具有流体装置的感测芯片制造方法及图纸

一种具有流体装置的感测芯片，包括：具有第一区域及第二区域的基板；场效晶体管，设置在基板的第一区域。流体装置设置在基板的第二区域且与场效晶体管电性连接。流体装置包括：具有窗口的隔离层以暴露在第二区域的基板的表面；第二闸极，设置在隔离层的窗口内，第二闸极包括多晶硅层及一层或多层的金属层；及参考电极，邻近第二闸极。将待测流体容置流体装置，使第二闸极与待测流体接触，在金属层上的接受器捕捉在待测流体内的目标物，金属层的电压值会随接受器捕捉目标物的数量而改变，利用电压值变化量可以得到目标物的浓度。值变化量可以得到目标物的浓度。值变化量可以得到目标物的浓度。

【技术实现步骤摘要】
具有流体装置的感测芯片


[0001]本专利技术涉及一种检测
，特别是有关于一种可检测蛋白质、细菌、病毒、悬浮微粒，且具有流体装置的感测芯片。

技术介绍

[0002]生物传感器是根据电学、电化学、光学及机械检测原理等基础进行操作，用来感应及检测生物分子的装置。具有晶体管的生物传感器可以经由电性方式感应生物分子或是生物实体的电荷、光子及机械性质。此检测行为可经由直接检测感应，或经由特定反应物与生物分子/生物实体进行反应或是交互作用来达成。这些生物传感器可用半导体制程制造生产，可快速地转换电子讯号，非常容易地应用于集成电路(integratedcircuit；ICs)及微机电系统(microelectromechanicalsystems；MEMs)。
[0003]生物芯片实质上是一种微型实验室，可以同时进行数百个或是数千个生化反应。生物芯片可以检测特殊的生物分子、测量其性质、运算处理讯号，甚至是直接分析数据，故生物芯片使研究人员可以快速地筛选大量的生物分析物，应用于从疾病诊断到检测生化恐怖攻击等各种目的。先进的生物芯片利用流体信道边许本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有流体装置的感测芯片，其特征在于，包括：基板，所述基板具有第一区域及第二区域；场效晶体管，设置于所述基板的所述第一区域中，所述场效晶体管包含第一闸极、源极及汲极，所述第一闸极设置在所述源极及所述汲极之间且在所述基板上；以及流体装置，设置在所述基板的所述第二区域且与所述场效晶体管电性连接，所述流体装置包括：隔离层，具有窗口且暴露所述第二区域的所述基板的表面，其中所述窗口所围成的区域为容置空间；第二闸极，设置于所述隔离层的该窗口内，所述第二闸极由所述基板往上包括多晶硅层及一层或多层的金属层；以及参考电极，邻近于所述第二闸极且设置在所述基板的所述第二区域上，所述参考电极与所述待测流体接触，其中，将待测流体容置于所述容置空间内，使得所述第二闸极的所述金属层接触到所述待测流体之后，在所述金属层的表面上的多个接受器用以捕捉在所述待测流体内的多个目标物，且所述第二闸极的所述金属层的电压值会随着所述接受器捕捉所述目标物的数量而改变，所述电压值变化经由所述场效晶体管转换以得到对应的电流值变化，由所述场效晶体管将所述电流值变化传送至外部处理单元，由所述外部处理单元处理以得到对应于所述金属层的所述电压值变化的所述待测流体内的所述目标物的浓度值。2.一种具有流体装置的感测芯片，其特征在于，包括：基板，所述基板具有第一区域及第二区域；场效晶体管，设置于所述基板的所述第一区域中，所述场效晶体管包含第一闸极、源极及汲极，所述第一闸极设置在所述源极及所述汲极之间且在所述基板上；以及体装置，设置在所述基板的所述第二区域且与所述场效晶体管电性连接，所述流体装置包括：隔离层，具有窗口且暴露所述第二区域的所述基板的表面，其中所述窗口所围成的区域为容置空间；第二闸极，设置于所述隔离层的所述窗口内，所述第二闸极由所述基板往上包括多晶硅层及一层或多层的金属层；以及参考电极，邻近于所述第二闸极且设置在所述基板的所述第二区域上，所述参考电极与所述待测流体接触，其中，将待测流体容置于所述容置空间内，使得所述第二闸极的所述金属层接触到所述待测流体，将所述第二闸极中的所述多晶硅层的一端用以接地及所述多晶硅层的另一端与温度调控单元电性连接，所述温度调控单元提供温度调控讯号，并透过所述多晶硅层利用所述温度调控讯号对在所述容置空间内的所述待测流体进行加热并调控所述待测流体的温度，使得所述待测流体的所述温度在达到默...

【专利技术属性】
技术研发人员：高熹腾，
申请(专利权)人：高熹腾，
类型：发明
国别省市：