微机电挡片、图像传感器组件和图像传感器制造技术

本实用新型专利技术提供一种微机电挡片、图像传感器组件和图像传感器，涉及视频处理领域，用于降低成本和缩小微机电挡片的尺寸。该微机电挡片包括挡片层，所述挡片层包括微机电结构图案；所述微机电结构图案包括：具有开口的支撑结构图案；位于所述开口内的挡片结构图案；以及，连接在所述支撑结构图案与所述挡片结构图案之间的致动结构图案。微机电挡片用于控制光信号的透过。信号的透过。信号的透过。

【技术实现步骤摘要】
微机电挡片、图像传感器组件和图像传感器


[0001]本技术涉及视频处理领域，尤其涉及一种微机电挡片、图像传感器组件和图像传感器。

技术介绍

[0002]快门是图像设备和图像传感器中重要的部件之一，用来控制感应部件感受光信号的时间，使之达到校准或采集最佳信号的目的。
[0003]目前常用的快门，是采用电磁阀或电机驱动的机械式快门，其尺寸相对于探测器而言较大，在装配中占据了过多的空间，增大了整体尺寸；机械式快门由于加工方式的限制，成本上较难有更多的下降。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供了一种微机电挡片、图像传感器组件和图像传感器，用于降低微机电挡片的成本和缩小微机电挡片的尺寸。
[0005]第一方面，本申请提供了一种微机电挡片，该微机电挡片包括挡片层，所述挡片层包括微机电结构图案；所述微机电结构图案包括：具有开口的支撑结构图案；位于所述开口内的挡片结构图案；以及，连接在所述支撑结构图案与所述挡片结构图案之间的致动结构图案。
[0006]本申请实施例提供一种微机电挡片，支撑结构图案与挡片结构图案固定连接，可以支撑挡片结构图案，致动结构图案通过支撑结构图案驱动挡片结构图案位移，使得微机电挡片在开启状态和闭合状态之间切换，由此来控制光线是否照射到红外芯片的有效阵列区域；而且由于微机电挡片的尺寸较小，挡片结构图案在致动结构图案的驱动下，发生的位移较小，进而使得微机电挡片中为挡片结构图案预留的空间较小，进一步减小了微机电挡片的尺寸，同时节约了制造成本，而且，挡片结构图案在致动结构图案的驱动下，能够快速在挡光与不挡光的两种状态进行切换，从而提高了微机电挡片的工作效率。
[0007]一种可能的实现方式中，所述致动结构图案包括：至少一个悬梁臂，所述悬梁臂与所述挡片结构图案固定连接；以及，至少一个锚点，所述锚点与所述悬梁臂固定连接；且所述锚点还与所述支撑结构图案固定连接。
[0008]另一种可能的实现方式中，所述挡片结构图案、所述悬臂梁以及所述锚点采用同一基底刻蚀形成。
[0009]又一种可能的实现方式中，所述挡片结构图案为矩形结构、圆形结构或光栅型结构。
[0010]又一种可能的实现方式中，所述挡片结构图案包括层叠设置的支撑层和反射导电层。
[0011]又一种可能的实现方式中，所述反射导电层的反射率大于或等于90％。
[0012]第二方面，本申请提供一种图像传感器组件，包括：盖板，所述盖板具有透光区域；
以及，设置在所述盖板上的微机电挡片，所述微机电挡片为上述任一项实施例中所述的微机电挡片；所述微机电挡片的开口与所述透光区域对应设置，且所述透光区域的面积大于或等于所述开口的面积。
[0013]第三方面，本申请提供一种图像传感器，所述图像传感器包括：如上述任一项实施例中所述的微机电挡片；以及，红外芯片，所述红外芯片位于所述微机电挡片的一侧；所述红外芯片具有有效阵列区域，所述有效阵列区域设置有多个感光元件；所述微机电挡片的开口与所述有效阵列区域对应设置，且所述开口的面积大于或等于所述有效阵列区域的面积。
[0014]一种可能的实现方式中，所述图像传感器还包括：位于所述微机电挡片远离所述红外芯片一侧的盖板；所述盖板具有透光区域，所述透光区域在所述红外芯片的正投影至少覆盖所述有效阵列区域；所述盖板的材料包括硅。
[0015]另一种可能的实现方式中，所述微机电挡片集成在所述盖板上，构成如权利要求7所述的图像传感器组件；和/或，所述微机电挡片集成在所述红外芯片上。
[0016]上述第二方面以及第三方面的有益效果可以参考第一方面的描述，在此不再赘述。
附图说明
[0017]图1为本申请实施例提供的一种图像传感器的结构示意图；
[0018]图2为本申请实施例提供的一种微机电挡片的组成示意图；
[0019]图3A为本申请实施例提供的一种微机电挡片中的挡片部件不遮挡红外芯片的感光区域的示意图；
[0020]图3B为本申请实施例提供的一种微机电挡片中的挡片部件遮挡红外芯片的感光区域的示意图；
[0021]图4A为本申请实施例提供的又一种微机电挡片的结构示意图；
[0022]图4B为本申请实施例提供的又一种微机电挡片的结构示意图；
[0023]图5为本申请实施例提供的又一种图像传感器的结构示意图；
[0024]图6为本申请实施例提供的一种在图像传感器的工作过程中，挡片与红外芯片配合工作的示意图；
[0025]图7为本申请实施例提供的一种图像传感器组件的结构示意图。
具体实施方式
[0026]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0027]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系；仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0028]术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
[0029]此外，本申请的描述中所提到的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选的还包括其他没有列出的步骤或单元，或可选的还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0030]需要说明的是，本申请实施例中，“示例性的”或者“例如”等词用于表示作例子、例证或说明。本申请实施例中被描述为“示例性的”或者“例如”的任何实施例或设计方案不应被解释为比其它实施例或设计方案更优选或更具优势。确切而言，使用“示例性的”或者“例如”等词旨在以具体方式呈现相关概念。
[0031]在本申请的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是指两个或两个以上。
[0032]如图1所示，本申请的一些实施例提供了一种图像传感器1000，该图像传感器1000可以将感光面上的光像转换为与光像成相应比例关系的电信号。该图像传感器1000可以是电荷耦合图像传感器(CCD)或金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器，本申请对此不做限制。
[0033]在一些实施例中，如图1所示，该图像传感器1000包括微机电挡片100和红外芯片200。
[0034]在一些示例中，如图1所示，红外芯片200位于微机电挡片100的一侧。红外芯片200具有有效阵列区本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微机电挡片，其特征在于，包括挡片层，所述挡片层包括微机电结构图案；所述微机电结构图案包括：具有开口的支撑结构图案；位于所述开口内的挡片结构图案；以及，连接在所述支撑结构图案与所述挡片结构图案之间的致动结构图案。2.根据权利要求1所述的微机电挡片，其特征在于，所述致动结构图案包括：至少一个悬梁臂，所述悬梁臂与所述挡片结构图案固定连接；以及，至少一个锚点，所述锚点与所述悬梁臂固定连接；且所述锚点还与所述支撑结构图案固定连接。3.根据权利要求2所述的微机电挡片，其特征在于，所述挡片结构图案、所述悬梁臂以及所述锚点采用同一基底刻蚀形成。4.根据权利要求2所述的微机电挡片，其特征在于，所述挡片结构图案为矩形结构、圆形结构或光栅型结构。5.根据权利要求2所述的微机电挡片，其特征在于，所述挡片结构图案包括层叠设置的支撑层和反射导电层。6.根据权利要求5所述的微机电挡片，其特征在于，所述反射导电层的反射率大于或等于90％。7.一种图像传感器组件，其特征在于，包括：盖板，所述盖板具有透光区域；...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋康力，丁金玲，
申请(专利权)人：杭州海康微影传感科技有限公司，
类型：新型
国别省市：