【技术实现步骤摘要】
一种OLED掩膜版Open Mask表面处理用烘干箱
[0001]本技术涉及掩膜版Open Mask烘干
,特别涉及一种OLED掩膜版Open Mask表面处理用烘干箱。
技术介绍
[0002]OLED显示技术作为国际上一种新型的且蓬勃发展的显示技术,尤其是在OLED面板生产过程中的真空蒸镀工艺,是整个OLED工艺制程中的核心和目前的技术发展瓶颈所在。在OLED真空蒸镀工艺中,一般分为有机材料、金属材料和无机化合物材料的蒸镀,其中OLED蒸镀掩膜版是该制程的关键治具,该掩膜版用于控制有机材料沉积在玻璃基板上的位置,从而在玻璃基板上形成不同形状的有机图案,用于限定蒸镀范围,长时间使用后掩膜版Open Mask表面会沉积一层镀膜,达到一定厚度后会有脱落风险,从而影响OLED蒸镀的质量,需要定期利用溶剂对掩膜版进行清洗以溶解去除其上镀膜,再利用纯水或离子水清洗去除掩膜版上的溶剂,最后利用烘干箱将掩膜版烘干。
[0003]现有的在利用烘干箱进行烘干操作时,当清洗后的掩膜版烘干完毕后,需要一片片地将掩膜版从带有通孔的承载 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种OLED掩膜版Open Mask表面处理用烘干箱,包括烘干箱(1),所述烘干箱(1)的烘干腔内呈上下排列安装有若干个用于放置掩膜版的承载单元(3),其特征在于:所述承载单元(3)包括呈对称设置的两个承载板(31)和两个U形杆(2),每个所述承载板(31)均包括等间距排列的若干个阶梯式承载条(32),且若干个所述阶梯式承载条(32)均通过若干个连接杆(33)固定在一起,所述阶梯式承载条(32)位于最上方的阶梯面上固定有挡板(34),两个所述承载板(31)的若干个阶梯式承载条(32)均被两个所述U形杆(2)贯穿,两个所述U形杆(2)与所述烘干箱(1)的内壁固定连接;所述阶梯式承载条(32)的阶梯面设置有若干个,用于放置掩膜版并对其底部形成支撑,且相邻两个阶梯面之间的高度差不小于掩膜版的厚度,位于同一高度的两个所述承载板(31)之间设置有操作空隙,人员将手伸入此空隙内推动阶梯面上的掩膜版横向移动并进行堆叠操作。2.根据权利要求1所述的一种OLED掩膜版Open Mask表面处理用烘干箱,其特征在于:所述阶梯式承载条(32)分别与两个所述U形杆(2)滑动连接,所述阶梯式承载条(32)被贯穿处固定嵌入有弹性紧固套(35),且所述弹性紧固套(35)套设在所述U形杆(2)上,所述弹性紧固套(35)的内壁与所述U形杆(2)外壁贴合。3.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员:王圣福,贺贤汉,张正伟,刘宇航,束磊,
申请(专利权)人:安徽富乐德科技发展股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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