一种光滤波器及其制造方法、光路检测系统、滤波方法技术方案

本发明专利技术提供一种光滤波器，包括基材，基材一侧表面镀有法布里帕罗镀层；法布里珀罗镀层包括依次层叠且相互平行的三层镀层；三层镀层包括第一镀层、第二镀层、第三镀层；光波透过基材进入法布里珀罗镀层中，在第一镀层、第二镀层反射作用下，光波在第三镀层中形成谐振，以对光波进行滤波。本发明专利技术还涉及光滤波器的制造方法、光路检测系统、滤波方法。本发明专利技术通过镀膜的方式构建F

【技术实现步骤摘要】
一种光滤波器及其制造方法、光路检测系统、滤波方法


[0001]本专利技术涉及光通讯领域，特别涉及一种光滤波器及其制造方法、光路检测系统、滤波方法。

技术介绍

[0002]光滤波器是用来进行波长选择的仪器，其可以从众多的波长中挑选出所需的波长，而除此波长以外的光将会被拒绝通过；其广泛应用于波长选择、光放大器的噪声滤除、增益均衡、光复用/解复用的相关领域。
[0003]市面常见光滤波器，如图1所示的F
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P型光滤波器100的结构，其包括基材101，以及在基材两面的膜层构成(镀层101和镀层102)；基材一般通过光学冷加工方式，将需要镀膜的表面研磨抛光。对两面的平行度和面型有非常高的要求，通常是波长量级以下的要求。基材形成F
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P腔体的本体作用。镀层101和镀层102分别镀制在基材的两个抛光面上，与基材共同形成一个F
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P腔体，这样经过的光束(透射或反射)，将形成多光束干涉现象，从而可对波长可进行“滤波”。
[0004]当需要滤波器有较宽可调范围时，则需要较薄的基材，基材变薄时加工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光滤波器，包括基材，其特征在于：所述基材一侧表面镀有法布里帕罗镀层；所述法布里珀罗镀层包括依次层叠且相互平行的三层镀层；所述三层镀层包括第一镀层、第二镀层、第三镀层；其中，所述第一镀层镀制于所述基材表面；所述第三镀层镀制于所述第一镀层表面；第二镀层镀制于所述第三镀层表面；所述第一镀层相对于所述基材为增透膜，相对于所述第三镀层为反射膜；所述第二镀层相对于所述第三镀层为反射膜；光波透过所述基材进入所述法布里珀罗镀层中，在所述第一镀层、所述第二镀层反射作用下，光波在所述第三镀层中形成谐振，以对光波进行滤波。2.根据权利要求1所述的一种光滤波器，其特征在于：所述第三镀层的材料为热敏感型材料；改变所述法布里珀罗镀层的环境温度，所述第三镀层的厚度随之变化，以调节通过所述基材的光波的滤波范围。3.根据权利要求2所述的一种光滤波器，其特征在于：还包括温度调节装置，用以对所述第三镀层升温或降温。4.根据权利要求3所述的一种光滤波器，其特征在于：所述温度调节装置贴附于所述基材表面。5.根据权利要求3所述的一种光滤波器，其特征在于：所述温度调节装置贴附于所述第二镀层表面。6.根据权利要求3所述的一种光滤波器，其特征在于：所述温度调节装置包括电热装置或半导体制冷片装置。7.根据权利要求1
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6任一项所述的一种光滤波器，其特征在于：所述光滤波器的自由光谱范围FSR＝λ2/(2*n*d*cosθ)，d为第三镀层的厚度，n为第三镀层折射率，θ为第...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵泽雄，刘权，
申请(专利权)人：苏州伽蓝致远电子科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：