一种数据采集频率确定方法和一种数据采集客户端技术

本发明专利技术实施例提供了一种数据采集频率确定方法和一种数据采集客户端，所述方法包括：创建数据采集计划信息，并向所述数据采集服务端发送所述数据采集计划信息；所述数据采集计划信息包括采集开始指令、采集终止指令和数据采集次数；接收所述数据采集服务端根据所述采集开始指令反馈的采集开始时间点和根据所述采集终止指令反馈的采集终止时间点；根据所述采集开始时间点、所述采集终止时间点和所述数据采集次数确定数据采集频率。通过本发明专利技术实施例可以准确地确定数据采集服务端采集数据时真实的数据采集频率，便于精准评估数据采集服务端的性能。务端的性能。务端的性能。

【技术实现步骤摘要】
一种数据采集频率确定方法和一种数据采集客户端


[0001]本专利技术涉及半导体
，特别是涉及一种数据采集频率确定方法和一种数据采集客户端。

技术介绍

[0002]EDA Service(EDA服务)是整个EDA(Equipment Data Acquisition，设备数据采集)系统的核心，作为服务器端，关联着ControlPanel(控制面板)、CTC(Cluster Tool Controller，群集工具控制器)即设备端、EDAClient(EDA客户端)三者，主要作用是将CTC与EDAClient之间的数据通道打通，完成CTC与EDAClient之间的数据传输。可见，EDA Service的性能将影响CTC与EDAClient之间的数据传输性能，因此，需要对EDA Service进行性能测试。
[0003]性能测试是通过自动化的测试工具模拟多种正常、峰值以及异常负载条件来对系统的各项性能指标进行测试。负载测试和压力测试都属于性能测试，两者可以结合进行。压力测试是通过确定一个系统的瓶颈或者不能接受的性能点，来获得系统能提供的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种数据采集频率确定方法，其特征在于，应用于数据采集客户端，所述数据采集客户端通过数据采集服务端与半导体工艺设备端相连，所述方法包括：创建数据采集计划信息，并向所述数据采集服务端发送所述数据采集计划信息；所述数据采集计划信息包括采集开始指令、采集终止指令和数据采集次数；接收所述数据采集服务端根据所述采集开始指令反馈的采集开始时间点和根据所述采集终止指令反馈的采集终止时间点；根据所述采集开始时间点、所述采集终止时间点和所述数据采集次数确定数据采集频率。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述采集开始时间点、所述采集终止时间点和所述数据采集次数确定数据采集频率，包括：基于所述采集开始时间点和所述采集终止时间点，确定采集时间差；计算所述数据采集次数与所述采集时间差的商值，确定所述商值为所述数据采集频率。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：创建第一会话连接请求，并向所述数据采集服务端发送所述会话连接请求；所述会话连接请求包括目标半导体工艺设备端标识；接收所述数据采集服务端根据所述目标半导体工艺设备端标识反馈的第二会话连接请求，以通过所述数据采集服务端与目标半导体工艺设备端建立连接。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述数据采集计划信息包括多项子数据采集计划信息，所述子数据采集计划信息与负载参数对应；所述创建数据采集计划信息，并向所述数据采集服务端发送所述数据采集计划信息，包括：接收所述目标半导体工艺设备端发送的负载参数；依据所述负载参数确定目标子数据采集计划信息；将所述目标子数据采集计划信息发送至所述数据采集服务端。5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述采集开始指令包括采集开始条件；所述数据采集服务端设置有非响应式接口；所述数据采集服务端用于获取所述目标半导体工艺设备端的运行参数；当所述运行参数满足所述采集开始条件时，触...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓润福，马宝林，柴加加，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：