一种晶圆出盒导向保护结构制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆技术领域，特别是一种晶圆出盒导向保护结构，包括底板，所述底板的一侧固定连接有两个挡板，所述底板的一侧固定连接有与挡板固定连接的两个侧板。本实用新型专利技术的优点在于：通过所述第一导向筋板、铰链、导向板、第二导向筋板、安装块、弹簧柱塞、定位板和定位孔的配合设置，在取出所述晶圆盘前能够将导向板固定在竖直的位置，并使所述第一导向筋板和第二导向筋板相对齐，通过所述第一导向筋板和第二导向筋板延长了导向筋板的总体长度，使得所述晶圆盘从第一导向筋板和第二导向筋板中脱出时与盒内的晶圆盘已经没有重叠的危险区域，从而避免了所述晶圆盘之间出现剐蹭和碰撞的现象，进而减少了因误操作而损坏的工件。件。件。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆出盒导向保护结构


[0001]本技术涉及晶圆
，特别是一种晶圆出盒导向保护结构。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆是模组中核心部件，非常贵重且成本占比很高。
[0003]晶圆的使用需将晶圆盘从晶圆盒中取出，但当其刚脱出盒体间隔筋时，与还在盒内的晶圆盘重叠区域还较大(近一半面积)，在没注意操作情况下，很容易发生二者剐蹭碰撞的现象，从而损坏晶圆，晶圆盘进出盒时，需非常注意顺序和手法，操作效率较低，并且在取出晶圆盘时需要经培训的熟练工作业，但是仍然有发生剐蹭碰撞后损坏晶圆盘的现象。

技术实现思路

[0004]本技术的目的旨在至少解决所述技术缺陷之一。
[0005]为此，本技术的一个目的在于提出一种晶圆出盒导向保护结构，以解决
技术介绍
中所提到的问题，克服现有技术中存在的不足。
[0006]为了实现上述目的，本技术一方面的实施例提供本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆出盒导向保护结构，其特征在于：包括底板(1)，所述底板(1)的一侧固定连接有两个挡板(2)，所述底板(1)的一侧固定连接有与挡板(2)固定连接的两个侧板(3)，所述底板(1)的一侧设置有晶圆盒(4)，所述晶圆盒(4)的内部固定连接有若干个第一导向筋板(5)，所述晶圆盒(4)的内部设置有若干个晶圆盘(6)，所述晶圆盒(4)的顶端设置有晶圆盖(7)，所述侧板(3)的一侧固定安装有铰链(8)，所述铰链(8)的一侧固定安装有导向板(9)，所述导向板(9)的一侧固定连接有若干个第二导向筋板(10)，所述侧板(3)的顶端固定连接有安装块(11)，所述安装块(11)的一侧设置有弹簧柱塞(12)，所述导向板(9)的一侧固定连接有定位板(13)，所述定位板(13)的一侧开设有定位孔(14)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆出盒导向保...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄振华，
申请(专利权)人：南昌同兴达精密光电有限公司，
类型：新型
国别省市：