一种用于半导体器件负载牵引通用测试夹具制造技术

本发明专利技术公开了一种用于半导体器件负载牵引通用测试夹具，应用在微波功率器件负载牵引测试技术领域。本发明专利技术包括夹具基座、设置在所述夹具基座上的可调节载体模块、输入侧载板和输出侧载板、前支撑板、后支撑板和上压板模块；所述可调节载体模块设置在所述输入侧载板和输出侧载板之间，所述前支撑板和后支撑板设置在所述夹具基座的两侧，所述上压板模块的一端与所述后支撑板相连，所述前支撑板包括螺杆、法兰螺钉和螺母，所述法兰螺钉和螺母与所述上压板模块的另一端活动连接。本发明专利技术的夹具相比一般负载牵引测试定制类夹具，适用于目前主流尺寸的半导体封装器件，具有较高的可重复利用价值，使得不同尺寸器件的负载牵引测试操作简单快捷。将输入匹配电路、输出匹配电路设计成可拆卸更换模块的方案，缩小匹配电路烧结时整体尺寸，提高匹配电路烧结效率，从而达到降低测试成本和提高测试效率的目的。测试成本和提高测试效率的目的。测试成本和提高测试效率的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体器件负载牵引通用测试夹具
[0001]
:本专利技术涉及微波功率半导体器件测试
，具体为一种用于半导体器件负载牵引通用测试夹具。
[0002]
技术介绍
:作为新一代固态微波功率器件，GaN HEMT微波器件具有工作频率高、功率密度高、击穿电压高、效率高等优点，逐渐成为目前微波功率器件和微波单片集成电路应用的理想器件。微波功率器件广泛用于无线通信、雷达、航空与空间、医疗电子等领域中。在GaN大功率微波器件中，其器件栅宽较大，在饱和大功率状态下，非线性效应显著，然而其最佳功率点和最佳效率点的阻抗值无法准确得知，这对器件的输入、输出匹配电路的设计带来了巨大的挑战，因此精确提取GaN半导体器件的阻抗值对于提升器件性能，提高设计效率有着重要的意义。
[0003]目前，GaN HEMT器件阻抗值的提取主要基于机械调谐器的负载牵引测试（load pull），但是负载牵引测试系统对待测件进行测试时，所使用的测试夹具要求较高，因待测件的宽度不同、阻抗值不同，为了得到更加精确的阻抗值，往往每款不同型号器件的测试需要单独定制夹具。这样对不同尺寸半导体器件进行负本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体封装器件的负载牵引通用测试夹具，其特征在于：包括夹具基座、设置在所述夹具基座上的可调节载体模块、输入侧载板和输出侧载板、前支撑板、后支撑板和上压板模块；所述可调节载体模块设置在所述输入侧载板和输出侧载板之间，所述前支撑板和后支撑板设置在所述夹具基座的两侧，所述上压板模块的一端与所述后支撑板相连，所述前支撑板包括螺杆、法兰螺钉和螺母，所述法兰螺钉和螺母与所述上压板模块的另一端活动连接。2.根据权利要求1所述的用于半导...

【专利技术属性】
技术研发人员：成爱强，平培力，戈硕，唐世军，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第五十五研究所，
类型：发明
国别省市：