带有透明导电膜的玻璃基板及其制造方法技术

本发明专利技术涉及一种带有透明导电膜的玻璃基板，所述带有透明导电膜的玻璃基板依次包含玻璃基板、底涂层和透明导电膜，其中，所述底涂层包含以硅的氧化物类作为主要成分的层，所述透明导电膜的主要成分为SnO2，所述透明导电膜含有氟原子作为掺杂剂，并且通过如下的耐热试验，由下式1求出的电阻变化率为2以下，耐热试验：在设定为700℃并且保持在氮气气氛下的输送式传送带式炉中，在以11.2mm/分钟的速度输送所述带有透明导电膜的玻璃基板的同时将其加热116分钟。(式1)电阻变化率＝(耐热试验后的透明导电膜的薄层电阻值)/(耐热试验前的透明导电膜的薄层电阻值)。明导电膜的薄层电阻值)。明导电膜的薄层电阻值)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带有透明导电膜的玻璃基板及其制造方法


[0001]本专利技术涉及带有透明导电膜的玻璃基板及其制造方法。本专利技术特别涉及适用于低辐射率玻璃、太阳能电池用透明电极基板等的带有透明导电膜的玻璃基板及其制造方法。

技术介绍

[0002]在玻璃基板上形成有包含金属氧化物等的透明导电膜的带有透明导电膜的玻璃基板由于具有各种特性，因此用于建筑构件、光学部件、电气部件、电子部件等广泛的领域。
[0003]带有透明导电膜的玻璃基板例如作为具有隔热性的低辐射率玻璃而用于建筑物、车辆等的玻璃窗、冷冻陈列柜、烹调器具等。已知在低辐射率玻璃中，通常当透明导电膜的电阻比较小时，隔热性优异。
[0004]另外，带有透明导电膜的玻璃基板也可以用于太阳能电池用透明电极基板。太阳能电池是将来自太阳的光能直接转换为电能的元件，大致分为硅类、化合物类、III
‑
V族类、有机类。在太阳能电池用透明电极基板中，从提高电池效率的观点考虑，要求透明导电膜的电阻值比较小。电阻值与透明导电膜的载流子浓度和迁移率这两个要素相关。在该领域中，为了尽量减少入射光透射本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种带有透明导电膜的玻璃基板，所述带有透明导电膜的玻璃基板依次包含玻璃基板、底涂层和透明导电膜，其中，所述底涂层包含以硅的氧化物类作为主要成分的层，所述透明导电膜的主要成分为SnO2，所述透明导电膜含有氟原子作为掺杂剂，并且通过如下的耐热试验，由下式1求出的电阻变化率为2以下，耐热试验：在设定为700℃并且保持在氮气气氛下的输送式传送带式炉中，在以11.2mm/分钟的速度输送所述带有透明导电膜的玻璃基板的同时将其加热116分钟，(式1)电阻变化率＝(耐热试验后的透明导电膜的薄层电阻值)/(耐热试验前的透明导电膜的薄层电阻值)。2.如权利要求1所述的带有透明导电膜的玻璃基板，其中，所述透明导电膜的载流子浓度与每1cm3的透明导电膜中的氟离子量的关系满足下式2，(式2)载流子浓度(cm
‑3)＞0.45
×
氟离子量(cm
‑3)+1.5
×
10
20
。3.如权利要求2所述的带...

【专利技术属性】
技术研发人员：松井雄志，立川卓，高桥亮，
申请(专利权)人：AGC株式会社，
类型：发明
国别省市：