圆角矩形面形数据的处理方法技术

本发明专利技术涉及光学检测领域，基于编程和矩阵布尔运算具体提供一种便于快速调整mask区域大小的圆角矩形面形数据的处理方法，具体步骤如下：S1、获取原始数据的有效数据矩阵；S2、基于圆角矩形面形数据进行分区域mask矩阵建模；S3、进行各矩阵间的布尔运算；S4、将有效数据矩阵与总mask矩阵取交集，获得mask建模后的圆角矩形面形数据。现有技术中手绘的mask区域存在不确定性高、误差大以及多次绘制时的一致性低等缺点，而本发明专利技术是基于编程和矩阵布尔运算提出的，便于快速调整mask区域大小，并且避免了手动绘制mask区域的误差，提高了绘制精度和多次绘制时的一致性。次绘制时的一致性。次绘制时的一致性。

【技术实现步骤摘要】
圆角矩形面形数据的处理方法


[0001]本专利技术涉及光学检测领域，具体提供一种便于快速调整mask区域大小的圆角矩形面形数据的处理方法。

技术介绍

[0002]现有技术中，对于高精密光学面形检测通常使用干涉测量的方法，为保证面形数据加载到光学系统中的准确性，需要对原始的面形数据进行mask，去除周围衍射。测量过程的大部分工作镜为圆形口径，并且圆形口径的工作镜在对数据进行mask时直接画圆，再将mask圆的半径减小，再和原始面形数据取交集。
[0003]对于矩形口径的工作镜而言，出于安全考虑将矩形口径的工作镜的四个角一般加工成圆角，对面形数据进行mask不仅仅是画矩形。例如用Metropro软件中的“Mask Data”编辑器中的“curve”和“polygon”等进行masks处理时，需要手动绘制mask区域，但存在不确定性，误差较大，多次绘制很难保证一致性且比较浪费时间。

技术实现思路

[0004]本专利技术为解决上述问题，基于编程和矩阵布尔运算提供了一种便于快速调整mask区域大小的圆角矩形面形数据的处理方法，规避本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种圆角矩形面形数据的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、获取原始数据的有效数据矩阵；S2、基于圆角矩形面形数据进行分区域mask矩阵建模；对所述圆角矩形面形的4个圆角进行圆形mask矩阵建模；对所述圆角矩形面形的横向进行矩形mask矩阵建模；对所述圆角矩形面形的纵向进行矩形mask矩阵建模；S3、对4个所述圆形mask矩阵和2个所述矩形mask矩阵取并集，获得总mask矩阵；S4、将所述有效数据矩阵与所述总mask矩阵取交集，获得mask建模后的圆角矩形面形数据。2.如权利要求1所述的圆角矩形面形数据的处理方法，其特征在于，所述圆形mask矩阵的半径和圆心根据所述有效数据矩阵确定。3.如权利要求1所述的圆角矩形面形数据的处理方法，其特征在于，所述圆形mask矩阵和...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷茜茜，李晓波，白晓泉，杨勋，姜禹希，班章，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：