一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备制造技术

技术编号:36298005 阅读:49 留言:0更新日期:2023-01-13 10:12
本发明专利技术属于集成电路芯片清洁领域,尤其是一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备,针对现有的集成电路芯片在加工过程中产生的碎屑粉尘大多通过人工手动清洁,容易对芯片造成损坏,且降低了清洁效率和质量的问题,现提出如下方案,其包括底座,所述底座的顶部通过焊接固定安装有固定罩,固定罩内通过焊接固定安装有隔板,固定罩的一侧通过焊接固定安装有除尘箱,除尘箱的一侧开设有出风口,除尘箱的一侧内壁开设有安装孔,安装孔内通过焊接固定安装有吸尘管,本发明专利技术能够在使用过程中,便于对集成电路芯片上的碎屑粉尘进行自动清洁,避免人工手动清洁费事费力,提高清洁效率和质量,结构简单,使用方便。使用方便。使用方便。

【技术实现步骤摘要】
一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备


[0001]本专利技术涉及集成电路芯片清洁
,尤其涉及一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备。

技术介绍

[0002]集成电路自问世以来发展迅速,被广泛用于各个领域,大到各类高精度计算机,小到插排、手电筒,均离不开集成电路芯片的作用,集成电路芯片的制造过程也就显得尤为重要。在集成电路芯片的制造过程中,会在集成电路芯片的上形成大量的金属尖刺,工作人员对这些金属尖刺进行剪除,会形成大量的金属碎屑,但由于集成电路芯片表面的大量集成元件,使得这些金属碎屑会遗留在元件之间的缝隙内,且不易清洁。
[0003]现有技术中,集成电路芯片在加工过程中产生的碎屑粉尘大多通过人工手动清洁,容易对芯片造成损坏,且降低了清洁效率和质量,为此我们提出了一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备用于解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在集成电路芯片在加工过程中产生的碎屑粉尘大多通过人工手动清洁,容易对芯片造成损坏,且降低了清洁效率和质量的缺点,而提出的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备。
[0005]为了实现上述目的,本专利技术采用了如下技术方案:
[0006]一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备,包括底座,所述底座的顶部通过焊接固定安装有固定罩,固定罩内通过焊接固定安装有隔板,固定罩的一侧通过焊接固定安装有除尘箱,除尘箱的一侧开设有出风口,除尘箱的一侧内壁开设有安装孔,安装孔内通过焊接固定安装有吸尘管,隔板上设置有清洁机构,除尘箱内通过螺栓固定安装有滤尘板,除尘箱内通过焊接固定安装有固定杆,底座的顶部开设有滑槽,滑槽内滑动安装有滑座,滑座内开设有安装槽,底座内开设有空槽,固定罩的一侧开设有矩形口。
[0007]优选的,所述固定杆上开设有第二通孔,第二通孔内转动安装有蜗杆,蜗杆的外侧通过焊接固定套设有叶轮,固定杆的外侧固定安装有电机,电机的输出轴与蜗杆的一端固定连接。
[0008]优选的,所述清洁机构包括连接管,隔板上开设有旋转孔,连接管转动安装在旋转孔内,连接管的一端通过焊接固定连通有圆盒,圆盒的底部固定连接有毛刷,圆盒的外侧开设有多个吸尘孔。
[0009]优选的,所述空槽的一侧内壁开设有滑孔,滑孔与滑槽相通,滑孔内滑动安装有导杆,导杆的一端与滑座的一侧通过焊接固定连接,导杆的外侧通过焊接固定安装有连接柱,转杆的另一端通过焊接固定安装有偏心转盘,偏心转盘的底部开设有第二环形槽,连接柱滑动安装在第二环形槽内。
[0010]优选的,所述连接管的外侧和转杆的外侧分别通过焊接固定套设有小链轮和大链
轮,小链轮和大链轮上啮合有同一个链条。
[0011]优选的,所述吸尘管的外侧开设有第四通孔,连接管转动安装在第四通孔内,第四通孔的内壁开设有第一环形槽,第一环形槽内转动安装有密封圈,密封圈的内圈与连接管的外侧通过焊接固定连接。
[0012]优选的,所述除尘箱的底部和底座的顶部均开设有第三通孔,第三通孔与空槽相通,两个第三通孔内转动安装有同一个转杆,转杆的一端通过焊接固定安装有蜗轮,蜗轮与蜗杆啮合。
[0013]优选的,所述安装槽的底部内壁固定安装有气缸,安装槽的顶部内壁开设有第一通孔,气缸的输出轴固定连接有支座,支座的顶部开设有放置槽。
[0014]本专利技术中,所述一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备的有益效果:
[0015]1、本方案当开启电机时,电机带动蜗杆转动,蜗杆带动叶轮旋转,叶轮旋转产生的吸力通过吸尘管、连接管和圆盒上多个吸尘孔可以将集成电路芯片上的粉尘碎屑吸除,滤尘板可以对粉尘碎屑进行拦截收集。
[0016]2、本方案当蜗杆转动时,蜗杆带动蜗轮转动,转杆带动大链轮转动,大链轮通过链条带动小链轮转动,连接管带动圆盒和毛刷旋转,从而毛刷可以对集成电路芯片上的粉尘碎屑进行清洁。
[0017]3、本方案当转杆转动时,转杆带动偏心转盘旋转,通过连接柱与第二环形槽相配合的设置,偏心转盘可以带动连接柱和导杆水平往复移动,导杆带动滑座和支座水平往复运动,从而使支座上的集成电路芯片进行充分清洁。
[0018]本专利技术能够在使用过程中,便于对集成电路芯片上的碎屑粉尘进行自动清洁,避免人工手动清洁费事费力,提高清洁效率和质量,结构简单,使用方便。
附图说明
[0019]图1为本专利技术提出的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备主视的结构示意图;
[0020]图2为本专利技术提出的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备图1中A部分放大的结构示意图;
[0021]图3为本专利技术提出的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备图1中B部分放大的结构示意图;
[0022]图4为本专利技术提出的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备图1中C部分放大的结构示意图;
[0023]图5为本专利技术提出的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备偏心转盘立体的结构示意图。
[0024]图中:1、底座;2、固定罩;3、隔板;4、除尘箱;5、滑槽;6、滑座;7、气缸;8、支座;9、吸尘管;10、连接管;11、圆盒;12、毛刷;13、吸尘孔;14、滤尘板;15、固定杆;16、电机;17、密封圈;18、蜗杆;19、叶轮;20、转杆;21、蜗轮;22、大链轮;23、小链轮;24、链条;25、空槽;26、导杆;27、偏心转盘;28、第二环形槽;29、连接柱。
具体实施方式
[0025]下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0026]实施例一
[0027]参照图1,一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备,包括底座1,底座1的顶部通过焊接固定安装有固定罩2,固定罩2内通过焊接固定安装有隔板3,固定罩2的一侧通过焊接固定安装有除尘箱4,除尘箱4的一侧开设有出风口,除尘箱4的一侧内壁开设有安装孔,安装孔内通过焊接固定安装有吸尘管9,隔板3上设置有清洁机构,清洁机构包括连接管10,隔板3上开设有旋转孔,连接管10转动安装在旋转孔内,连接管10的一端通过焊接固定连通有圆盒11,圆盒11的底部固定连接有毛刷12,圆盒11的外侧开设有多个吸尘孔13,除尘箱4内通过螺栓固定安装有滤尘板14,除尘箱4内通过焊接固定安装有固定杆15,底座1的顶部开设有滑槽5,滑槽5内滑动安装有滑座6,滑座6内开设有安装槽,底座1内开设有空槽25,固定罩2的一侧开设有矩形口,连接管10的外侧和转杆20的外侧分别通过焊接固定套设有小链轮23和大链轮22,小链轮23和大链轮22上啮合有同一个链条24,当转杆20转动时,大链轮22可以通过链条24带动小链轮23转动,安装槽的底部内壁固定安装有气缸7,安装槽的顶部内壁开设有第一通孔,气缸7的输出轴固定连接有支座8,支座8的顶部开设有放置槽。
[0028]参照图2,固定杆15上开设有第二通孔,第二通孔内转动安装有蜗杆18,蜗杆18的外侧通过焊接固定套设有本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)的顶部固定安装有固定罩(2),固定罩(2)内固定安装有隔板(3),固定罩(2)的一侧固定安装有除尘箱(4),除尘箱(4)的一侧开设有出风口,除尘箱(4)的一侧内壁开设有安装孔,安装孔内固定安装有吸尘管(9),隔板(3)上设置有清洁机构,除尘箱(4)内固定安装有滤尘板(14),除尘箱(4)内固定安装有固定杆(15),底座(1)的顶部开设有滑槽(5),滑槽(5)内滑动安装有滑座(6),滑座(6)内开设有安装槽,底座(1)内开设有空槽(25),固定罩(2)的一侧开设有矩形口。2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备,其特征在于,所述安装槽的底部内壁固定安装有气缸(7),安装槽的顶部内壁开设有第一通孔,气缸(7)的输出轴固定连接有支座(8),支座(8)的顶部开设有放置槽。3.根据权利要求2所述的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备,其特征在于,所述固定杆(15)上开设有第二通孔,第二通孔内转动安装有蜗杆(18),蜗杆(18)的外侧固定套设有叶轮(19),固定杆(15)的外侧固定安装有电机(16),电机(16)的输出轴与蜗杆(18)的一端固定连接。4.根据权利要求3所述的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备,其特征在于,所述除尘箱(4)的底部和底座(1)的顶部均开设有第三通孔,第三通孔与空槽(25)相通,两个第三通孔内转动安装有同一个转杆(20),转杆(...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘本强陈翔吴涛
申请(专利权)人:山东虹芯电子科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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