【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
投射装置,通过照明光学设备接收从光源来的光,以投射到具有多个微镜的空间光调制器,所述微镜被控制,以振荡到不同的偏转角度,所述投射装置还包含: 控制器,按照输入信号来控制上述每一所述微镜的偏转角度保持操作和振荡操作,以向位于投射光路上的 光瞳投射预先确定量的光,其中 所述光源或所述照明光学设备被构造成使得在对每一所述微镜的入射NA范围内光强分布或照明光的平均光量不均匀。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:荒井一马,前田义浩,石井房雄,市川博敏,
申请(专利权)人:奥林巴斯株式会社,硅索株式会社,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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