多控制器检验系统技术方案

公开一种检验系统。所述检验系统包含经配置以从缺陷检验工具接收图像数据的共享存储器，及通信地耦合到所述共享存储器的控制器。所述控制器包含：主机图像模块，其经配置以使用中央处理单元(CPU)架构将一或多种通用缺陷检验算法应用于所述图像数据；结果模块，其经配置以产生由所述主机图像模块识别的缺陷的检验数据；及副图像模块，其经配置以将一或多种目标缺陷检验算法应用于所述图像数据。所述副图像模块采用所述图像数据的灵活取样以在选定公差内匹配所述主机图像模块的数据处理速率。响应于由所述结果模块及所述主机图像模块产生的所述检验数据而调整所述图像数据的所述灵活取样。所述灵活取样。所述灵活取样。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】多控制器检验系统
[0001]相关申请案的交叉引用
[0002]本申请案根据35 U.S.C.
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119(e)主张2020年5月6日申请的标题为“具有灵活采样的从属模式图像计算机(SLAVE MODE IMAGE COMPUTER WITH FLEXIBLE SAMPLING)”的以布莱恩
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达菲(Brian Duffy)、马克
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鲁洛(Mark Roulo)、阿肖克
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马修(Ashok Mathew)、张静(Jing Zhang)及克里斯
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巴克尔(Kris Bhaskar)为专利技术人的第63/020,555号美国临时申请案的权利，所述申请案的全部内容以引用的方式并入本文中。


[0003]本公开大体上涉及半导体晶片及掩模中的缺陷的检测，且特定来说，涉及一种采用获益于不同软件及硬件计算资源环境的多种缺陷检验算法的分布式异构计算机系统。

技术介绍

[0004]在经配置以检测样本(例如，半导体晶片或光掩模)上的缺陷的常规检验系统中，照明源照明本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种检验系统，其包括：共享存储器，其通信地耦合到缺陷检验工具，其中所述共享存储器经配置以接收由所述缺陷检验工具产生的图像数据；及控制器，其通信地耦合到所述共享存储器，所述控制器包含：主机图像模块，其经配置以将一或多种通用缺陷检验算法应用于所述图像数据，其中所述一或多种通用缺陷检验算法经配置以使用中央处理单元(CPU)架构识别所述图像数据中的多种缺陷类型，其中所述主机图像模块对所述图像数据进行全取样；一或多个副图像模块，其中所述一或多个副图像模块经配置以将一或多种目标缺陷检验算法应用于所述图像数据，其中所述一或多种目标缺陷检验算法中的至少一些经定制以识别所述图像数据中的所述多种缺陷类型的目标子集，其中所述一或多个副图像模块采用所述图像数据的灵活取样以在选定公差内匹配所述主机图像模块的数据处理速率；及结果模块，其经配置以产生由所述一或多个主机图像模块或所述一或多个副图像模块识别的缺陷的检验数据。2.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述一或多个副图像模块中的至少一些利用CPU架构以实施所述一或多种目标缺陷检验算法中的至少一些。3.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述一或多个副图像模块中的至少一些利用图形处理单元(GPU)架构以实施所述一或多种目标缺陷检验算法中的至少一些。4.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述一或多个副图像模块中的至少一些利用非CPU数学加速器以实施所述一或多种目标缺陷检验算法中的至少一些。5.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述一或多个副图像模块中的至少一些利用一神经网络以实施所述一或多种目标缺陷检验算法中的至少一些。6.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述一或多个副图像模块中的至少一些利用深度学习以实施所述一或多种目标缺陷检验算法中的至少一些。7.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述一或多个副图像模块中的至少一者经配置以识别所述多种缺陷类型的一或多种已知缺陷类型，且进一步经配置以采用所述图像数据的灵活取样以对所述图像数据中的一或多个关照区域进行取样。8.根据权利要求7所述的检验系统，其中所述一或多个关照区域包含与易受所述一或多种已知缺陷类型影响的位置相关联的所述图像数据的部分。9.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述控制器进一步包含经配置以基于所述图像数据产生多个检验工作的样本计划模块。10.根据权利要求9所述的检验系统，其中所述一或多个副图像模块中的至少一者经配置以通过忽视一或多个检验工作而采用所述图像数据的灵活取样，以在所述选定公差内匹配所述主机图像模块的所述数据处理速率。11.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述检验数据包含像素级数据。12.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述检验数据包含所述一或多种通用缺陷检验算法中的至少一些或所述一或多种目标缺陷检验算法中的至少一些的单独数据集。13.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述检验数据包含所述一或多种通用缺陷检验算法及所述一或多种目标缺陷检验算法的共同数据集。14.根据权利要求13所述的检验系统，其中经识别缺陷的所述检验数据包含所述一或
多种通用缺陷检验算法或所述一或多种目标缺陷检验算法中的哪一者识别所述经识别缺陷的指示。15.一种检验系统，其包括：共享存储器，其通信地耦合到缺陷检验工具，其中所述共享存储器经配置以接收由所述缺陷检验工具产生的图像数据；及控制器，其通信地耦合到所述共享存储器，所述控制器包含：主机图像模块，其经配置以将一或多种通用缺陷检验算法应用于所述图像数据，其中所述一或多种通用缺陷检验算法经配置以使用中央处理单元(CPU)架构识别所述图像数据中的多种缺陷类型，其中所述主机图像模块对所述图像数据进行全取样；结果模块，其经配置以产生由所述主机图像模块识别的缺陷的检验数据；及一或多个副图像模块，其中所述一或多个副图像模块经配置以将一或多种目标缺陷检验算法应用于所述图像数据，其中所述一或多种目标缺陷检验算法中的至少一些经定制以识别所述图像数据中的所述多种缺陷类型的目标子集，其中所述一或多个副图像模块采用所述图像数据的灵活取样以在选定公差内匹配所述主机图像模块的数据处理速率，其中响应于由所述结果模块及所述主机图像模块产生的所述检验数据而调整所述图像数据的所述灵活取样，其中所述结果模块进一步经配置以产生由所述一或多个副图像模块识别的缺陷...

【专利技术属性】
技术研发人员：B，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：