一种TFT-LCD用彩膜显影液中表面活性剂定量方法技术

技术编号:36218793 阅读:9 留言:0更新日期:2023-01-04 12:16
本发明专利技术公开了一种TFT

【技术实现步骤摘要】
一种TFT

LCD用彩膜显影液中表面活性剂定量方法


[0001]本专利技术涉及化学检测
,具体涉及一种TFT

LCD用彩膜显影液中表面活性剂定量方法。

技术介绍

[0002]在TFT

LCD的彩膜工程中,一般采用负性光刻胶,光刻胶的主要组成是溶剂、颜料(以G/R/B基色材料为主题,BM/PS等)、分散剂、单体(丙烯酸、苯乙烯、丙烯酸酯类单体等)、聚合体和光引发剂。以负性光刻胶的显影为例,首先将光刻胶进行涂布、经过预烘、采用掩膜版经过曝光,受紫外线照射区域聚合体由光引发产生的自由基将不饱和双键打开,进行交联反应,未被紫外照射的部分负性光刻胶中的碱性可溶部分可以和显影液中KOH溶液发生反应,让光刻胶发生溶解,表面活性剂可以增加光刻胶的溶解性和降低光刻胶和显影液界面的界面张力,表面活性剂的含量准确性会直接影响显影效果(如:是否有显影毛刺或残留),影响显影时间,直接影响产线良率及产能。因此彩膜显影液中的表面活性剂定量准确性直接影响显影效果和和产品良率。
[0003]彩膜显影液使用表面活性剂为含苯环基的高分子聚合物,其定量可采用紫外分光光度计方法,表面活性剂头基含苯环结构,在紫外区有吸收,在表面活性剂的最大吸收波长处,配制含不同浓度表面活性剂彩膜显影液,以吸光度对浓度进行曲线拟合,可以检测彩膜显影液中表面活性剂的含量,但是该方法中所用的表面活性剂为高分子聚合物,若准确定量需要每批次的分子组成及分布需要一致,才能保证检测结果的准确性。但实际生产过程中,很难保证每批次表面活性剂的一致性。该方法适用于非单一结构的混合型表面活性剂定量,其他检测方法不能实现混合表面活性准确定量。
[0004]公布号为CN112698552A的中国专利申请文献,公开了一种彩膜显影液及其制备方法,其是由以下成分按照重量百分比组成:氢氧化钾水溶液1.0%

25.0%、表面活性剂1.05%

20.00%,其余成分为超纯水,主要用于彩色滤光片R、G、B制程中,其可以对基板面内光阻进行显影,本专利技术的彩膜显影液对光刻胶具有良好的渗透性,大大增加了显影效率,同时减弱了金属离子杂质的不利影响,显影呈现出的图像无其他残渣,符合目前液晶显示制程中高分辨率高画质的要求。但该专利没有涉及如何准确检测彩膜显影液中表面活性剂的含量。

技术实现思路

[0005]本专利技术所要解决的技术问题在于如何快速准确的测量出彩膜显影液中表面活性剂的含量。
[0006]本专利技术通过以下技术手段实现解决上述技术问题的:
[0007]一种TFT

LCD用彩膜显影液中添加剂定量方法,包括以下步骤:
[0008]S1:配制0.5mol/L盐酸水溶液,用基准物质无水碳酸钠进行标定,得到0.5mol/L盐酸标准溶液;
[0009]有益效果:制备0.5mol/L盐酸标准溶液,通过无水碳酸钠标定后得到准确盐酸浓度,该溶液同时用于测试彩膜显影液体系中KOH含量,及表面活性剂测定前处理用溶剂,将彩膜显影液中的KOH转化成氯化钾,通过后续干燥恒重过程实现表面活性剂准确定量。
[0010]S2:称取一定质量的待检测的彩膜显影液,记为m1,加入2~3滴酚酞指示剂(0.5%酚酞乙醇溶液),用步骤S1获得的盐酸标准溶液进行滴定,滴定至溶液由红色变为无色时记录消耗的体积,计为V1,根据公式(1

2)计算得到彩膜显影液中KOH的浓度ω
KOH
,平行测试两次,取两次的平均值,即得KOH的浓度ω
KOH

[0011]公式:
[0012]式中:ω
KOH
为待检测彩膜显影液的KOH浓度,单位%;
[0013]V1为盐酸标准溶液滴定KOH溶液,在酚酞指示剂由红色变为无色时的消耗体积,单位mL;
[0014]m1为称取的待检测彩膜显影液的质量,单位g;
[0015]S3:称量恒重后干燥的耐酸碱容器的质量,记为m2,再次称取一定质量的待检测的彩膜显影液,记为m3,放入到所述耐酸碱容器中,再向耐酸碱容器中加入一定体积的酸溶液,混合均匀;
[0016]S4:将步骤S3中的耐酸碱容器放置到加热设备上加热,待耐酸碱容器中的溶液蒸干后,再将耐酸碱容器放置到烘箱中干燥,冷却后称量,记为m4;
[0017]S5:将上述步骤获得的ω
KOH
、m2、m3、m4代入公式(1

3),得到彩膜显影液中表面活性剂的含量;
[0018][0019]式中:
[0020]m2为恒重后干燥的耐酸碱容器的质量,单位g;
[0021]m4为耐酸碱容器加酸反应后蒸干冷却后的质量,单位g;
[0022]m3为称取的待检测的彩膜显影液的质量,单位g;
[0023]ω
KOH
为步骤S2得到的待检测的彩膜显影液中KOH的含量,单位%;
[0024]74.5为氯化钾的分子量,单位g/mol;
[0025]56.1为氢氧化钾的分子量,单位g/mol;
[0026]ω
S
%为待检测的彩膜显影液中表面活性剂的含量,单位%。
[0027]有益效果:
[0028]本专利技术通过上述步骤S1

S5中,使用一种盐酸标准溶液,一步法加入固定体积,操作快速简便,盐酸溶液加入体系混合后发生中和反应消除KOH的干扰,进一步干燥恒重后,通过公式计算得到表面活性剂含量。上述过程后,表面活性剂含量检测结果绝对误差≤0.1%,平行测试RSD≤1%,彩膜显影液产线取样后快速准确定量表面活性剂含量。
[0029]优选的,所述步骤S1中用无水碳酸钠进行标定的方法,包括以下步骤:
[0030](1)将基准物质无水碳酸钠放置270℃烘箱中干燥4h,取出后放置干燥器中冷却1h至室温;
[0031](2)在100mL小烧杯中称取S1.1干燥冷却后的无水碳酸钠m0(0.32~0.40g),自动电位滴定仪DET

pH模式下,用0.5mol/L标定定,依据第二个突变点消耗体积V2,根据公式(1

1)计算得到盐酸浓度;
[0032]公式:
[0033]式中:m0为称取的无水碳钠质量,单位g;
[0034]V2为盐酸标定碳酸钠过程的第二突变点对应的消耗体积,单位mL;
[0035](3)盐酸标定要求平行测试8组,组内数据的相对标准偏差RSD≤0.2%,以平均值作为盐酸标定的最终结果。
[0036]优选的,所述步骤S2和步骤S3中待检测的彩膜显影液组成体系为:KOH含量3

15%,表面活性剂含量4

20%,其余为高纯水。
[0037]优选的,所述表面活性剂选自非离子表面活性剂。
[0038]优选的,所述非离子表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种TFT

LCD用彩膜显影液中添加剂定量方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:配制0.5mol/L盐酸水溶液,用基准物质无水碳酸钠进行标定,得到0.5mol/L盐酸标准溶液;S2:称取一定质量的待检测的彩膜显影液,记为m1,加入2~3滴酚酞指示剂,用步骤S1获得的盐酸标准溶液进行滴定,滴定至溶液由红色变为无色时记录消耗的体积,计为V1,根据公式计算得到到彩膜显影液中KOH的浓度ω
KOH
,平行测试两次,取两次的平均值,即得KOH的浓度ω
KOH
;S3:称量恒重后干燥的耐酸碱容器的质量,记为m2,称取一定质量的待检测的彩膜显影液,记为m3,放入到所述耐酸碱容器中,再向耐酸碱容器中加入一定体积的酸溶液,混合均匀;S4:将步骤S3中的耐酸碱容器放置到加热设备上加热,再将耐酸碱容器放置到烘箱中干燥,冷却后称量,记为m4;S5:将上述步骤获得的ω
KOH
、m2、m3、m4代入公式得到彩膜显影液中表面活性剂的含量。2.根据权利要求1所述的TFT

LCD用彩膜显影液中添加剂定量方法,其特征在于,所述步骤S2和步骤S3中待检测的彩膜显影液组成体系为:KOH含量3

15%,表面活性剂含量4

20%,其余为高纯水。3.根据权利要求1或2所述的TFT

LCD用彩膜显影液中添加剂定量方法,其特征在于,所述表面活性剂为脂...

【专利技术属性】
技术研发人员:任成成叶青黄德新
申请(专利权)人:合肥中聚和成电子材料有限公司
类型:发明
国别省市:

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