一种等离子沉积用的夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及工装夹具领域，公开一种等离子沉积用的夹具，它包括立杆、横杆以及夹具，立杆上沿其径向开设有A通孔，横杆滑动安装在A通孔内，立杆上还开设有螺纹孔，A通孔与螺纹孔连通，螺纹孔内拧有锁止横杆的螺栓，横杆上设置有锁止结构，锁止结构用于将夹具锁死在横杆上。本实用新型专利技术的有益效果是：通过夹具夹紧基体进行离子沉积不易发生掉落，同时安装夹具的横杆通过螺栓紧固在立杆上，结构稳固且拆装方便，而立杆上还可设置多根横杆，上下横杆之间交叉设置，增加了夹具数量，提高了一次沉积的产量，且夹具之间互不遮挡，保证了基体沉积的质量。质量。质量。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子沉积用的夹具


[0001]本技术涉及工装夹具领域，特别是一种等离子沉积用的夹具。

技术介绍

[0002]等离子体化学气相沉积是指用等离子体激活反应气体，促进在基体表面或近表面空间进行化学反应，生成固态膜的技术。其工作原理是：在高频或者直流电场的作用下，原气体电离形成等离子体，利用低温等离子体作为能量源，通入适量的反应气体，利用等离子体放电﹐使反应气体激活并实现化学气相沉积的功能。
[0003]中国技术专利(授权公告号：CN202020159784名称：等离子体沉积用夹具)包括用于竖向支撑基体的支撑基板，平行设置在支撑基板两端的第一夹板组件和第二夹板组件，第一夹板组件、第二夹板组件均包括多个子夹板，相对设置的子夹板之间设有用于对基体进行限位的弹性丝线，子夹板上开设有多个间隔设置的横向限位槽，横向限位槽的内壁上下开设有多个纵向限位槽，弹性丝线绕设在横向限位槽或纵向限位槽上。在子夹板上设置横向限位槽、纵向限位槽，并通过弹性丝线对竖向放置的基体进行横向或纵向限位，基体表面仅与弹性丝线接触，与夹具的接触面积更小，既可以避免因基体水平放置在夹具上，导致基体两侧的沉积不均匀的问题，又可以适应不同尺寸的基体气相沉积的需要，但是弹性丝线作为基体的支持体，结构并不稳固，当基板或者子夹板受到意外撞击而发生振动时，易导致弹性丝线上的基体掉落，影响对基体的等离子沉积。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种等离子沉积用的夹具，以克服现有技术的缺点。
[0005]本技术的目的通过以下技术方案来实现：一种等离子沉积用的夹具，包括立杆、横杆以及夹具，所述立杆上沿其径向开设有A通孔，所述横杆滑动安装在所述A通孔内，所述立杆上还开设有螺纹孔，所述A通孔与所述螺纹孔连通，所述螺纹孔内拧有锁止所述横杆的螺栓，所述横杆上设置有锁止结构，所述锁止结构用于将所述夹具锁死在所述横杆上。
[0006]优选地，所述夹具包括安装板、方框、夹块以及弹簧，所述安装板通过所述锁止结构锁死在所述横杆上，所述方框固设在所述安装板上，方框的两相对的内侧壁上均开设有滑槽，所述夹块的端部滑动安装在对应的所述滑槽内，所述弹簧通过所述夹块压缩安装在所述方框内。
[0007]优选地，所述安装板的正面与背面上均安装有一对所述方框，位于同一面的一对所述方框分别位于所述横杆的两侧。
[0008]优选地，每块所述夹块对应设置一对所述弹簧，所述弹簧的两端均套有定位柱，所述弹簧一端的所述定位柱固设在所述夹块上，所述弹簧另一端的所述定位柱固设在所述方框的内壁上，所述滑槽由所述弹簧的一端向另一端延伸，且所述滑槽的延伸长度不大于所述弹簧的初始长度。
[0009]优选地，所述锁止结构包括螺纹和一对螺母，所述螺纹设置在所述横杆上，且所述
螺纹由所述横杆的端部向所述立杆延伸，所述安装板上开设有B通孔，所述横杆的螺纹段插入所述B通孔内，一对所述螺母拧在所述横杆的螺纹段上，通过拧紧一对所述螺母将所述安装板夹紧在所述横杆上。
[0010]优选地，所述锁止结构包括螺纹、一颗螺母以及卡槽，所述螺纹设置在所述横杆上，且所述螺纹由所述横杆的端部向所述立杆延伸，所述卡槽开设在所述横杆的螺纹段上，且所述卡槽延伸至所述横杆的螺纹段的端部，所述安装板卡在所述卡槽的槽底，所述螺母拧在所述横杆的螺纹段上，通过拧紧所述螺母将所述安装板卡紧在所述卡槽的槽底。
[0011]优选地，所述横杆上设置有一对所述夹具，一对所述夹具分别位于所述立杆的两侧。
[0012]优选地，所述横杆的中部开设有一对定位槽，所述螺栓抵紧在一个所述定位槽的槽底上，所述A通孔卡在另一个所述定位槽内。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果为：
[0014]通过夹具夹紧基体进行离子沉积不易发生掉落，同时安装夹具的横杆通过螺栓紧固在立杆上，结构稳固且拆装方便，而立杆上还可设置多根横杆，上下横杆之间交叉设置，增加了夹具数量，提高了一次沉积的产量，且夹具之间互不遮挡，保证了基体沉积的质量。
附图说明
[0015]图1为等离子体沉积装置的结构示意图；
[0016]图2为本技术的结构示意图；
[0017]图3为图2中A处的局部放大示意图；
[0018]图4为图2中B处的局部放大示意图；
[0019]图中，1
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立杆，2
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横杆，3
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螺纹孔，4
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安装板，5
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方框，6
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夹块，7
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弹簧，8
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螺母，9
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卡槽， 10
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定位槽，11
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腔体，12
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公转转盘，13
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阴极板。
具体实施方式
[0020]为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施方式的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0021]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。
[0022]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施方式及实施方式中的特征可以相互组合。
[0023]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0024]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者
是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0025]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0026]如图2所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子沉积用的夹具，其特征在于：包括立杆(1)、横杆(2)以及夹具，所述立杆(1)上沿其径向开设有A通孔，所述横杆(2)滑动安装在所述A通孔内，所述立杆(1)上还开设有螺纹孔(3)，所述A通孔与所述螺纹孔(3)连通，所述螺纹孔内拧有锁止所述横杆(2)的螺栓，所述横杆(2)上设置有锁止结构，所述锁止结构用于将所述夹具锁死在所述横杆(2)上。2.根据权利要求1所述的一种等离子沉积用的夹具，其特征在于：所述夹具包括安装板(4)、方框(5)、夹块(6)以及弹簧(7)，所述安装板(4)通过所述锁止结构锁死在所述横杆(2)上，所述方框(5)固设在所述安装板(4)上，方框(5)的两相对的内侧壁上均开设有滑槽，所述夹块(6)的端部滑动安装在对应的所述滑槽内，所述弹簧(7)通过所述夹块(6)压缩安装在所述方框(5)内。3.根据权利要求2所述的一种等离子沉积用的夹具，其特征在于：所述安装板(4)的正面与背面上均安装有一对所述方框(5)，位于同一面的一对所述方框(5)分别位于所述横杆(2)的两侧。4.根据权利要求3所述的一种等离子沉积用的夹具，其特征在于：每块所述夹块(6)对应设置一对所述弹簧(7)，所述弹簧(7)的两端均套有定位柱，所述弹簧(7)一端的所述定位柱固设在所述夹块(6)上，所述弹簧(7)另一端的所述定位柱固设在所述方框(5)的内壁上，所述滑槽由所述弹簧(7)的一端向另一端延伸，且所述滑槽的延伸长度不大于所述弹簧的初始长度。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：汪振波，
申请(专利权)人：宁波聚膜新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：