多控制器检验系统技术方案

公开一种检验系统。所述检验系统包含经配置以从缺陷检验工具接收图像数据的共享存储器，及通信地耦合到所述共享存储器的控制器。所述控制器包含：主机图像模块，其经配置以使用中央处理单元(CPU)架构将一或多种通用缺陷检验算法应用于所述图像数据；结果模块，其经配置以产生由所述主机图像模块识别的缺陷的检验数据；及副图像模块，其经配置以将一或多种目标缺陷检验算法应用于所述图像数据。所述副图像模块采用所述图像数据的灵活取样以在选定公差内匹配所述主机图像模块的数据处理速率。响应于由所述结果模块及所述主机图像模块产生的所述检验数据而调整所述图像数据的所述灵活取样。所述灵活取样。所述灵活取样。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】多控制器检验系统
[0001]相关申请案的交叉引用
[0002]本申请案根据35 U.S.C.
§
119(e)主张2020年5月6日申请的标题为“具有灵活采样的从属模式图像计算机(SLAVE MODE IMAGE COMPUTER WITH FLEXIBLE SAMPLING)”的以布莱恩
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达菲(Brian Duffy)、马克
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鲁洛(Mark Roulo)、阿肖克
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马修(Ashok Mathew)、张静(Jing Zhang)及克里斯
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巴克尔(Kris Bhaskar)为专利技术人的第63/020,555号美国临时申请案的权利，所述申请案的全部内容以引用的方式并入本文中。


[0003]本公开大体上涉及半导体晶片及掩模中的缺陷的检测，且特定来说，涉及一种采用获益于不同软件及硬件计算资源环境的多种缺陷检验算法的分布式异构计算机系统。

技术介绍

[0004]在经配置以检测样本(例如，半导体晶片或光掩模)上的缺陷的常规检验系统中，照明源照明样本且检测器(例如，相机)接收从样本反射或散射的照明。检测器产生图像数据，且接着，图像数据传输到计算机系统。接着，计算机系统使用图像数据检测缺陷。归因于可能缺陷的种类繁多，一些缺陷难以检测且可能被遗漏。另外，即使对于可能被识别的缺陷，检测也可能过于计算密集而在经济上不可行。
[0005]此外，出于向后兼容性原因，可期望修改及改进检验系统的缺陷检验部分而不改变系统的图像获取部分。对于完全设计或部署到生产的检验系统，中断操作以替换缺陷检验算法及相关联计算系统对于检验器制造商以及客户来说可为不切实际的。在此类情境中，有前景的新颖算法及计算技术的引入可能被大幅延迟或完全放弃。因此，可期望经改进缺陷检验系统。

技术实现思路

[0006]根据本公开的一或多个说明性实施例，公开一种检验系统。在一个说明性实施例中，所述检验系统包括共享存储器，所述共享存储器通信地耦合到缺陷检验工具，其中所述共享存储器经配置以接收由所述缺陷检验工具产生的图像数据。在另一说明性实施例中，所述检验系统包括控制器，所述控制器通信地耦合到所述共享存储器，所述控制器包含：主机图像模块，其经配置以将一或多种通用缺陷检验算法应用于所述图像数据，其中所述一或多种通用缺陷检验算法经配置以使用中央处理单元(CPU)架构识别所述图像数据中的多种缺陷类型，其中所述主机图像模块对所述图像数据进行全取样；一或多个副图像模块，其中所述一或多个副图像模块经配置以将一或多种目标缺陷检验算法应用于所述图像数据，其中所述一或多种目标缺陷检验算法中的至少一些经定制以识别所述图像数据中的所述多种缺陷类型的目标子集，其中所述一或多个副图像模块采用所述图像数据的灵活取样以在选定公差内匹配所述主机图像模块的数据处理速率；及结果模块，其经配置以产生由所述一或多个主机图像模块或所述一或多个副图像模块识别的缺陷的检验数据。
[0007]根据本公开的一或多个说明性实施例，公开一种检验系统。在一个说明性实施例中，所述检验系统包括共享存储器，所述共享存储器通信地耦合到缺陷检验工具，其中所述共享存储器经配置以接收由所述缺陷检验工具产生的图像数据。在另一说明性实施例中，所述检验系统包括控制器，所述控制器通信地耦合到所述共享存储器，所述控制器包含：主机图像模块，其经配置以将一或多种通用缺陷检验算法应用于所述图像数据，其中所述一或多种通用缺陷检验算法经配置以使用中央处理单元(CPU)架构识别所述图像数据中的多种缺陷类型，其中所述主机图像模块对所述图像数据进行全取样；一或多个副图像模块，其中所述一或多个副图像模块经配置以将一或多种目标缺陷检验算法应用于所述图像数据，其中所述一或多种目标缺陷检验算法中的至少一些经定制以识别所述图像数据中的所述多种缺陷类型的目标子集，其中所述一或多个副图像模块采用所述图像数据的灵活取样以在选定公差内匹配所述主机图像模块的数据处理速率，其中响应于由结果模块及所述主机图像模块产生的检验数据而调整所述图像数据的所述灵活取样，其中所述结果模块进一步经配置以产生由所述一或多个副图像模块识别的缺陷的检验数据。
[0008]根据本公开的一或多个说明性实施例，公开一种检验系统。在一个说明性实施例中，所述检验系统包括共享存储器，所述共享存储器通信地耦合到缺陷检验工具，其中所述共享存储器经配置以接收由所述缺陷检验工具产生的图像数据。在另一说明性实施例中，所述检验系统包括控制器，所述控制器通信地耦合到所述共享存储器，所述控制器包含：多个图像模块，其各自经配置以将一或多种缺陷检验算法应用于所述图像数据；及结果模块，其经配置以产生由所述多个图像模块识别的缺陷的检验数据，其中所述多个图像模块采用所述图像数据的灵活取样以将目标数据处理维持在选定公差内，其中响应于由所述结果模块及所述多个图像模块产生的所述检验数据而调整所述图像数据的所述灵活取样。
[0009]应理解，前文一般描述及下文详细描述两者仅为示范性的及说明性的，且不一定限制如所主张的本专利技术。并入于本说明书中且构成本说明书的一部分的附图说明本专利技术的实施例且与一般描述一起用于说明本专利技术的原理。
附图说明
[0010]所属领域的技术人员通过参考附图可更好理解本公开的许多优点，其中：
[0011]图1是说明根据本公开的一或多个实施例的用于检测缺陷的检验系统的框图。
[0012]图2A是说明根据本公开的一或多个实施例的基于光学的检验工具的图。
[0013]图2B是说明根据本公开的一或多个实施例的基于电子的检验工具的图。
[0014]图3A到3C是说明根据本公开的一或多个实施例的检验方法的流程图。
具体实施方式
[0015]应理解，前文一般描述及下文详细描述两者仅为示范性的及解释性的，且不一定限制如所主张的本专利技术。并入于本说明书中且构成本说明书的一部分的附图说明本专利技术的实施例且与一般描述一起用于说明本专利技术的原理。所属领域的一般技术人员应容易明白，可作出形式及细节上的各种改变及修改而不脱离本公开的精神及范围。现将详细参考在附图中说明的所公开的目标物。
[0016]本公开的实施例涉及一种经配置以通过检验由检验工具收集的图像数据而检测
样本(例如，半导体晶片或光掩模)上的缺陷的检验系统。本检验系统有利地实现使用通用缺陷检验算法及目标缺陷检验算法两者快速地且有效率地检测缺陷。特定来说，本系统可采用图像数据的灵活取样以维持检验系统的高数据处理速率(例如，以维持半导体制造厂处的制造线的检验量)。由于目标缺陷检验算法可具有比通用缺陷检验算法缓慢的检验速率，因此灵活取样通过将比提供到通用检验算法的图像数据少的图像数据提供到目标检验算法而实现更快检验。可以各种方式实施灵活取样，包含简单地丢弃(drop)检验工作以将目标缺陷检验算法的数据处理速率与通用检验算法(及/或传入数据流)的数据处理速率匹配，或标定其中目标缺陷检验算法可最有效的图像数据的特定区域。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种检验系统，其包括：共享存储器，其通信地耦合到缺陷检验工具，其中所述共享存储器经配置以接收由所述缺陷检验工具产生的图像数据；及控制器，其通信地耦合到所述共享存储器，所述控制器包含：主机图像模块，其经配置以将一或多种通用缺陷检验算法应用于所述图像数据，其中所述一或多种通用缺陷检验算法经配置以使用中央处理单元(CPU)架构识别所述图像数据中的多种缺陷类型，其中所述主机图像模块对所述图像数据进行全取样；一或多个副图像模块，其中所述一或多个副图像模块经配置以将一或多种目标缺陷检验算法应用于所述图像数据，其中所述一或多种目标缺陷检验算法中的至少一些经定制以识别所述图像数据中的所述多种缺陷类型的目标子集，其中所述一或多个副图像模块采用所述图像数据的灵活取样以在选定公差内匹配所述主机图像模块的数据处理速率；及结果模块，其经配置以产生由所述一或多个主机图像模块或所述一或多个副图像模块识别的缺陷的检验数据。2.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述一或多个副图像模块中的至少一些利用CPU架构以实施所述一或多种目标缺陷检验算法中的至少一些。3.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述一或多个副图像模块中的至少一些利用图形处理单元(GPU)架构以实施所述一或多种目标缺陷检验算法中的至少一些。4.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述一或多个副图像模块中的至少一些利用非CPU数学加速器以实施所述一或多种目标缺陷检验算法中的至少一些。5.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述一或多个副图像模块中的至少一些利用一神经网络以实施所述一或多种目标缺陷检验算法中的至少一些。6.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述一或多个副图像模块中的至少一些利用深度学习以实施所述一或多种目标缺陷检验算法中的至少一些。7.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述一或多个副图像模块中的至少一者经配置以识别所述多种缺陷类型的一或多种已知缺陷类型，且进一步经配置以采用所述图像数据的灵活取样以对所述图像数据中的一或多个关照区域进行取样。8.根据权利要求7所述的检验系统，其中所述一或多个关照区域包含与易受所述一或多种已知缺陷类型影响的位置相关联的所述图像数据的部分。9.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述控制器进一步包含经配置以基于所述图像数据产生多个检验工作的样本计划模块。10.根据权利要求9所述的检验系统，其中所述一或多个副图像模块中的至少一者经配置以通过忽视一或多个检验工作而采用所述图像数据的灵活取样，以在所述选定公差内匹配所述主机图像模块的所述数据处理速率。11.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述检验数据包含像素级数据。12.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述检验数据包含所述一或多种通用缺陷检验算法中的至少一些或所述一或多种目标缺陷检验算法中的至少一些的单独数据集。13.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述检验数据包含所述一或多种通用缺陷检验算法及所述一或多种目标缺陷检验算法的共同数据集。14.根据权利要求13所述的检验系统，其中经识别缺陷的所述检验数据包含所述一或
多种通用缺陷检验算法或所述一或多种目标缺陷检验算法中的哪一者识别所述经识别缺陷的指示。15.一种检验系统，其包括：共享存储器，其通信地耦合到缺陷检验工具，其中所述共享存储器经配置以接收由所述缺陷检验工具产生的图像数据；及控制器，其通信地耦合到所述共享存储器，所述控制器包含：主机图像模块，其经配置以将一或多种通用缺陷检验算法应用于所述图像数据，其中所述一或多种通用缺陷检验算法经配置以使用中央处理单元(CPU)架构识别所述图像数据中的多种缺陷类型，其中所述主机图像模块对所述图像数据进行全取样；结果模块，其经配置以产生由所述主机图像模块识别的缺陷的检验数据；及一或多个副图像模块，其中所述一或多个副图像模块经配置以将一或多种目标缺陷检验算法应用于所述图像数据，其中所述一或多种目标缺陷检验算法中的至少一些经定制以识别所述图像数据中的所述多种缺陷类型的目标子集，其中所述一或多个副图像模块采用所述图像数据的灵活取样以在选定公差内匹配所述主机图像模块的数据处理速率，其中响应于由所述结果模块及所述主机图像模块产生的所述检验数据而调整所述图像数据的所述灵活取样，其中所述结果模块进一步经配置以产生由所述一或多个副图像模块识别的缺陷...

【专利技术属性】
技术研发人员：B，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：