一种数据采集频率确定方法和一种数据采集客户端技术

本发明专利技术实施例提供了一种数据采集频率确定方法和一种数据采集客户端，所述方法包括：创建数据采集计划信息，并向所述数据采集服务端发送所述数据采集计划信息；所述数据采集计划信息包括采集开始指令、采集终止指令和数据采集次数；接收所述数据采集服务端根据所述采集开始指令反馈的采集开始时间点和根据所述采集终止指令反馈的采集终止时间点；根据所述采集开始时间点、所述采集终止时间点和所述数据采集次数确定数据采集频率。通过本发明专利技术实施例可以准确地确定数据采集服务端采集数据时真实的数据采集频率，便于精准评估数据采集服务端的性能。务端的性能。务端的性能。

【技术实现步骤摘要】
一种数据采集频率确定方法和一种数据采集客户端


[0001]本专利技术涉及半导体
，特别是涉及一种数据采集频率确定方法和一种数据采集客户端。

技术介绍

[0002]EDA Service(EDA服务)是整个EDA(Equipment Data Acquisition，设备数据采集)系统的核心，作为服务器端，关联着ControlPanel(控制面板)、CTC(Cluster Tool Controller，群集工具控制器)即设备端、EDAClient(EDA客户端)三者，主要作用是将CTC与EDAClient之间的数据通道打通，完成CTC与EDAClient之间的数据传输。可见，EDA Service的性能将影响CTC与EDAClient之间的数据传输性能，因此，需要对EDA Service进行性能测试。
[0003]性能测试是通过自动化的测试工具模拟多种正常、峰值以及异常负载条件来对系统的各项性能指标进行测试。负载测试和压力测试都属于性能测试，两者可以结合进行。压力测试是通过确定一个系统的瓶颈或者不能接受的性能点，来获得系统能提供的最大服务级别的测试。负载测试，确定在各种工作负载下系统的性能，目标是测试当负载逐渐增加时，系统各项性能指标的变化情况。性能测试不同于功能测试，性能关注的是产品是否满足业务需求场景，在项目中，先进行功能测试，再进行性能测试。性能测试的策略是首先进行基准测试，即针对单用户进行业务场景测试，目标是获取单用户运行时的各项性能指标，从而建立起一个已知的性能水平用于对之后软硬件变化后的性能进行对比。然后是进行负载测试，即通过不断提高系统负载，测试系统性能的变化，并最终确定在满足系统性能指标的前提下，系统所能承受的最大负载量(对于服务器端来说，接收的请求数量越多，负载越高)。最后是进行稳定性测试，服务器端稳定运行时(正常负载)进行长时间测试，一般为一周，确保服务端能满足线上业务需求。
[0004]目前，在EDA Service的性能测试中，由于数据采集的是在设备运行期间持续采集，并不是通过单次响应请求的方式进行单次的数据采集，导致数据采集的频率无法进行计算，导致无法准确地评估EDA Service的性能。

技术实现思路

[0005]鉴于上述问题，提出了本专利技术实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种数据采集频率确定方法和相应的一种数据采集客户端。
[0006]为了解决上述问题，本专利技术实施例公开了一种数据采集频率确定方法，应用于数据采集客户端，所述数据采集客户端通过数据采集服务端与半导体工艺设备端相连，所述方法包括：
[0007]创建数据采集计划信息，并向所述数据采集服务端发送所述数据采集计划信息；所述数据采集计划信息包括采集开始指令、采集终止指令和数据采集次数；
[0008]接收所述数据采集服务端根据所述采集开始指令反馈的采集开始时间点和根据
所述采集终止指令反馈的采集终止时间点；
[0009]根据所述采集开始时间点、所述采集终止时间点和所述数据采集次数确定数据采集频率。
[0010]可选地，所述根据所述采集开始时间点、所述采集终止时间点和所述数据采集次数确定数据采集频率，包括：
[0011]基于所述采集开始时间点和所述采集终止时间点，确定采集时间差；
[0012]计算所述数据采集次数与所述采集时间差的商值，确定所述商值为所述数据采集频率。
[0013]可选地，所述方法还包括：
[0014]创建第一会话连接请求，并向所述数据采集服务端发送所述会话连接请求；所述会话连接请求包括目标半导体工艺设备端标识；
[0015]接收所述数据采集服务端根据所述目标半导体工艺设备端标识反馈的第二会话连接请求，以通过所述数据采集服务端与目标半导体工艺设备端建立连接。
[0016]可选地，所述数据采集计划信息包括多项子数据采集计划信息，所述子数据采集计划信息与负载参数对应；所述创建数据采集计划信息，并向所述数据采集服务端发送所述数据采集计划信息，包括：
[0017]接收所述目标半导体工艺设备端发送的负载参数；
[0018]依据所述负载参数确定目标子数据采集计划信息；
[0019]将所述目标子数据采集计划信息发送至所述数据采集服务端。
[0020]可选地，所述采集开始指令包括采集开始条件；所述数据采集服务端设置有非响应式接口；所述数据采集服务端用于获取所述目标半导体工艺设备端的运行参数；当所述运行参数满足所述采集开始条件时，触发所述采集开始指令，采集非响应式接口的数据，记录当前时间点为所述采集开始时间点。
[0021]可选地，所述采集终止指令包括采集终止条件；所述数据采集服务端设置有非响应式接口；所述数据采集服务端用于读取所述非响应式接口采集的目标参数；当所述目标参数满足所述采集终止条件时，触发所述采集终止指令，记录当前时间点为所述采集终止时间点。
[0022]可选地，所述数据采集计划信息还包括理论采集时间间隔；所述方法还包括：
[0023]基于所述理论采集时间间隔确定理论采集频率；
[0024]计算所述理论采集频率和所述数据采集频率的频率差值；所述频率差值用于表征所述数据采集服务端的采集数据性能。
[0025]本专利技术实施例还公开了一种数据采集客户端，所述数据采集客户端通过数据采集服务端与半导体工艺设备端相连，
[0026]所述数据采集客户端用于创建数据采集计划信息，并向所述数据采集服务端发送所述数据采集计划信息；所述数据采集计划信息包括采集开始指令、采集终止指令和数据采集次数；接收所述数据采集服务端根据所述采集开始指令反馈的采集开始时间点和根据所述采集终止指令反馈的采集终止时间点；根据所述采集开始时间点、所述采集终止时间点和所述数据采集次数确定数据采集频率。
[0027]可选地，所述数据采集客户端还用于基于所述采集开始时间点和所述采集终止时
Protocol，超文本传输协议)，HTTPS(Hyper Text Transfer Protocol over SecureSocket Layer，超文本传输安全协议)站点的Web1.0和Web2.0、SOAP(Simple Object Access Protocol，简单对象访问协议)/XML
‑
RPC(XML Remote Procedure Call，XML远程过程调用)、通过JDBC(Java Database Connectivity，Java数据库连接)驱动程序的数据库、通过JMS(Java Message Service，Java消息服务)面向消息传递的服务、POP3(Post Office Protocol
‑
Version 3，邮局协议版本3)、IMAP(Internet Message Access Protocol，因特网消息访问协议)、SMTP(Simple Mail Transfer Protocol，简单邮件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种数据采集频率确定方法，其特征在于，应用于数据采集客户端，所述数据采集客户端通过数据采集服务端与半导体工艺设备端相连，所述方法包括：创建数据采集计划信息，并向所述数据采集服务端发送所述数据采集计划信息；所述数据采集计划信息包括采集开始指令、采集终止指令和数据采集次数；接收所述数据采集服务端根据所述采集开始指令反馈的采集开始时间点和根据所述采集终止指令反馈的采集终止时间点；根据所述采集开始时间点、所述采集终止时间点和所述数据采集次数确定数据采集频率。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述采集开始时间点、所述采集终止时间点和所述数据采集次数确定数据采集频率，包括：基于所述采集开始时间点和所述采集终止时间点，确定采集时间差；计算所述数据采集次数与所述采集时间差的商值，确定所述商值为所述数据采集频率。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：创建第一会话连接请求，并向所述数据采集服务端发送所述会话连接请求；所述会话连接请求包括目标半导体工艺设备端标识；接收所述数据采集服务端根据所述目标半导体工艺设备端标识反馈的第二会话连接请求，以通过所述数据采集服务端与目标半导体工艺设备端建立连接。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述数据采集计划信息包括多项子数据采集计划信息，所述子数据采集计划信息与负载参数对应；所述创建数据采集计划信息，并向所述数据采集服务端发送所述数据采集计划信息，包括：接收所述目标半导体工艺设备端发送的负载参数；依据所述负载参数确定目标子数据采集计划信息；将所述目标子数据采集计划信息发送至所述数据采集服务端。5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述采集开始指令包括采集开始条件；所述数据采集服务端设置有非响应式接口；所述数据采集服务端用于获取所述目标半导体工艺设备端的运行参数；当所述运行参数满足所述采集开始条件时，触...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓润福，马宝林，柴加加，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：