融合视觉特征的晶圆盒传送窗口切换方法、装置及存储柜制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种融合视觉特征的晶圆盒传送窗口切换方法、装置及存储柜。其中的融合视觉特征的晶圆盒传送窗口切换方法通过机器视觉获取晶圆盒传送窗口的图像信息，并包括如下步骤：获取晶圆盒传送窗口的样本图像，将其作为训练数据，基于卷积神经网络建立能够识别传送窗口是否阻塞的分类模型；然后使用该分类模型分析传送窗口的实时图像，判断是发生阻塞问题，若尚有未阻塞的窗口，则使用该窗口进行晶圆盒的进出存储柜的传送作业，若全部传送窗口均阻塞，则停止传送任务，从而保障晶圆盒存储柜的进出库效率，避免晶圆盒堆积、损坏或掉落，避免造成人身安全事故。避免造成人身安全事故。避免造成人身安全事故。

【技术实现步骤摘要】
融合视觉特征的晶圆盒传送窗口切换方法、装置及存储柜


[0001]本说明书涉及半导体制造领域，具体涉及一种融合视觉特征的晶圆盒传送窗口切换方法、装置及存储柜。

技术介绍

[0002]晶圆盒存储柜(也称存储库或存储系统，Stocker，STK)是半导体晶片生产区域中用于自动储存晶圆盒(Foup)的装置，是半导体制造业的自动化物料搬运系统(Automatic Material Handling System,AMHS)中的重要装置。由于半导体生产洁净车间中的空间有限，以及晶圆生产制程复杂，大量晶圆被放置于Foup后储存于Stocker中。Stocker一般设有若干个晶圆盒传送窗口(Port)，内部配合设置有堆垛机或工业搬送机器人等自动存取装置，与外部行驶于轨道梁上的天车配合，接收晶圆盒，发出晶圆盒，完成晶圆盒的入库和出库作业。若Port发生故障，例如移载盘发生故障或驱动机构发生故障或某些检测传感器不能正常工作时，Foup可能会滞留在Port处，造成出入库阻塞，Foup堆积在传送窗口，后续的晶圆盒出入库如果按照原路径继续执行，可能会发生晶圆盒坠落从而引本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种融合视觉特征的晶圆盒传送窗口切换方法，其特征在于，所述晶圆盒传送窗口悬空设置于晶圆盒存储柜外侧且为至少两个，所述圆盒盒传送窗口用于在所述晶圆盒存储柜的外侧和内部传送晶圆盒，所述晶圆盒传送窗口附近的预设位置设置有图像捕捉单元，所述图像捕捉单元用于按照预设时间间隔获取所述晶圆盒传送窗口的图像；所述晶圆盒传送窗口切换方法包括如下步骤：获取所述图像捕捉单元采集的样本图像，将所述样本图像作为训练数据，基于卷积神经网络建立用于识别所述晶圆盒传送窗口的是否发生阻塞的分类模型；将所述图像捕捉单元采集的实时图像送入所述分类模型，使用所述分类模型判断每个所述晶圆盒传送窗口是否发生阻塞，若存留至少一个所述晶圆盒传送窗口未阻塞，则将阻塞窗口的传送任务切换至未阻塞窗口执行，若全部所述晶圆盒传送窗口阻塞，则停止所述传送任务。2.根据权利要求1所述的融合视觉特征的晶圆盒传送窗口切换方法，其特征在于，所述晶圆盒传送窗口包括至少一个入库窗口和至少一个出库窗口，当全部所述晶圆盒传送窗口均未阻塞时，所述入库窗口用于向所述晶圆盒存储柜的内部传送所述晶圆盒，所述出库窗口用于从所述晶圆盒存储柜的内部向外侧传送所述晶圆盒。3.根据权利要求1所述的融合视觉特征的晶圆盒传送窗口切换方法，其特征在于，所述将阻塞窗口的传送任务切换至未阻塞窗口执行的操作，包括：获取所述传送任务中对应所述阻塞窗口的第一作业地址，获取所述传送任务中对应所述未阻塞窗口的第二作业地址；将所述第一作业地址更换为所述第二作业地址。4.根据权利要求1所述的融合视觉特征的晶圆盒传送窗口切换方法，其特征在于，在将阻塞窗口的传送任务切换至未阻塞窗口执行之前，所述晶圆盒传送窗口切换方法还包括以下步骤：判断所述未阻塞窗口是否正在执行出库或入库作业，若判断结果为肯定，则在该出库或入库作业完成后，将所述阻塞窗口的所述传送任务切换至所述未阻塞窗口。5.根据权利要求1所述的融合视觉特征的晶圆盒传送窗口切换方法，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨复来，
申请(专利权)人：弥费科技上海股份有限公司，
类型：发明
国别省市：