一种光刻胶自动罐装设备制造技术

本实用新型专利技术提供的一种光刻胶自动罐装设备，涉及光刻胶罐装技术领域,包括胶罐，所述胶罐的顶部固定安装有防护外壳，所述防护外壳的内表壁活动插设有圆筒，且圆筒的底部贯穿胶罐的顶部，所述防护外壳的内表壁开设有两个滑槽。当胶罐内的光刻胶排空时，启动第一电机，会使得螺纹杆进行转动，由于圆筒被滑槽进行限位，所以当螺纹杆进行转动时，圆筒就会沿着防护外壳进行垂直方向的运动，由于圆盘是贴合在胶罐内的，所以当圆盘向下移动时，就会把罐体内壁的光刻胶给刮下来，直至圆盘推到胶罐的底部，这样罐体内壁的光刻胶就会被完全地刮下，就解决了现有技术中装置无法对罐体内壁的剩料进行收集处理，导致光刻胶废料浪费的问题。导致光刻胶废料浪费的问题。导致光刻胶废料浪费的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶自动罐装设备


[0001]本技术涉及光刻胶罐装
，尤其涉及一种光刻胶自动罐装设备。

技术介绍

[0002]光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料，在光刻工艺过程中，用作抗腐蚀涂层材料，而光刻胶在出厂时，都需要对其进行罐装，所以就需要一种光刻胶罐装设备。
[0003]现有的，如中国专利号：CN 212127491 U中一种光刻胶灌装装置,包括取胶筒，所述取胶筒沿筒周身一圈设置有周向分布的储胶室若干个，储胶室的出口处设置有可滑动盖合所述储胶室的闸板，取胶筒的顶部设置有推动油缸，推动油缸的底部输出端设置有可上下升降的安装架，安装架的底部安装有负压泵，负压泵的输入端设置有吸取管头、负压泵的输出端设置有灌装管头，本技术解决了光刻胶无法保持定量灌装涂抹，会影响硅片的产品质量的问题，通过本灌装装置可以确保每一次定量抽取并灌装光刻胶的胶液，灌装过程可持续进行，人工作业量降低，对生产工艺起到了明显的促进作用，硅片产品的生产质量得到提升，适宜推广使用。
[0004]上述专利中，虽然该装置可以确保每一次定量抽取并灌装光刻胶的胶液，灌装过程可持续进行，人工作业量降低，对生产工艺起到了明显的促进作用，硅片产品的生产质量得到提升，但是该装置在对光刻胶进行罐装时，罐体内壁会附着很多光刻胶，而该装置无法有效地对罐体内壁的剩料进行收集处理，光刻胶是一种非常昂贵的材料，且只有三个月的有效期限，如果无法对罐体内壁的光刻胶进行收集处理的话，是非常浪费的。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是为了解决现有技术中装置无法对罐体内壁的剩料进行收集处理，导致光刻胶废料浪费的问题，本装置通过在罐体内壁设置与罐体相嵌合的圆盘，推动圆盘，以此把附着在罐体内壁的光刻胶给刮下来，从而解决上述背景中所提出的问题。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种光刻胶自动罐装设备，包括胶罐，所述胶罐的顶部固定安装有防护外壳，所述防护外壳的内表壁活动插设有圆筒，且圆筒的底部贯穿胶罐的顶部，所述防护外壳的内表壁开设有两个滑槽，所述圆筒的外表壁固定安装有两个滑块，且两个滑块分别活动嵌设在两个滑槽内，所述圆筒的内表壁旋转连接有螺纹杆，所述防护外壳的顶部固定安装有第一电机，且第一电机的输出端贯穿防护外壳的顶部，并与螺纹杆的顶部相连接，所述圆筒的底部固定套设有圆盘，且圆盘位于胶罐的内部，所述圆盘的底部固定安装有密封圈，所述胶罐的外表壁固定套设有两个防护套筒，两个所述防护套筒的外表壁之间固定安装有支撑架，所述支撑架的顶部固定插设有两个电动伸缩杆，两个所述电动伸缩杆的输出端之间固定套设有底板，所述底板的内表壁固定插设有水泵，且水泵的输出端固定连通有喷头，所述胶罐的输出端固定连通有导管，且导管的输出端贯穿支撑架的外壁一侧，并固定连通在水泵的输入端，所述支撑架的底部设置有两
个支撑板，两个所述支撑板的相对一侧之间活动插设有一组滚筒，且每个滚筒的外壁一端均固定套设有滚轮，每个所述滚轮的外表壁之间活动套设有皮带，一组所述滚筒的外表壁之间活动套设有传输带，所述传输带的外表壁固定安装有一组圆槽两个所述支撑板其中一个的外壁一侧固定安装有第二电机，且第二电机的输出端贯穿支撑板的外壁一侧，并与其中一个滚筒的外壁一端相连接。
[0007]优选的，所述防护外壳的顶部固定插设有一组金属杆，一组所述金属杆的外表壁之间固定套设有套筒，且套筒的内表壁固定套设在第一电机的外表壁，方便在金属杆与套筒的作用下，对第一电机进行固定。
[0008]优选的，两个所述支撑板其中一个的外壁一侧固定安装有矩形筒，且矩形筒的内表壁固定套设在第二电机的外表壁，方便在矩形筒的作用下，对第二电机进行固定。
[0009]优选的，两个所述支撑板的底部均固定插设有两个第一支腿，且每个第一支腿的长度均相等，方便在第一支腿的作用下，对支撑板进行支撑。
[0010]优选的，所述胶罐的底部设置有注胶端，所述注胶端的外表壁设置有阀门，方便在注胶端的作用下，向罐内注入新的光刻胶。
[0011]优选的，两个所述防护套筒的相对一侧之间固定插设有一组支撑杆，两个所述防护套筒其中一个的底部固定插设有一组第二支腿，方便在第二支腿的作用下，对胶罐进行支撑。
[0012]与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于，
[0013]1、本技术中，启动第二电机，会使得滚筒进行转动，由于皮带的传动连接作用即可带动整组滚筒进行转动进而带动传输带进行转动，这样就能带动传输带顶部的装罐进行移动，直至移动至喷头下方，启动电动伸缩杆，即可把喷头伸入装罐内，这时启动水泵，即可抽取胶罐内的光刻胶，通过导管输送至喷头，最后由喷头浇灌至装罐内，装罐完成之后，再次启动电动伸缩杆，喷头就会从装罐内拔出，这时再把空的装罐输送至喷头下方，以此完成光刻胶的自动罐装，当胶罐内的光刻胶排空时，启动第一电机，会使得螺纹杆进行转动，由于圆筒被滑槽进行限位，所以当螺纹杆进行转动时，圆筒就会沿着防护外壳进行垂直方向的运动，由于圆盘是贴合在胶罐内的，所以当圆盘向下移动时，就会把罐体内壁的光刻胶给刮下来，直至圆盘推到胶罐的底部，这样罐体内壁的光刻胶就会被完全地刮下，就解决了现有技术中装置无法对罐体内壁的剩料进行收集处理，导致光刻胶废料浪费的问题。
[0014]2、本技术中，由于圆盘的底部设置有密封圈，所以就防止了光刻胶会沿着圆盘与胶罐内壁之间的缝隙漏出，同时密封圈的底部与胶罐的内壁底部相贴合，所以胶罐内壁底部的光刻胶也会被完全地排出，就大大地减少了光刻胶的浪费。
附图说明
[0015]图1为本技术光刻胶自动罐装设备中主视结构立体图；
[0016]图2为本技术光刻胶自动罐装设备中底侧结构立体图；
[0017]图3为本技术光刻胶自动罐装设备中剖视结构立体图；
[0018]图4为本技术光刻胶自动罐装设备中剖视结构立体图
[0019]图例说明：1、胶罐；2、防护外壳；3、圆筒；4、滑槽；5、滑块；6、螺纹杆；7、第一电机；8、圆盘；9、密封圈；10、支撑架；11、电动伸缩杆；12、底板；13、水泵；14、喷头；15、导管；16、支
撑板；17、滚筒；18、滚轮；19、皮带；20、传输带；21、圆槽；22、第二电机；23、矩形筒；24、第一支腿；25、金属杆；26、套筒；27、注胶端；28、阀门；29、防护套筒；30、支撑杆；31、第二支腿。
具体实施方式
[0020]为了能够更清楚地理解本技术的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本技术做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0021]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶自动罐装设备，其特征在于：包括胶罐（1），所述胶罐（1）的顶部固定安装有防护外壳（2），所述防护外壳（2）的内表壁活动插设有圆筒（3），且圆筒（3）的底部贯穿胶罐（1）的顶部，所述防护外壳（2）的内表壁开设有两个滑槽（4），所述圆筒（3）的外表壁固定安装有两个滑块（5），且两个滑块（5）分别活动嵌设在两个滑槽（4）内，所述圆筒（3）的内表壁旋转连接有螺纹杆（6），所述防护外壳（2）的顶部固定安装有第一电机（7），且第一电机（7）的输出端贯穿防护外壳（2）的顶部，并与螺纹杆（6）的顶部相连接，所述圆筒（3）的底部固定套设有圆盘（8），且圆盘（8）位于胶罐（1）的内部，所述圆盘（8）的底部固定安装有密封圈（9），所述胶罐（1）的外表壁固定套设有两个防护套筒（29），两个所述防护套筒（29）的外表壁之间固定安装有支撑架（10），所述支撑架（10）的顶部固定插设有两个电动伸缩杆（11），两个所述电动伸缩杆（11）的输出端之间固定套设有底板（12），所述底板（12）的内表壁固定插设有水泵（13），且水泵（13）的输出端固定连通有喷头（14），所述胶罐（1）的输出端固定连通有导管（15），且导管（15）的输出端贯穿支撑架（10）的外壁一侧，并固定连通在水泵（13）的输入端，所述支撑架（10）的底部设置有两个支撑板（16），两个所述支撑板（16）的相对一侧之间活动插设有一组滚筒（17），且每个滚筒（17）的外壁一端均固定套设有滚轮（18），每...

【专利技术属性】
技术研发人员：富毅闻，尚兴伟，
申请(专利权)人：大田新材料科技邯郸有限公司，
类型：新型
国别省市：