本实用新型专利技术公开了一种蒸发料的酸洗装置，包括酸洗槽、集液槽和隔离挡板，酸洗槽上设置有相互连通的进料口和酸洗腔，酸洗腔贯穿酸洗槽的底部而形成漏孔；集液槽上设置有相互连通的集液口和集液腔，酸洗槽位于集液口的上方并通过缓震弹簧安装在集液槽上，酸洗槽和/或酸洗槽和集液槽之间设置有安装口，隔离挡板可插接于安装口内或抽出安装口外以覆盖或脱离漏孔的顶部和/或底部而控制漏孔的封闭或打开，当漏孔打开时，漏孔与集液口正对并相互连通。本实用新型专利技术在对蒸发料表面杂质进行有效清洗的同时，可保护蒸发料表面的光泽度且能够保护表面减少被划伤。表面减少被划伤。表面减少被划伤。
【技术实现步骤摘要】
一种蒸发料的酸洗装置
[0001]本技术涉及一种酸洗设备，尤其涉及一种蒸发料的酸洗装置。
技术介绍
[0002]真空蒸镀，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀的物理过程包括：沉积材料蒸发或升华为气态粒子
→
气态粒子快速从蒸发源向基片表面输送
→
气态粒子附着在基片表面形核、长大成固体薄膜
→
薄膜原子重构或产生化学键合。
[0003]常见的蒸发材料包括：金属材料、二氧化硅、五氧化二钽等。因为蒸镀的特点，对于蒸发料的表面洁净度要求较高，行业上经常选择用酸洗的方式清洗蒸发料表面的杂质从而达到使用要求。但是对于一些常见的铝以及铜等金属蒸发材料，表面光泽度较高，因此在洗掉表面杂质的同时还要求保持蒸发料本身的光泽度。同时铝自身质软的特性，导致在酸洗搅拌过程中很容易被搅拌棒或者周边蒸发材料划伤表面，损坏材料外观。
[0004]因此，急需一种既可达到清洗蒸发料表面杂质要求，又可以保护蒸发料表面的光泽度且保护表面减少被划伤的酸洗装置。
技术实现思路
[0005]为了克服现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种蒸发料的酸洗装置，在对蒸发料表面杂质进行有效清洗的同时，可保护蒸发料表面的光泽度且能够保护表面减少被划伤。
[0006]本技术的目的采用如下技术方案实现：
[0007]一种蒸发料的酸洗装置，包括：
[0008]酸洗槽，其上设置有相互连通的进料口和用于收容酸洗溶液和蒸发料的酸洗腔，所述酸洗腔贯穿酸洗槽的底面而形成用于供酸洗溶液通过的漏孔；
[0009]集液槽和隔离挡板，所述集液槽上设置有相互连通的集液口和集液腔，所述酸洗槽位于集液口的上方并通过缓震弹簧安装在集液槽上，所述酸洗槽和/或所述酸洗槽和集液槽之间设置有安装口，所述隔离挡板可插接于安装口内或抽出安装口外以覆盖或脱离漏孔的顶部和/或底部而控制漏孔的封闭或打开，当所述漏孔打开时，所述漏孔与集液口正对并相互连通。
[0010]进一步地，所述隔离挡板包括两个挡板本体和两个连接板，所述安装口的数量为两个且分别开设在酸洗槽以及所述酸洗槽和集液槽之间，两个所述挡板本体上下间隔设置并通过连接板连接而形成中空结构，两个所述挡板本体可分别插接于两个安装口内以覆盖漏孔的顶部和底部而控制漏孔的封闭。
[0011]进一步地，所述酸洗槽上的安装口由所述酸洗腔往酸洗槽的一侧面贯穿而成，所述酸洗槽上于酸洗腔的内壁上形成有两个导向槽，两个所述导向槽沿隔离挡板的运动方向布置并分别位于安装口的两侧，所述隔离挡板与两个导向槽滑动连接。
的顶部和底部而控制漏孔3的封闭或打开，当漏孔3打开时，漏孔3与集液口6 正对并能够通过酸洗槽1和集液槽4之间的安装口14与集液口6连通。
[0029]在上述结构的基础上，酸洗槽1通过缓震弹簧7安装在集液槽4的上方，且可通过隔离挡板5插接于两个安装口14内或从两个安装口14抽出而控制漏孔3的封闭或打开，并可限制漏孔3与集液口6的连通。
[0030]使用时，将隔离挡板5插入两个安装口14内，隔离挡板5能覆盖酸洗槽1 上漏孔3的顶部和底部，进而将漏孔3封闭。此时，将蒸发料和酸洗溶液从进料口2放入酸洗槽1的酸洗腔内，施加外力在左右、前后方向上摇晃酸洗槽1，隔离挡板5将随酸洗槽1一同摇晃并可始终紧抵漏孔3的顶部和底部，从而使酸洗溶液能与蒸发料的表面充分接触，在对蒸发料表面杂质进行有效清洗的同时，可保护蒸发料表面的光泽度且能够保护表面减少被划伤。
[0031]酸洗结束后，不再施加外力摇晃酸洗槽1，在缓震弹簧7的作用下，酸洗槽 1和隔离挡板5能够移动复位。将隔离挡板5从两个安装口14抽出，此时酸洗槽1底部的漏孔3打开并能够与集液口6正对，使漏孔3通过酸洗槽1和集液槽4之间的安装口14与集液口6连通，使得酸洗腔内的酸洗溶液能经漏孔3落入下方的集液腔内，以对酸洗溶液进行收集处理，最后将蒸发料从进料口2取出即可，便于出料。
[0032]在其它实施例中，安装口14的数量为一个，仅设置在酸洗槽1或酸洗槽1 和集液槽4之间，隔离挡板5为实心的一体化结构，可插接于安装口14内或抽出安装口14外以覆盖或脱离漏孔3的顶部或底部而控制漏孔3的封闭或打开。
[0033]作为本技术的优选实施例，其还可具有以下附加技术特征：
[0034]在本实施例中，隔离挡板5包括连接板12和两个挡板本体11，安装口14 的数量为两个且分别开设在酸洗槽1以及酸洗槽1和集液槽4之间，两个挡板本体11上下间隔设置并通过连接板12连接而形成中空结构13，两个挡板本体 11可分别插接于两个安装口14内以覆盖漏孔3的顶部和底部而控制漏孔3的封闭。
[0035]具体地，连接板12分别与两个挡板本体11的一端连接，使之构成一个整体结构，便于握持使用。更具体地，可通过设置连接板的尺寸，即中空结构的高度，以使两个挡板本体11能分别紧抵于漏孔3的顶部和底部而实现漏孔3的有效封闭。使用时，可同时将两个挡板本体11分别插入对应的安装口14内，即位于上侧的挡板本体11插接于酸洗槽1上的安装口14内、位于下侧的挡板本体11插接于酸洗槽1和集液槽4之间形成的安装口14内，省时省力，使两个挡板本体11能够分别置于酸洗槽1上各个漏孔3的顶部和底部，能更好的防止酸洗溶液从漏孔3漏出，且隔离挡板5可随酸洗槽1一同摇晃，有利于实现有效的酸洗作业，可延长隔离挡板5的使用寿命而加强保护。
[0036]当酸洗结束后，可同时将两个挡板本体11分别从对应的安装口14抽出，使隔离挡板5整体往远离安装口14的方向移动至位于安装口14处的挡板本体 11其远离连接板12的一端能封闭安装口14而不遮挡各个漏孔3的位置上，从而可避免酸洗腔内的酸洗溶液经安装口14流出酸洗槽1外部，使得酸洗溶液经漏孔3落入下方的集液腔内。
[0037]在其它实施例中，隔离挡板5包括两个挡板本体11，两个挡板本体11为独立的两个部件，需要采用两只手或分两次才能将两个挡板本体11插入两个安装口14内或从两个安装口14内抽出。
[0038]更具体地，酸洗槽1上的安装口14由酸洗腔往酸洗槽1的一侧面贯穿而成，酸洗槽1
上于酸洗腔的内壁上形成有两个导向槽8，即在酸洗槽1于安装口14 的两侧壁上形成有两个导向槽8，两个导向槽8沿隔离挡板5的运动方向布置并分别位于安装口14的两侧，隔离挡板5与两个导向槽8滑动连接，可利于引导挡板本体11在安装口14处的移动。
[0039]更佳的实施方式是，隔离挡板5的一端上设置有密封件，具体地，位于上方的挡板本体11其远离连接板12的一端上设置有密封件，当从酸洗槽1上的安装口14抽出挡板本体11时，该挡板本体11移动至全部漏孔3外露的位置即可，并通过其端部上的密封件与酸洗槽1上于安装口14的内壁紧密贴合，可利于防止酸洗腔内的酸洗溶液从该安装口14泄漏至酸洗腔外。
[0040]在本实施本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种蒸发料的酸洗装置，其特征在于，包括：酸洗槽(1)，其上设置有相互连通的进料口(2)和用于收容酸洗溶液和蒸发料的酸洗腔，所述酸洗腔贯穿酸洗槽(1)的底面而形成用于供酸洗溶液通过的漏孔(3)；集液槽(4)和隔离挡板(5)，所述集液槽(4)上设置有相互连通的集液口(6)和集液腔，所述酸洗槽(1)位于集液口(6)的上方并通过缓震弹簧(7)安装在集液槽(4)上，所述酸洗槽(1)和/或所述酸洗槽(1)和集液槽(4)之间设置有安装口(14)，所述隔离挡板(5)可插接于安装口(14)内或抽出安装口(14)外以覆盖或脱离漏孔(3)的顶部和/或底部而控制漏孔(3)的封闭或打开，当所述漏孔(3)打开时，所述漏孔(3)与集液口(6)正对并相互连通。2.如权利要求1所述的蒸发料的酸洗装置，其特征在于，所述隔离挡板(5)包括两个挡板本体(11)和两个连接板(12)，所述安装口(14)的数量为两个且分别开设在酸洗槽(1)以及所述酸洗槽(1)和集液槽(4)之间，两个所述挡板本体(11)上下间隔设置并通过连接板(12)连接而形成中空结构(13)，两个所述挡板本体(11)可分别插接于两个安装口(14)内以覆盖漏孔(3)的顶部和底部而控制漏孔(3)的封闭。3.如权利要求1所述的蒸发料的酸洗装置，其特征在于，所述酸洗槽(1)上的安...
【专利技术属性】
技术研发人员：岳晓聪，黄宇彬，李明山，潘铭枫，童培云，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：新型
国别省市：
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