一种锁紧装置及测试机制造方法及图纸

本申请涉及一种锁紧装置及测试机。该锁紧装置包括：主体板、第一锁紧滑块、第二锁紧滑块、第三锁紧滑块与驱动缸，第一锁紧滑块、第二锁紧滑块与第三锁紧滑块平行设置在主体板上，与主体板滑动连接，第三锁紧滑块设置在第一锁紧滑块与第二锁紧滑块中间位置。第一、第二与第三锁紧滑块之间传动连接；第一、第二与第三锁紧滑块上设置有导轨，导轨沿第一、第二与第三锁紧滑块滑动方向延伸，导轨一端与主体板的距离比另一端远。驱动缸设置在主体板上，驱动第一、第二与第三锁紧滑块滑动。由此，可以通过第一、第二与第三锁紧滑块在多个位置将测试板锁紧在主体板上，从而使测试板的受力更加均匀，提高测试板与主体板之间连接的稳定性与精度。度。度。

【技术实现步骤摘要】
一种锁紧装置及测试机


[0001]本专利技术涉及集成电路测试
，特别是指一种锁紧装置及测试机。

技术介绍

[0002]ATE(Automatic Test Equipment，集成电路自动测试机)是用于对半导体集成电路(IC)等被测器件进行自动化测试的设备，在测试被测器件时，一般将被测器件设置在界面测试板上，然后将该界面测试板与测试头内部的资源板卡输出接口对接锁紧，从而通过测试头内部资源板卡发送测试信号给界面测试板上的被测器件，并接收被测器件的反馈信号，以完成对被测器件的测试。
[0003]对于不同的被测器件界面测试板通常也不同，为便于替换维护，界面测试板往往在测试机的顶部。
[0004]测试机内部的资源板卡，在输出接口端一般有相应的探针块或连接器，探针块上布置有数量较多的探针。测试机内部会根据终端测试用户的需求，配置不同数量的资源板卡，探针的数量往往可以达到几千至几万根。而这些探针最终是要与界面测试板接触，形成有效的电信号路径，才能完成被测器件的测试。在两者接触的过程中，需要特别注意两方面，一是界面测试板在下压过程中，需要克服探针的弹力。下压力取决于探针的数量及单根探针下压到位时的弹力，下压力一般在1000N至8000N的范围。二是界面测试板在下压过程中需要平稳，每根探针需要精准地接触到界面测试板上相应金属触点(Pad)位置，保证电气定义的正确性。这对于锁紧界面测试板的装置就提出了很高的要求，需要保证装置产生的锁紧力足够克服探针的弹力，同时界面测试板在锁紧下压过程要避免变形，以保证运行平稳，位置精准。因此，亟需一种锁紧装置及测试机，以能在对测试板进行锁紧下压的过程中避免测试板因受力过大而引起变形，以保证运行平稳，测试板连接位置的精准。

技术实现思路

[0005]鉴于现有技术的以上问题，本申请提供一种锁紧装置及测试机，以能在对测试板进行锁紧下压的过程中避免测试板因受力过大而引起变形，以保证运行平稳，位置精准。
[0006]本申请第一方面提供一种锁紧装置，包括：主体板；第一锁紧滑块、第二锁紧滑块与第三锁紧滑块，所述第一锁紧滑块、所述第二锁紧滑块与所述第三锁紧滑块平行设置在所述主体板上，与所述主体板滑动连接，所述第三锁紧滑块设置在所述第一锁紧滑块与所述第二锁紧滑块中间位置，所述第一锁紧滑块、所述第二锁紧滑块与所述第三锁紧滑块之间传动连接；所述第一锁紧滑块、所述第二锁紧滑块与所述第三锁紧滑块上设置有导轨，所述导轨沿所述第一锁紧滑块、所述第二锁紧滑块与所述第三锁紧滑块滑动方向延伸，所述导轨一端与所述主体板的距离比另一端远，并在所述第一锁紧滑块、所述第二锁紧滑块与所述第三锁紧滑块上形成有开口；驱动缸，所述驱动缸设置在所述主体板上，与所述第一锁紧滑块、所述第二锁紧滑块以及所述第三锁紧滑块传动连接，驱动所述第一锁紧滑块、所述第二锁紧滑块以及所述第三锁紧滑块由所述导轨的另一端朝向所述导轨的一端方向滑动。
[0007]由上，通过在第一锁紧滑块、第二锁紧滑块与第三锁紧滑块上的导轨一端与主体板的距离比另一端远，从而可以使测试板上的固定销由开口进入导轨后，通过使第一锁紧滑块、第二锁紧滑块与第三锁紧滑块由导轨的另一端朝向导轨的一端方向滑动，使固定销沿导轨移动，由导轨的一端移动到导轨的另一端。由于导轨一端与主体板的距离比另一端远，从而使测试板朝向主体板移动，以实现对测试板的锁紧。通过将第三锁紧滑块设置在第一锁紧滑块与第二锁紧滑块的中间位置，从而可以在驱动测试板朝向主体板移动时，使测试板的受力更加均匀，避免测试板两端与中间位置的受力差距过大，引起测试板的变形。从而可以提高测试板与主体板之间连接时的稳定性与精度。
[0008]作为第一方面的一种可能的实现方式，所述第三锁紧滑块设置有多个，在所述第一锁紧滑块与所述第二锁紧滑块之间对称排列。
[0009]由上，通过在第一锁紧滑块与第二锁紧滑块之间设置多个第三锁紧滑块，从而可以在驱动测试板朝向主体板移动时，使测试板的受力更加均匀，避免测试板两端位置的受力差距过大，引起测试板的变形。从而可以提高测试板与主体板之间连接时的稳定性与精度。
[0010]作为第一方面的一种可能的实现方式，所述第三锁紧滑块成对且平行设置，所述第一锁紧滑块、所述第二锁紧滑块与所述第三锁紧滑块中，相邻两者之间滑动方向相反，所述导轨的所述开口方向相反。
[0011]由上，通过使第一锁紧滑块、第二锁紧滑块与第三锁紧滑块中，相邻两者之间滑动方向相反，使导轨的开口方向相反，从而可以使相邻的固定销在导轨中移动时受到的与主体板平行的力的方向相反，从而可以提高测试板朝向主体板移动时的稳定性。
[0012]作为第一方面的一种可能的实现方式，还包括：助力杆，所述助力杆与所述第三锁紧滑块传动连接。
[0013]由上，通过设置助力杆，可以采用手动的方式操作助力杆，驱动第三锁紧滑块滑动，进而驱动第一锁紧滑块与第二锁紧滑块滑动。由此，可以在第一驱动缸、第二驱动缸出现故障时手动完成测试板与主体板之间的锁紧与分离，从而提高了锁紧装置的灵活性。
[0014]作为第一方面的一种可能的实现方式，所述导轨的延伸方向与所述主体板之间的角度范围为5
°
至20
°
。
[0015]由上，通过将导轨的延伸方向与主体板之间的角度范围设定为5
°
至20
°
，从而可以避免导轨与主体板之间的角度过小时，为了达到测试板与主体板之间实现锁紧时的距离，而使导轨的长度过长，进而使第一驱动缸、第二驱动缸驱动第一锁紧滑块、第二锁紧滑块与第三锁紧滑块滑动的距离过长，影响导轨的布设。还可以避免导轨与主体板之间的角度过大时，使得需要驱动杆驱动第一锁紧滑块、第二锁紧滑块与第三锁紧滑块滑动时所需要的驱动力过大，从而缩小了驱动缸的选择范围，提高了驱动缸的设备成本。
[0016]作为第一方面的一种可能的实现方式，还包括：定位销，所述定位销垂直设置在所述主体板上。
[0017]由上，通过在主体板上设置定位销，从而可以与测试板上的定位孔进行配合，以对测试板进行定位，使测试板在接近主体板的过程中，能够保持垂直于主体板的方向移动。由此，可以提高测试板与主体板之间连接时的稳定性与精度。
[0018]作为第一方面的一种可能的实现方式，所述定位销设置有多个。
[0019]由上，通过设置多个定位销，可以提高对测试板进行定位的稳定性。
[0020]作为第一方面的一种可能的实现方式，还包括：传动杆，所述第一锁紧滑块、所述第二锁紧滑块与所述第三锁紧滑块之间通过所述传动杆传动连接，所述第一锁紧滑块、所述第二锁紧滑块与所述第三锁紧滑块位于所述传动杆同一侧位置。
[0021]由上，通过将第一锁紧滑块、第二锁紧滑块与第三锁紧滑块设置在传动杆同一侧位置，从而可以简化第一锁紧滑块、第二锁紧滑块与第三锁紧滑块之间的传动结构，节省安装空间。
[0022]本申请第二方面提供一种测试机，包括：锁紧装置，所述锁紧装置为本申请第一方面中任一项所述的锁紧装置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种锁紧装置，其特征在于，包括：主体板；第一锁紧滑块、第二锁紧滑块与第三锁紧滑块，所述第一锁紧滑块、所述第二锁紧滑块与所述第三锁紧滑块平行设置在所述主体板上，与所述主体板滑动连接，所述第三锁紧滑块设置在所述第一锁紧滑块与所述第二锁紧滑块中间位置，所述第一锁紧滑块、所述第二锁紧滑块与所述第三锁紧滑块之间传动连接；所述第一锁紧滑块、所述第二锁紧滑块与所述第三锁紧滑块上设置有导轨，所述导轨沿所述第一锁紧滑块、所述第二锁紧滑块与所述第三锁紧滑块滑动方向延伸，所述导轨一端与所述主体板的距离比另一端远，并在所述第一锁紧滑块、所述第二锁紧滑块与所述第三锁紧滑块上形成有开口；驱动缸，所述驱动缸设置在所述主体板上，与所述第一锁紧滑块、所述第二锁紧滑块以及所述第三锁紧滑块传动连接，驱动所述第一锁紧滑块、所述第二锁紧滑块以及所述第三锁紧滑块由所述导轨的另一端朝向所述导轨的一端方向滑动。2.根据权利要求1所述的锁紧装置，其特征在于，所述第三锁紧滑块设置有多个，在所述第一锁紧滑块与所述第二锁紧滑块之间对称排列。3.根据权利要求2所述的锁紧装置，其特征在于，所述第三锁紧滑块成对且平行设置，所述第一锁紧滑块、所述第二锁紧滑块与所述第三锁紧滑块中，相邻两者之间滑动方向相反，所述导轨的所述开口方向相...

【专利技术属性】
技术研发人员：张文，赵奔，居宁，
申请(专利权)人：北京华峰测控技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：