载具沉积物清洁装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种载具沉积物清洁装置，涉及载具清洁技术领域，缓解了现有技术中存在的传统方法清洁载具清洗周期长、清洗工艺复杂，影响后续产品的产能的技术问题。本实施例提供的载具沉积物清洁装置，包括用于支撑载具的主体、相机构件、激光构件、第一导向部和第二导向部；主体上设置有沿第一方向延伸的第一导轨，第一方向设置于水平面；第一导向部和第二导向部滑动连接于第一导轨，且第一导向部上设置有沿第二方向延伸的第二导轨，第二导向部上设置有沿第二方向延伸的第三导轨；相机构件滑动连接于第二导轨，激光构件滑动连接于第三导轨；第二方向在水平面内垂直于第一方向。第二方向在水平面内垂直于第一方向。第二方向在水平面内垂直于第一方向。

【技术实现步骤摘要】
载具沉积物清洁装置


[0001]本技术涉及载具清洁
，尤其是涉及一种载具沉积物清洁装置。

技术介绍

[0002]在大多数沉积设备中，载具作为承载产品的运输部件。长期使用后，载具表面沉积大量膜层后会掉渣，某些特殊材质的膜层暴露在大气中会吸收大气回到设备中后又释放出来，释放出来的杂质气体会影响产品质量和造成生产工艺的波动，需要定期对载具进行清洗处理。
[0003]但是，目前镀膜设备载具对产品质量的影响是一个无法避免的问题，用传统的方法清洗载具，不仅清洗周期长，而且清洗工艺复杂，影响后续产品的产能。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种载具沉积物清洁装置，以缓解现有技术中存在的传统方法清洁载具清洗周期长、清洗工艺复杂，影响后续产品的产能的技术问题。
[0005]本技术提供的载具沉积物清洁装置，包括：用于支撑载具的主体、相机构件、激光构件、第一导向部和第二导向部；
[0006]所述主体上设置有沿第一方向延伸的第一导轨，所述第一方向设置于水平面；
[0007]所述第一导向部和所述第二导向部滑动连接于所述第一导轨，且所述第一导向部上设置有沿第二方向延伸的第二导轨，所述第二导向部上设置有沿第二方向延伸的第三导轨；
[0008]所述相机构件滑动连接于所述第二导轨，所述激光构件滑动连接于所述第三导轨；
[0009]所述第二方向在水平面内垂直于所述第一方向。
[0010]在可选的实施方式中，
[0011]所述第一导轨包括两个平行设置的第一齿条；
[0012]所述第一导向部设置有第一齿轮，所述第一齿轮与所述第一齿条啮合。
[0013]在可选的实施方式中，
[0014]所述第一导轨还包括两个平行设置的第二齿条；
[0015]所述第二导向部设置有第二齿轮，所述第二齿轮与所述第二齿条啮合。
[0016]在可选的实施方式中，
[0017]所述第二导轨设置有第三齿条；
[0018]所述相机构件设置有第三齿轮，所述第三齿轮与所述第三齿轮啮合。
[0019]在可选的实施方式中，
[0020]所述第三导轨设置有第四齿条；
[0021]所述激光构件设置有第四齿轮，所述第四齿轮与所述第四齿条啮合。
[0022]在可选的实施方式中，
[0023]所述相机构件包括相机升降电机和相机组件；
[0024]所述相机升降电机的输出端与所述相机组件连接；
[0025]所述相机组件配置为能够沿第三方向移动；
[0026]所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向构成的水平面。
[0027]在可选的实施方式中，
[0028]所述激光构件包括激光升降电机和激光组件；
[0029]所述激光升降电机的输出端与所述激光组件连接；
[0030]所述激光组件配置为能够沿第三方向移动；
[0031]所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向构成的水平面。
[0032]在可选的实施方式中，
[0033]所述载具沉积物清洁装置还包括防尘伸缩罩；
[0034]所述防尘伸缩罩与所述主体连接，所述防尘伸缩罩罩设所述第一齿条和所述第二齿条。
[0035]在可选的实施方式中，
[0036]所述载具沉积物清洁装置还包括相机防尘伸缩罩和激光防尘伸缩罩；
[0037]所述相机防尘伸缩罩与所述第一导向部连接，且所述相机防尘伸缩罩罩设所述第二导轨；
[0038]所述激光防尘伸缩罩与所述第二导向部连接，且所述激光防尘伸缩罩罩设所述第三导轨。
[0039]在可选的实施方式中，
[0040]所述载具沉积物清洁装置还包括吸尘管道；
[0041]所述主体内设置有滑料斜板，所述滑料斜板设置有出尘孔，所述滑料斜板与所述主体的侧壁之间围设形成与所述出尘孔连通的集尘腔，所述吸尘管道与所述集尘腔连通。
[0042]本实施例提供的载具沉积物清洁装置，相机构件可沿着第二方向在第二导轨上移动，激光构件可沿着第二方向在第三导轨上移动，同时，第一导向部和第二导向部可沿着第一方向在第一导轨上移动，因此，相机构件和激光构件也可在第一方向上移动，即可实现相机构件和激光构件相对于载具移动，利用相机构件对载具多个点位拍照，经过图像处理计算出载具上沉积物膜层厚度，利用激光构件对载具表面每个地方的膜层进行清除，即可清洁载具，延长载具的使用次数，提升产品效率，缓解了现有技术中存在的传统方法清洁载具清洗周期长、清洗工艺复杂，影响后续产品的产能的技术问题。
附图说明
[0043]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0044]图1为本技术实施例提供的载具沉积物清洁装置的整体结构示意图；
[0045]图2为本技术实施例提供的载具沉积物清洁装置中相机构件的放大结构示意图；
[0046]图3为本技术实施例提供的载具沉积物清洁装置中第一导向部的局部放大示意图；
[0047]图4为本技术实施例提供的载具沉积物清洁装置中第二导向部的局部放大示意图；
[0048]图5为本技术实施例提供的载具沉积物清洁装置另一角度的结构示意图；
[0049]图6为图5中A视角的局部放大示意图；
[0050]图7本技术实施例提供的载具沉积物清洁装置另一角度的结构示意图；
[0051]图8为图7中B视角的局部放大示意图。
[0052]图标：10
‑
载具；100
‑
主体；110
‑
第一齿条；120
‑
第二齿条；130
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防尘伸缩罩；140
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滑料斜板；141
‑
出尘孔；200
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相机构件；210
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第三电机；220
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相机升降电机；230
‑
相机组件；240
‑
第三齿轮；300
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激光构件；310
‑
第四电机；320
‑
激光升降电机；330
‑
激光组件；340
‑
第四齿轮；400
‑
第一导向部；410
‑
第三齿条；420
‑
第一电机；430
‑
相机防尘伸缩罩；440
‑
第一齿轮；500
‑
第二导向部；510
‑
第四齿条；520
‑
第二电机；530
‑
激光防尘伸缩罩；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种载具沉积物清洁装置，其特征在于，包括：用于支撑载具(10)的主体(100)、相机构件(200)、激光构件(300)、第一导向部(400)和第二导向部(500)；所述主体(100)上设置有沿第一方向延伸的第一导轨，所述第一方向设置于水平面；所述第一导向部(400)和所述第二导向部(500)滑动连接于所述第一导轨，且所述第一导向部(400)上设置有沿第二方向延伸的第二导轨，所述第二导向部(500)上设置有沿第二方向延伸的第三导轨；所述相机构件(200)滑动连接于所述第二导轨，所述激光构件(300)滑动连接于所述第三导轨；所述第二方向在水平面内垂直于所述第一方向。2.根据权利要求1所述的载具沉积物清洁装置，其特征在于，所述第一导轨包括两个平行设置的第一齿条(110)；所述第一导向部(400)设置有第一齿轮(440)，所述第一齿轮(440)与所述第一齿条(110)啮合。3.根据权利要求2所述的载具沉积物清洁装置，其特征在于，所述第一导轨还包括两个平行设置的第二齿条(120)；所述第二导向部(500)设置有第二齿轮(540)，所述第二齿轮(540)与所述第二齿条(120)啮合。4.根据权利要求3所述的载具沉积物清洁装置，其特征在于，所述第二导轨设置有第三齿条(410)；所述相机构件(200)设置有第三齿轮(240)，所述第三齿轮(240)与所述第三齿轮(240)啮合。5.根据权利要求4所述的载具沉积物清洁装置，其特征在于，所述第三导轨设置有第四齿条(510)；所述激光构件(300)设置有第四齿轮(340)，所述第四齿轮(340)与所述第四齿条(510)啮合。6.根据权利要求1所述的载具沉积物清洁装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：王星辰，苟杰，张伟建，陆黎华，周楷，赵小东，
申请(专利权)人：苏州迈为科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：