一种TFT-LCD用彩膜显影液中表面活性剂定量方法技术

本发明专利技术公开了一种TFT

【技术实现步骤摘要】
一种TFT
‑
LCD用彩膜显影液中表面活性剂定量方法


[0001]本专利技术涉及化学检测
，具体涉及一种TFT
‑
LCD用彩膜显影液中表面活性剂定量方法。

技术介绍

[0002]在TFT
‑
LCD的彩膜工程中，一般采用负性光刻胶，光刻胶的主要组成是溶剂、颜料(以G/R/B基色材料为主题，BM/PS等)、分散剂、单体(丙烯酸、苯乙烯、丙烯酸酯类单体等)、聚合体和光引发剂。以负性光刻胶的显影为例，首先将光刻胶进行涂布、经过预烘、采用掩膜版经过曝光，受紫外线照射区域聚合体由光引发产生的自由基将不饱和双键打开，进行交联反应，未被紫外照射的部分负性光刻胶中的碱性可溶部分可以和显影液中KOH溶液发生反应，让光刻胶发生溶解，表面活性剂可以增加光刻胶的溶解性和降低光刻胶和显影液界面的界面张力，表面活性剂的含量准确性会直接影响显影效果(如：是否有显影毛刺或残留)，影响显影时间，直接影响产线良率及产能。因此彩膜显影液中的表面活性剂定量准确性直接影响显影效果和和产品良率。
[0003]彩膜显影液使用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种TFT
‑
LCD用彩膜显影液中添加剂定量方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：配制0.5mol/L盐酸水溶液，用基准物质无水碳酸钠进行标定，得到0.5mol/L盐酸标准溶液；S2：称取一定质量的待检测的彩膜显影液，记为m1，加入2～3滴酚酞指示剂，用步骤S1获得的盐酸标准溶液进行滴定，滴定至溶液由红色变为无色时记录消耗的体积，计为V1，根据公式计算得到到彩膜显影液中KOH的浓度ω
KOH
，平行测试两次，取两次的平均值，即得KOH的浓度ω
KOH
；S3：称量恒重后干燥的耐酸碱容器的质量，记为m2，称取一定质量的待检测的彩膜显影液，记为m3，放入到所述耐酸碱容器中，再向耐酸碱容器中加入一定体积的酸溶液，混合均匀；S4：将步骤S3中的耐酸碱容器放置到加热设备上加热，再将耐酸碱容器放置到烘箱中干燥，冷却后称量，记为m4；S5：将上述步骤获得的ω
KOH
、m2、m3、m4代入公式得到彩膜显影液中表面活性剂的含量。2.根据权利要求1所述的TFT
‑
LCD用彩膜显影液中添加剂定量方法，其特征在于，所述步骤S2和步骤S3中待检测的彩膜显影液组成体系为：KOH含量3
‑
15％，表面活性剂含量4
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20％，其余为高纯水。3.根据权利要求1或2所述的TFT
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LCD用彩膜显影液中添加剂定量方法，其特征在于，所述表面活性剂为脂...

【专利技术属性】
技术研发人员：任成成，叶青，黄德新，
申请(专利权)人：合肥中聚和成电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：