处理设备制造技术

本公开提供一种处理设备。处理设备包括一载台以及设置在载台上的一底板。处理设备还包括一压力膜感测器，形成在底板上，配置用于检测一探针卡的一探针头上的多个针与压力膜感测器之间的接触力。设备还包括一距离检测器，配置用于检测压力膜感测器与所述针之间的距离。此外，设备包括一调整驱动器，配置用于基于压力膜感测器所检测到的接触力来调整探针卡。压力膜感测器所检测到的接触力来调整探针卡。压力膜感测器所检测到的接触力来调整探针卡。

【技术实现步骤摘要】
处理设备


[0001]本专利技术实施例涉及一种半导体制造技术，尤其涉及一种探针卡、用于检测探针卡的状况的设备及方法。

技术介绍

[0002]探针卡(prober card)是电子测试系统与半导体晶片之间的界面。通常，探针卡与探测器(prober)机械对接并与测试仪(tester)电连接，其目的是在测试系统与晶片上的电路之间提供电路径，从而允许在晶片级(wafer level)测试和验证电路，通常在它们被切割和封装之前。
[0003]虽然现有的探针卡以及检测探针卡的状况的方法通常已经足以满足其预计目的，但它们仍不是在所有方面都完全令人满意的。

技术实现思路

[0004]本公开的一些实施例提供一种处理设备，包括一载台、一底板、一压力膜感测器(pressure film sensor)、一距离检测器以及一调整驱动器(adjustment driver)。底板设置在载台上。压力膜感测器形成在底板上，配置用于检测一探针卡的一探针头上的多个针与压力膜感测器之间的接触力。距离检测器配置用于检测压力膜感测器与所述针之间的距离。调整驱动器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种处理设备，包括：一载台；一底板，设置在该载台上；一压力膜感测器，形成在该底板上，配置用于检测一探针卡的一探针头上的多个针与该压力膜感测器之间的一接触力...

【专利技术属性】
技术研发人员：许明正，林德坤，蔡育宪，苏文才，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：