应溶剂，溶剂液面高于定量筒，定量筒内将装满溶剂；
[0014]S3、向上提拉拉杆，拉杆带动连接块和柱形轴向上运动，出液口与通管上的出料管连通，定量筒内溶剂液体通过导液管流入至配料筒内；
[0015]S4、通过进料管注入相应的微量添加剂，与配料筒内的溶剂液体混合，通过皮带传送组件带动第二转轴和混合叶片进行旋转，完成对配料筒内原料进行混合作业；
[0016]S5、打开阀门，进而混合好的溶剂和添加剂流入至混料筒，进一步与搅拌的高浓度原料液进行混合，重复之上的溶剂部分添加，进而能够进行混合稀释到规定浓度的产品用光刻胶液。
[0017]采用了上述对本专利技术结构的描述可知，本专利技术的设计出发点、理念及优点是：
[0018]1、混料机构能够带动混料筒下部的高浓度原料液内的固化物进行混合打散，第一转轴通过连接杆带动搅拌叶片进行高速旋转，进而能够形成涡旋状，进而靠近混料筒侧壁的液体上升，高浓度原料液经过混料筒上部狭窄口后能够进一步混合下落，实现均匀混合的目的，有利于后续达到相应黏度和浓度。
[0019]2、通过向上提拉拉杆，能够实现定量筒内溶剂将通过柱形轴的圆柱槽经过出料管和导液管流入至配料筒内与进料管注入相应的微量添加剂进行混合，混合叶片旋转加快对配料筒内原料进行混合作业。进而混合好的溶剂和添加剂流入至混料筒，进一步与搅拌的高浓度原料液进行混合，重复之上的溶剂部分添加，进而能够进行混合稀释到规定浓度的
产品用光刻胶液。
附图说明
[0020]图1为本专利技术的立体结构示意图。
[0021]图2为本专利技术混料机构的安装结构示意图。
[0022]图3为本专利技术下料机构和配料机构的部分立体结构示意图。
[0023]图4为本专利技术配料机构的立体爆炸结构示意图。
[0024]图5为本专利技术下料机构的部分立体结构示意图。
[0025]图6为本专利技术顶升机构和晃动机构的立体剖视结构示意图。
[0026]图7为本专利技术晃动机构的安装结构示意图。
[0027]图8为本专利技术晃动机构的立体爆炸结构示意图。
[0028]附图标号：1_安装座，2_混料筒，3_安装架，4_进液管，5_进料筒，51_安装板，6_混料机构，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶液制备装置，包括：安装座(1)、混料筒(2)，安装座(1)上安装有混料筒(2)，混料筒(2)上部呈圆台状，混料筒(2)下部呈倒锥状；安装架(3)，安装座(1)顶部一侧设置有安装架(3)；进液管(4)，安装架(3)上安装有进液管(4)，进液管(4)与混料筒(2)连通；进料筒(5)，安装架(3)上安装有进料筒(5)，进料筒(5)与混料筒(2)顶部连通；其特征是，还包括：安装板(51)，进料筒(5)顶部通过支架设置有安装板(51)；混料机构(6)，进料筒(5)顶部中心设置有用于对原料混合的混料机构(6)，混料机构(6)搅拌部位于混料筒(2)内；配料机构(7)，进料筒(5)顶部一侧嵌入式设置有能够预先对溶剂液体和微量添加剂混合的配料机构(7)；料箱(8)，安装板(51)顶部一侧设置有用于盛装溶剂液体的料箱(8)；下料机构(9)，料箱(8)内安装有下料机构(9)，下料机构(9)与配料机构(7)连通。2.如权利要求1所述的一种光刻胶液制备装置，其特征是，混料机构(6)包括：第一转轴(61)，进料筒(5)顶部中心转动式设置有第一转轴(61)；双轴电机(62)，进料筒(5)顶部安装有双轴电机(62)，双轴电机(62)下部输出轴通过联轴器与第一转轴(61)上端连接；搅拌片(63)，第一转轴(61)下端间隔设置有搅拌片(63)；连接杆(64)，第一转轴(61)中部间隔设置有连接杆(64)；搅拌叶片(65)，连接杆(64)上均设置有搅拌叶片(65)。3.如权利要求2所述的一种光刻胶液制备装置，其特征是，配料机构(7)包括：配料筒(71)，进料筒(5)顶部一侧嵌入式设置有配料筒(71)；进料管(72)，配料筒(71)侧壁上部均匀间隔设置有进料管(72)；阀门(73)，配料筒(71)底部出料管(96)位于混料筒(2)上方，出料管(96)上设置有阀门(73)，阀门(73)旋转部位位于混料箱(8)外侧；第二转轴(74)，配料筒(71)顶部中心转动式设置有第二转轴(74)；皮带传送组件(75)，第二转轴(74)与双轴电机(62)上部输出轴之间设置有皮带传送组件(75)，皮带传送组件(75)由一个大皮带轮、小皮带轮和平皮带组成，第二转轴(74)上设置有大皮带轮，双轴电机(62)上部的输出轴上设置有小皮带轮，小皮带轮和大皮带轮之间绕有平皮带；混合叶片(76)，第二转轴(74)位于配料筒(71)部位设置有混合叶片(76)。4.如权利要求3所述的一种光刻胶液制备装置，其特征是，下料机构(9)包括：通管(91)，料箱(8)底部连通有通管(91)，通管(91)贯穿于安装板(51)；柱形轴(92)，通管(91)内滑动式设置有柱形轴(92)，柱形轴(92)上部竖直开有圆柱槽，柱形轴(92)侧壁开有出液口(98)，出液口(98)与圆柱槽连通；连接块(93)，柱形轴(92)底部设置有连接块(93)；定量筒(94)，柱形轴(92)顶部位于料箱(8)内，柱形轴(92)顶部连接有定量筒(94)；拉杆(95)，连接块(93)上设置有拉杆(95)，拉杆(95)与安装板(51)滑动...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢浩龙，徐保峰，陈裕昌，刘正亮，易奕，
申请(专利权)人：广州市保达新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：