有源像素传感器电路制造技术

本发明专利技术公开了一种像素电路，其包括：硅衬底，其具有将光强度转换为电压信号的光电二极管；和两个金属层，其布置在衬底上并具有像素控制电路。第一金属层包括行迹线和复位迹线，第二金属层包括列迹线和电压供应迹线。行迹线携带信号，该信号在读出阶段触发开关以将光电二极管耦合到列迹线，并在复位阶段将光电二极管处的电压清零。列迹线与在像素的ＣＭＯＳ阵列中的信号捕获电路接口，以捕获对应于各个光电二极管处的每一个电压电平的数字图像。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术一般地涉及有源像素传感器的电路。更具体地说，本专利技术涉及能够降低CMOS像素阵列中金属和氧化物层的厚度和/或数量的像素捕获电路。
技术介绍
数字照相机和其他成像设备一般具有设备阵列，例如布置在CMOS微芯片上用于捕获和存储图像的像素。每个设备及其相关电路将在图像的每个像素位置检测到的光强度转变为可以被数字化以用于存储、再现和处理的电压信号，这里，每个设备及其相关电路的组合通常被称为有源像素传感器(APS)。图1是示出了传统三晶体管APS 100的一种实现的示意图，该APS将图像的一个像素数字化。在APS 100阵列中的像素的数量决定所捕获图像的分辨率。一般的APS 100像素包括三个晶体管120、121和122，以及设置在硅区上的光电二极管125，在所述硅区的上面设置了多个金属层。一般需要多个金属层是因为APS 100需要五条终端迹线(trace)以用于操作。这是因为，传统CMOS阵列上各个APS 100之间的宽度一般只允许足够的空间用于每个金属层两条终端迹线。所述五条终端迹线包括RESET(复位)110、PRESET(预置)111、Vdd112、COLUMN(列)1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种像素捕获电路，包括：像素捕获设备，其具有节点，且可操作以在所述节点将光强度转换为像素信号，所述像素信号代表所捕获的像素；和携带行信号的行节点，其可操作以在读取所捕获的像素期间将所述节点耦合到列迹线，且可操作以在复位阶段将 所述节点设定为预定信号电平。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杰弗里史蒂文贝克，马修迈克尔博格，
申请(专利权)人：安捷伦科技有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]