一种反应炉控制方法、装置及相关设备制造方法及图纸

本申请提供一种反应炉控制方法、装置及相关设备，其中，所述方法包括：将预设的多个数据组逐一输入至预测模型中，获得所述多个数据组中每一数据组对应的收益参数，其中，所述数据组对应反应炉在一次反应过程中的输入参数的输入量变化曲线，所述收益参数用于表征所述预测模型根据对应数据组预测的多晶硅产出收益；将对应最高的收益参数的数据组确定为基准数据组；控制反应炉按照所述基准数据组对所述反应炉的输入参数进行调节。通过预测模型来确定基准数据组，并控制反应炉根据基准数据组对反应炉的输入参数进行调节，从而规避人为因素的干扰，使得反应炉的多晶硅产出效果得到提升。使得反应炉的多晶硅产出效果得到提升。使得反应炉的多晶硅产出效果得到提升。

【技术实现步骤摘要】
一种反应炉控制方法、装置及相关设备


[0001]本申请涉及多晶硅生产
，具体涉及一种反应炉控制方法、装置及相关设备。

技术介绍

[0002]多晶硅还原工序是生产过程中的关键环节，还原车间内包括多个反应炉，对每一反应炉的输入参数的输入量变化曲线的设置操作，通常会参照预设置的最优曲线完成。
[0003]应用中发现，预设置的最优曲线是在人工持续监测和调控处理下获得的曲线，上述人工监测和调控操作受人为因素的干扰较大，因此，若基于最优曲线对反应炉进行调控，会出现反应炉的实际产出效果较差的情况，也就是说，反应炉在相关技术指导下的多晶硅产出效果差。

技术实现思路

[0004]本申请的实施例的目的在于提供一种反应炉控制方法、装置及相关设备，用于解决反应炉在相关技术指导下存在的多晶硅产出效果差的问题。
[0005]第一方面，本申请实施例提供一种反应炉控制方法，所述方法包括：
[0006]将预设的多个数据组逐一输入至预测模型中，获得所述多个数据组中每一数据组对应的收益参数，其中，所述数据组对应反应炉在一次反应过程中的输本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种反应炉控制方法，其特征在于，所述方法包括：将预设的多个数据组逐一输入至预测模型中，获得所述多个数据组中每一数据组对应的收益参数，其中，所述数据组对应反应炉在一次反应过程中的输入参数的输入量变化曲线，所述收益参数用于表征所述预测模型根据对应数据组预测的多晶硅产出收益；将对应最高的收益参数的数据组确定为基准数据组；控制反应炉按照所述基准数据组对所述反应炉的输入参数进行调节。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将预设的多个数据组逐一输入至预测模型中，获得所述多个数据组中每一数据组对应的收益参数之前，所述方法还包括：获取多个训练样本，其中，所述训练样本用于表征历史时期中反应炉在一次反应过程中的输入参数的输入量变化曲线和对应的多晶硅产出收益，所述历史时期中反应炉在一次反应过程中的输入参数的输入量变化曲线上任一点的曲率均小于对应的曲率阈值；根据所述多个训练样本对初始模型进行训练，获得预测模型。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制反应炉按照所述基准数据组对所述反应炉的输入参数进行调节，包括：根据反应炉对应的数据调整策略和所述基准数据组，确定所述反应炉的实验数据组；控制反应炉按照所述实验数据组对所述反应炉的输入参数进行调节；所述控制反应炉按照所述基准数据组对所述反应炉的输入参数进行调节之后，所述方法还包括：获取所述实验数据组对应的实际收益，其中，所述实际收益为所述反应炉在基于所述实验数据组运行后的多晶硅产出收益；在所述实际收益大于所述基准数据组对应的收益参数时，根据所述实验数据组对所述基准数据组进行更新。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述实际收益根据反应炉对应的至少两个收益指标加权计算得到，其中，所述至少两个收益指标包括反应炉对应的运行时长、多晶硅产量、能耗、优品率、三氯氢硅输入量、氢气输入量中的至少两项。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：获取所述反应炉的运行信息，其中，所述运行信息包括所述反应炉在运行过程中的输入参数、输入参数的输入量变化曲线、温度、电压...

【专利技术属性】
技术研发人员：张兆东，马东，刘兴平，王文，王永富，
申请(专利权)人：新特硅基新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：