一种用于光学投影系统中的Ｍ×Ｎ薄膜致动反射镜阵列，该阵列包括有： 一有源矩阵，包括一基底、一Ｍ×Ｎ晶体管阵列及－Ｍ×Ｎ连接端阵列； 一Ｍ×Ｎ薄膜致动机构阵列，各致动机构包括第一及第二致动部分，该第一及第二致动部分结构相同，各第一及第二致动部分具有一顶表面及一底表面，一近端及一远端，各第一及第二致动部分具有一由运动感应材料制成的，包括一顶表面及一底表面的薄膜层及第一和第二电极，第一电极位于该运动感应薄膜层的顶表面上，及第二电极位于该运动感应薄膜层的底表面上，其中在各致动部分的第一及第二电极间的运动感应薄膜层上施加一电信号，使该运动感应薄膜层发生变形，并进而使致动部分发生变形； 一Ｍ×Ｎ支持元件阵列，各支持元件具有一顶表面及一底表面，其中各支持元件用于将各致动机构固定就位，并使各致动机构与有源矩阵电连接；及 一Ｍ×Ｎ反射镜层阵列，各反射镜层包括一反射光束的反射镜及一支持层，各反射镜层包括一第一侧、一第二相对侧及该两侧之间的中央部分，其中各反射镜层的第一侧及第二相对侧分别固定在各致动机构的第一及第二致动部分的顶上，以使当各致动机构中第一及第二致动部分响应电信号而发生变形时，相应的反射镜层的中央部分仍保持为平的，从而使全部的中央部分反射光束。提高了光效率。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：闵庸基，金明震，
申请(专利权)人：大宇电子株式会社，
类型：发明
国别省市：
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