电流检测装置、方法及系统制造方法及图纸

本申请公开了一种电流检测装置、方法及系统，用以解决现有的电流检测装置内部电路复杂、布线难度大且电流检测效果差的问题。包括相互连接的电流检测模块和包括控制器的数据处理模块；电流检测模块包括多个电流检测电路和多个模拟开关；每个模拟开关包括多个电压输入端和一个电压输出端；每个电压输入端均连接一个电流检测电路；每个模拟开关的电压输出端分别与控制器连接；其中，电流检测电路用于检测负载电路的检测电压；控制器用于控制目标模拟开关闭合，并控制目标模拟开关的每个电压输入端分别与电压输出端之间连通；接收电压输出端输出的检测电压；对检测电压进行数据转换处理，确定与检测电压对应的检测电流。确定与检测电压对应的检测电流。确定与检测电压对应的检测电流。

【技术实现步骤摘要】
电流检测装置、方法及系统


[0001]本申请涉及半导体
，尤其涉及一种电流检测装置、方法及系统。

技术介绍

[0002]RTP(Rapid Thermal Processing，快速热处理)机台是大规模集成电路生产工艺过程中的关键设备，其应用十分广泛，在多种芯片产品的制作过程中都起着至关重要的作用。为确保温度均匀性，RTP机台利用大量(比如400个及以上)卤素灯进行加热。然而，数量如此之多的卤素灯也带来了新的问题：当某个(些)卤素灯发生异常时，无法直观的从工艺结果上体现出失效卤素灯的具体位置，导致RTP机台维护困难。因此，卤素灯失效检测装置应运而生，而卤素灯失效检测的核心是对卤素灯供电电路的电流进行检测。
[0003]现有技术中，电流检测装置仅能检测卤素灯供电电路有无电流，而无法得到卤素灯供电电路的具体电流值，电流检测效果较差。并且，一个卤素灯供电电路的电流，需要依次经过交流互感器、桥式整流电路、比较电路、锁存电路和数码管显示电路，然后传输至单片机最小系统中进行处理。在卤素灯数量较多的情况下，为实现对多个卤素灯供电电路的电流进行检测，则需要在电流检测装置中部署多条包括交流互感器、桥式整流电路、比较电路、锁存电路和数码管显示电路的电路，导致电流检测装置中的元器件数量骤增，增大了电流检测装置的电路复杂度和布线难度。

技术实现思路

[0004]本申请实施例的目的是提供一种电流检测装置、方法及系统，用以解决现有的电流检测装置内部电路复杂、布线难度大且电流检测效果差的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本申请实施例是这样实现的：
[0006]一方面，本申请实施例提供一种电流检测装置，用于半导体工艺设备中，包括相互连接的电流检测模块和数据处理模块；
[0007]所述电流检测模块包括多个电流检测电路和多个模拟开关；每个所述模拟开关包括多个电压输入端和一个电压输出端；每个所述电压输入端均连接一个所述电流检测电路；所述数据处理模块包括控制器；每个所述模拟开关的电压输出端分别与所述控制器连接；
[0008]其中，所述电流检测电路用于检测负载电路的检测电压；所述控制器用于控制目标模拟开关闭合，并控制所述目标模拟开关的每个电压输入端分别与所述电压输出端之间连通；接收所述电压输出端输出的所述检测电压；对所述检测电压进行数据转换处理，确定与所述检测电压对应的检测电流；所述目标模拟开关为所述多个模拟开关中的其中一个。
[0009]另一方面，本申请实施例提供一种电流检测方法，应用于如上所述的电流检测装置，包括：
[0010]响应于对与所述电流检测电路连接的负载电路的检测指令，检测所述负载电路的检测电压；
[0011]控制目标模拟开关闭合，并控制所述目标模拟开关的每个电压输入端分别与所述电压输出端之间连通；所述目标模拟开关为所述多个模拟开关中的其中一个；
[0012]根据预设的检测电压和检测电流之间的数据转换方式，确定与所述电压输出端输出的检测电压对应的检测电流。
[0013]再一方面，本申请实施例提供一种电流检测系统，包括如上所述的电流检测装置、下位机和多个负载电路；
[0014]每个所述电流检测电路分别连接一个所述负载电路；所述电流检测电路用于检测所述负载电路的检测电压；
[0015]所述下位机与所述数据处理模块连接；所述数据处理模块中的所述控制器，用于控制目标模拟开关闭合，并控制所述目标模拟开关的每个电压输入端分别与所述电压输出端之间连通；接收所述电压输出端输出的所述检测电压；对所述检测电压进行数据转换处理，确定与所述检测电压对应的检测电流；将所述检测电流传输至所述下位机；所述目标模拟开关为所述多个模拟开关中的其中一个；
[0016]所述下位机，用于根据所述检测电流，判断与所述电压输入端相连接的电流检测电路所连接的负载电路是否异常。
[0017]再一方面，本申请实施例提供一种电流检测设备，包括处理器和与所述处理器电连接的存储器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器用于从所述存储器调用并执行所述计算机程序，以实现如上所述的电流检测方法。
[0018]再一方面，本申请实施例提供一种存储介质，用于存储计算机程序，所述计算机程序被处理器执行以实现如上所述的电流检测方法。
[0019]采用本申请实施例的电流检测装置，该电流检测装置包括相互连接的电流检测模块和数据处理模块。电流检测模块包括多个电流检测电路和多个模拟开关，每个模拟开关包括多个电压输入端和一个电压输出端，每个电压输入端均连接一个电流检测电路。数据处理模块包括控制器，每个模拟开关的电压输出端分别与控制器连接。其中，电流检测电路用于检测负载电路的检测电压。控制器用于控制目标模拟开关闭合，目标模拟开关为多个模拟开关中的其中一个，并控制目标模拟开关的每个电压输入端分别与电压输出端之间连通，接收电压输出端输出的检测电压，对检测电压进行数据转换处理，确定与检测电压对应的检测电流。可见，该电流检测装置通过采用具有多个电压输入端和一个电压输出端的模拟开关，通过控制模拟开关中不同电压输入端与电压输出端之间连通，能够使该模拟开关传输多个电流检测电路测得的检测电压，实现了通过一个元器件传输多个检测电压的效果，且仅通过一个元器件(即模拟开关)即可直接将检测电压传输至控制器，相较于现有技术中通过多个元器件传输一路检测电流至控制器的电流检测装置而言，大大减少了电流检测装置的元器件数量，从而简化了电流检测装置的电路构成，降低了电流检测装置内部电路的布线难度，有利于降低电流检测装置的生产及维护成本。并且，相较于现有技术中仅能检测半导体工艺设备中负载电路有无电流的电流检测装置而言，采用本申请实施例提供的电流检测装置能够得到半导体工艺设备中负载电路的检测电流，实现了对负载电路的电流的准确测量，电流检测效果更优。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1是根据本申请一实施例的一种电流检测装置的示意性框图；
[0022]图2是根据本申请一实施例的一种负载电路和电流检测电路的连接示意图；
[0023]图3是根据本申请另一实施例的一种电流检测装置的示意性框图；
[0024]图4是根据本申请一实施例的一种电流检测方法的示意性流程图；
[0025]图5是根据本申请一实施例的一种模拟开关和控制器的连接示意图；
[0026]图6是根据本申请另一实施例的一种电流检测方法的示意性流程图；
[0027]图7是根据本申请一实施例的一种电流检测系统的示意性框图；
[0028]图8是根据本申请另一实施例的一种电流检测系统的示意性框图；
[0029]图9是相关技术中卤素灯失效检测装置的示意性框本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电流检测装置，用于半导体工艺设备中，其特征在于，包括相互连接的电流检测模块和数据处理模块；所述电流检测模块包括多个电流检测电路和多个模拟开关；每个所述模拟开关包括多个电压输入端和一个电压输出端；每个所述电压输入端均连接一个所述电流检测电路；所述数据处理模块包括控制器；每个所述模拟开关的电压输出端分别与所述控制器连接；其中，所述电流检测电路用于检测负载电路的检测电压；所述控制器用于控制目标模拟开关闭合，并控制所述目标模拟开关的每个电压输入端分别与所述电压输出端之间连通；接收所述电压输出端输出的所述检测电压；对所述检测电压进行数据转换处理，确定与所述检测电压对应的检测电流；所述目标模拟开关为所述多个模拟开关中的其中一个。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述电流检测装置还包括通讯供电模块和电压源；所述通讯供电模块包括相互连接的隔离稳压电路和降压电路；所述电压源与所述隔离稳压电路连接；所述降压电路与所述控制器连接；所述隔离稳压电路，用于对所述电压源输出的电源电压进行隔离稳压处理，并输出处理后的电源电压；所述降压电路，用于将所述隔离稳压电路输出的电源电压降为第一电压，所述第一电压用于为所述控制器供电。3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，每个所述模拟开关还包括使能端；每个所述使能端分别与所述控制器连接；所述控制器，用于向所述目标模拟开关的使能端发送第一使能信号；所述第一使能信号用于控制所述目标模拟开关闭合。4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，每个所述模拟开关还包括多个信号输入端，所述多个信号输入端分别与所述控制器的不同端口连接；每个所述模拟开关的多个信号输入端与所述控制器的同一端口连接；所述控制器，用于向所述目标模拟开关的多个信号输入端发送连通控制信号；所述连通控制信号用于控制对应的所述电压输入端与所述目标模拟开关的电压输出端之间连通。5.一种电流检测方法，其特征在于，应用于如权利要求1至4中任一项所述的电流检测装置，所述方法包括：响应于对与所述电流检测电路连接的负载电路的检测指令，检测所述负载电路的检测电压；控制目标模拟开关闭合，并控制所述目标模拟开关的每个电压输入端分别与所述电压输出端之间连通；所述目标模拟开关为所述多个模拟开关中的其中一个；根据预设的检测电压和检测电流之间的数据转换方式，确定与所述电压输出端输出的...

【专利技术属性】
技术研发人员：石烁，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：