激光加工装置制造方法及图纸

激光加工装置，使聚光区域的一部分对准对象物来照射激光，从而在对象物形成改质区域。激光加工装置，具备：支撑部，其构成为能以沿着铅垂方向的轴为中心来旋转，且支撑对象物；照射部，其对于被支撑部所支撑的对象物，照射以第1水平方向为偏振方向的激光；第1移动机构，其沿着偏振方向即第1水平方向使照射部移动；第2移动机构，其沿着与偏振方向垂直的水平方向即第2水平方向来使支撑部及照射部的至少一方移动；以及控制部，其控制支撑部、照射部、第1移动机构及第2移动机构的动作。移动机构及第2移动机构的动作。移动机构及第2移动机构的动作。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】激光加工装置


[0001]本专利技术涉及一种激光加工装置。

技术介绍

[0002]已知有激光加工装置，其对于对象物使聚光区域的一部分对焦来照射激光，从而在对象物形成改质区域。作为这种技术，在专利文献1，记载有激光加工装置，其具备：保持工件的保持机构、对保持机构所保持的工件照射激光的激光照射机构。专利文献1所记载的激光加工装置，是使具有聚光透镜的激光照射机构对基台固定，通过保持机构来实施沿着与聚光透镜的光轴垂直的方向的工件的移动。现有技术文献专利文献
[0003]专利文献1：日本专利第5456510号公报

技术实现思路

专利技术想要解决的问题
[0004]上述那样的激光加工装置，是使照射于对象物的激光的聚光区域的一部分相对地移动，从而在对象物形成改质区域。在这种激光加工装置，例如为了效率良好地实现激光加工，有期望着使龟裂容易沿着聚光区域的一部的移动方向(以下也称为“加工行进方向”)而从改质区域延伸的情况。
[0005]另外，上述那样的激光加工装置，例如期望可利用在从对象物将其外缘部分作为不要部分来去除的修整加工等的各种激光加工。但是想要对应于该需求时，使激光的聚光区域的一部分移动的机构会大型化，甚至会有装置构造大型化的担忧。
[0006]在此，本专利技术的目的在于提供激光加工装置，可抑制装置构造的大型化，并使龟裂容易沿着激光的移动方向而从改质区域延伸。用于解决问题的技术手段
[0007]本专利技术的一方式的激光加工装置，是使聚光区域的一部分对准对象物来照射激光，从而在对象物形成改质区域，该激光加工装置，具备：支撑部，其构成为能以沿着铅垂方向的轴为中心来旋转，且支撑对象物；照射部，其对于被支撑部所支撑的对象物，照射以第1水平方向为偏振方向的激光；第1移动机构，其沿着偏振方向即第1水平方向使照射部沿着第1水平方向移动；第2移动机构，其沿着与偏振方向垂直的水平方向即第2水平方向来使支撑部及照射部的至少一方沿着第2水平方向移动；以及控制部，其控制支撑部、照射部、第1移动机构及第2移动机构的动作。
[0008]本专利技术的一方式的激光加工装置的构造，可进行：使支撑部旋转，使该旋转的切线方向成为激光的偏振方向(以下仅称为“偏振方向”)的激光加工。另外，可进行沿着偏振方向使聚光区域的一部分直线地移动的激光加工。即，使偏振方向沿着加工行进方向的各种激光加工成为可能，可使龟裂容易沿着加工行进方向延伸。另外，为了实现这种使偏振方向
沿着加工行进方向的激光加工，在本专利技术的一方式的激光加工装置的构造，支撑部的驱动方向仅为旋转方向(单轴构造)，或是仅为旋转方向及第2水平方向(双轴构造)而比较少。一般而言支撑部重且大，因此使支撑部的驱动方向的数量(驱动轴数)变少，可抑制装置构造的大型化。于是，根据本专利技术的一方式，可抑制装置构造的大型化并使龟裂容易沿着激光的移动方向而从改质区域延伸。
[0009]本专利技术的一方式的激光加工装置，控制部，是在对象物中，对于支撑部的轴向第2水平方向分离的位置使聚光区域的一部分对焦的状态下，从照射部将以第1水平方向为偏振方向的激光照射于对象物并使支撑部旋转，从而执行沿着环状线将改质区域形成于对象物的第1处理也可。该情况下，可通过使偏振方向沿着加工行进方向的激光加工，来形成沿着环状线的改质区域。
[0010]本专利技术的一方式的激光加工装置，控制部，从照射部将以第1水平方向为偏振方向的激光照射于对象物，并沿着第1水平方向通过第1移动机构使照射部移动，从而执行沿着于第1水平方向延伸的直线状线来将改质区域形成于对象物的第2处理也可。该情况下，可通过使偏振方向沿着加工行进方向的激光加工，来形成沿着直线状线的改质区域。
[0011]本专利技术的一方式的激光加工装置，控制部，在第2处理的执行之后，使支撑部旋转来使对象物旋转一定角度之后，再次执行第2处理也可。该情况下，可通过使偏振方向沿着加工行进方向的激光加工，来形成沿着彼此在不同方向延伸的多个直线状线的改质区域。
[0012]本专利技术的一方式的激光加工装置，第2移动机构，仅使照射部移动也可。该情况下，支撑部的驱动方向可仅为旋转方向(单轴构造)，可进一步抑制装置构造的大型化。另外，支撑部的驱动方向的数量变少，相对地可提高支撑部的设计自由度。另外，可使支撑部轻量化，可提升支撑部的旋转速度及旋转精度。
[0013]本专利技术的一方式的激光加工装置，第2移动机构，仅使支撑部移动也可。该情况下，照射部的驱动方向的数量变少，相对地可提高照射部的设计自由度。另外，不会有照射部的激光照射中的移动，因此可降低激光及施加于该光学系统的振动。
[0014]本专利技术的一方式的激光加工装置，还具备沿着铅垂方向使照射部移动的第3移动机构，控制部，进一步控制第3移动机构的动作也可。该情况下，通过第3移动机构来使照射部移动，从而可使激光的聚光区域的一部分在铅垂方向移动。专利技术的效果
[0015]根据本专利技术，可提供激光加工装置，其可抑制装置构造的大型化，并使龟裂容易沿着激光的移动方向而从改质区域延伸。
附图说明
[0016]图1是一实施方式的激光加工装置的立体图。图2是图1所示的激光加工装置的一部分的正视图。图3是图1所示的激光加工装置的激光加工头的正视图。图4是图3所示的激光加工头的侧视图。图5是图3所示的激光加工头的光学系统的构成图。图6是变形例的激光加工头的光学系统的构成图。图7是变形例的激光加工装置的一部分的正视图。
图8是表示第1实施方式的激光加工装置的主要部的构成图。图9(a)是表示成为激光加工的对象的对象物的俯视图。图9(b)，是表示成为激光加工的对象的对象物的侧视图。图10是说明图8的激光加工装置所致的激光加工的俯视图。图11是表示图10的后续的俯视图。图12是表示图11的后续的俯视图。图13是表示图12的后续的俯视图。图14是表示图13的后续的俯视图。图15是表示图14的后续的俯视图。图16是表示图15的后续的俯视图。图17是表示图16的后续的俯视图。图18是表示第2实施方式的激光加工装置的主要部的构成图。图19是说明图18的激光加工装置所致的激光加工的俯视图。图20是表示图19的后续的俯视图。图21是表示图20的后续的俯视图。图22是表示图21的后续的俯视图。
具体实施方式
[0017]以下，针对实施方式，参照附图来详细说明。在各图中对相同或相当的部分附上相同符号，并省略重复的说明。[激光加工装置的构造][0018]如图1所示那样，激光加工装置1，具备：多个移动机构5、6、支撑部7、一对激光加工头10A、10B、光源单元8、控制部9。以下，将第1水平方向称为X方向，将与第1水平方向垂直的水平方向即第2水平方向称为Y方向，将铅垂方向称为Z方向。
[0019]移动机构5，具有：固定部51、移动部53、安装部55。固定部51，安装于装置框架1a。移动部53，安装于设在固定部51的轨道，可沿着Y方向移动。安装部55，安装于设在移动部53的轨道，可沿着X方向移动。
[0020]移动机构6，具有：本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种激光加工装置，其中，是通过使聚光区域的一部分对准对象物来照射激光，从而在所述对象物形成改质区域的激光加工装置，具备：支撑部，其构成为能够以沿着铅垂方向的轴为中心旋转，并且支撑所述对象物；照射部，其对被所述支撑部支撑的所述对象物，照射以第1水平方向为偏振方向的所述激光；第1移动机构，其沿着作为所述偏振方向的所述第1水平方向，使所述照射部移动；第2移动机构，其沿着作为与所述偏振方向垂直的水平方向的第2水平方向，使所述支撑部及所述照射部中的至少一方移动；以及控制部，其控制所述支撑部、所述照射部、所述第1移动机构及所述第2移动机构的动作。2.如权利要求1所述的激光加工装置，其中，所述控制部执行第1处理，所述第1处理为：在使所述聚光区域的一部分对准所述对象物中相对于所述支撑部的所述轴向所述第2水平方向分离的位置的状态下，通过一边从所述照射部使以所述第1水平方向为偏振方向的所述激光照射于所述对象物一边使所述支撑部旋转，从而沿着环...

【专利技术属性】
技术研发人员：坂本刚志，是松克洋，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：