离子注入机的靶盘撑杆制造技术

离子注入机的靶盘撑杆，包括第一连接座、第二连接座，所述第一连接座与第二连接座通过连接杆连接，所述连接杆中部设置有滑槽，所述滑槽上下方向对称设置有若干个腰形长槽。本实用新型专利技术结构简单合理，既减轻了靶盘撑杆重量，又保证了刚度，高速离子束冲击靶盘不易产生变形，离子注入后硅片不易产生微裂纹，提高了硅片的质量。片的质量。片的质量。

【技术实现步骤摘要】
离子注入机的靶盘撑杆


[0001]本技术涉及离子注入机
，尤其涉及一种离子注入机的靶盘撑杆。

技术介绍

[0002]离子注入机是集成电路制造工序中的关键设备，离子注入就是将所要注入的元素进行电离，并将正离子分离和加速，形成具有数万电子伏特的高能离子流，轰击硅片表面，离子因动能很大，被打入表层内，其电荷被中和，成为置换原子或晶格间的填隙原子，被留于表层中，使材料的化学成分、结构、性能产生变化。在硅片的制作过程中，需要将硅片放置在靶盘中对硅片进行离子注入，目前，高速离子束的冲击对靶盘造成较大的冲击，虽然采用了减震底座，降低了对靶盘的损伤，但靶盘撑杆易变形，靶盘内硅片易产生微裂纹，降低硅片的质量。

技术实现思路

[0003]本技术的目是解决上述技术问题，提供一种离子注入机的靶盘撑杆。
[0004]为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本技术所采用的技术方案是：离子注入机的靶盘撑杆，包括第一连接座、第二连接座，其特征在于：所述第一连接座与第二连接座通过连接杆连接，所述连接杆中部设置有滑槽，所述滑槽上下方向对称设置有若干个腰形长槽；
[0005]腰形长槽深度Lc与连接杆厚度Lb之比为0.6~0.75；
[0006]腰形长槽底厚Ld与连接杆厚度Lb之比为0.25~0.4；
[0007]连接杆厚度Lb与连接杆长度L之比为1：36~1：44，
[0008]连接杆宽度La与连接杆长度L之比为1：11~1：13。
[0009]优选的，所述滑槽贯穿第一连接座、连接杆、第二连接座。
[0010]优选的，所述滑槽设置为燕尾槽或T型槽。
[0011]优选的，所述第一连接座与第二连接座结构相同。
[0012]优选的，所述靶盘撑杆采用材料为铝合金。
[0013]与传统结构相比,本技术的有益效果：结构简单合理，既减轻了靶盘撑杆重量，又保证了刚度，高速离子束冲击靶盘不易产生变形，离子注入后硅片不易产生微裂纹，提高了硅片的质量，具有良好的经济效益和社会效益。
附图说明
[0014]图1为本技术主视图；
[0015]图2为本技术俯视图；
[0016]图3为图1中A
‑
A剖视图；
[0017]在图中：1.第一连接座，2.连接杆，3.腰形长槽，4.滑槽，5.第二连接座，6.连接杆宽度La，7.连接杆长度L，8.连接杆厚度Lb，9.腰形长槽深度Lc，10.腰形长槽底厚Ld，11.安
装孔，12.工艺孔。
具体实施方式
[0018]下面对本技术作进一步说明。
[0019]本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或者位置关系为基于附图所示的方位或者位置关系，仅是为了便于描述本实用和简化描述，而不是指示或者暗示所指的装置或者元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或者暗示相对重要性。
[0020]参照附图，离子注入机的靶盘撑杆，包括第一连接座1、第二连接座5，其特征在于：所述第一连接座1与第二连接座5通过连接杆2连接，所述连接杆2中部设置有滑槽4，所述滑槽4上下方向对称设置有若干个腰形长槽3；
[0021]腰形长槽深度Lc9与连接杆厚度Lb8之比为0.6~0.75；
[0022]腰形长槽底厚Ld10与连接杆厚度Lb8之比为0.25~0.4；
[0023]连接杆厚度Lb8与连接杆长度L7之比为1：36~1：44，
[0024]连接杆宽度La6与连接杆长度L7之比为1：11~1：13。
[0025]本优选实施例中，所述滑槽4贯穿第一连接座1、连接杆2、第二连接座5。
[0026]本优选实施例中，所述滑槽4设置为燕尾槽或T型槽。
[0027]本优选实施例中，所述第一连接座1与第二连接座5结构相同。
[0028]本优选实施例中，所述靶盘撑杆采用材料为铝合金。
[0029]本技术中连接杆属于细长结构，连接杆上开设了多个腰形长盲槽，减轻了连接杆重量，且能防止连接杆变形，腰形长槽底厚Ld10与连接杆厚度Lb8之比为0.25~0.4，保证了连接杆的刚度，避免连接杆受力变形。滑槽4设置为燕尾槽或T型槽，便于减震底座上减震导杆滑块在滑槽内稳定移动。
[0030]本技术的上述实施例，仅仅是清楚地说明本技术所做的举例，但不用来限制本技术的保护范围，所有等同的技术方案也属于本技术的范畴，本技术的专利保护范围应由各项权利要求限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.离子注入机的靶盘撑杆，包括第一连接座（1）、第二连接座（5），其特征在于：所述第一连接座（1）与第二连接座（5）通过连接杆（2）连接，所述连接杆（2）中部设置有滑槽（4），所述滑槽（4）上下方向对称设置有若干个腰形长槽（3）；腰形长槽深度Lc(9)与连接杆厚度Lb（8）之比为0.6~0.75；腰形长槽底厚Ld（10）与连接杆厚度Lb（8）之比为0.25~0.4；连接杆厚度Lb（8）与连接杆长度L（7）之比为1：36~1：44，连接杆宽度La（6）与连接杆长度L...

【专利技术属性】
技术研发人员：张律，
申请(专利权)人：芯禾科技江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：