激光刻蚀均热板的制造方法及均热板技术

本发明专利技术公开了一种激光刻蚀均热板的制造方法及均热板，其中激光刻蚀均热板的制造方法包括以下步骤：在盖板上激光刻蚀蒸发槽；在盖板上激光刻蚀微米槽阵，微米槽阵包括有若干沿蒸发槽的周向间隔排布且连通蒸发槽的毛细沟槽，并且在任意相邻的两毛细沟槽之间形成有第一隔条；对盖板进行修整；将盖板保存于去离子水或超纯水中。通过激光在盖板上刻蚀具有毛细作用的微米槽阵，简化盖板的制造工序，降低均热板的制造周期；在激光刻蚀时，盖板的表面会形成不稳定的氧化物，氧化物作为催化剂将空气中的二氧化碳还原成碳，碳附着在盖板上，从而降低盖板的亲水性和毛细作用，将盖板保存在去离子水或超纯水中，避免盖板接触空气，防止碳附着在盖板上。附着在盖板上。附着在盖板上。

【技术实现步骤摘要】
激光刻蚀均热板的制造方法及均热板


[0001]本专利技术涉及电子设备
，特别是涉及一种激光刻蚀均热板的制造方法及均热板。

技术介绍

[0002]近年来随着5G无线通信、自动驾驶、无人机、机器人等技术不断发展，5G商用牌照已在各国陆续发放使用。手机、平板、笔记本电脑等终端电子产品不断朝着高性能、集成化、小型化与轻薄化的方向发展。许多设备和通信厂商迅速发布了5G电子产品，比如5G智能手机，5G技术带来了更佳地用户体验，同时也意味着更高功耗。功耗增大必然对相关产品在狭小空间下的散热能力提出了更高的要求。超薄热管和均热板作为一种通过相变原理进行散热的散热产品是当前的热点，已广泛应用于终端电子产品中。现有均热板具有蒸发区以及用于形成毛细吸力的并将液态工质抽向蒸发区的内部结构。但随着功耗与热量的攀升，在现有均热板构造下，其散热效率已经接近瓶颈，且散热板的制造工艺较为复杂。

技术实现思路

[0003]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种激光刻蚀均热板的制造方法，降低了均热板的制造周期，且制造的均热板具有较好的散热效率。
[0004]本专利技术还提供了一种由上述激光刻蚀均热板的制造方法制造的均热板。
[0005]根据本专利技术第一方面实施例的激光刻蚀均热板的制造方法，包括以下步骤：
[0006]在盖板上激光刻蚀蒸发槽；
[0007]在盖板上激光刻蚀微米槽阵，其中，微米槽阵包括有若干沿蒸发槽的周向间隔排布且连通蒸发槽的毛细沟槽，并且在任意相邻的两毛细沟槽之间形成有第一隔条；
[0008]对盖板进行修整；
[0009]将盖板保存于去离子水或超纯水中。
[0010]根据本专利技术第一方面实施例的激光刻蚀均热板的制造方法，至少具有如下有益效果：
[0011]通过激光在盖板上刻蚀具有毛细作用的微米槽阵，简化了盖板的制造工序，从而降低了均热板的制造周期；在激光刻蚀的过程中，在盖板的表面会形成有不稳定的氧化物，该氧化物能够作为催化剂将空气中的二氧化碳还原成碳，碳会附着在盖板的表面，从而降低盖板的亲水性和毛细作用，通过将激光蚀刻后的盖板保存在去离子水或超纯水中，可以避免盖板接触空气，从而可以防止碳附着在盖板的表面，进而保证盖板的亲水性和毛细作用。
[0012]根据本专利技术第一方面一些实施例的激光刻蚀均热板的制造方法，在盖板上激光刻蚀微米槽阵，包括以下步骤：
[0013]在毛细沟槽的槽底激光蚀刻多孔结构；
[0014]在第一隔条的表面激光刻蚀表面波纹结构。
[0015]根据本专利技术第一方面一些实施例的激光刻蚀均热板的制造方法，在盖板上激光刻蚀微米槽阵，还包括以下步骤：
[0016]在盖板上激光刻蚀连通蒸发槽的第一毛细沟槽，其中，随着距蒸发槽的距离的增加，第一毛细沟槽的两相对的槽壁之间的距离逐渐增加。
[0017]根据本专利技术第一方面一些实施例的激光刻蚀均热板的制造方法，在盖板上激光刻蚀微米槽阵，还包括以下步骤：
[0018]在每一第一毛细沟槽远离蒸发槽的一侧激光蚀刻至少两个连通第一毛细沟槽的第二毛细沟槽，其中，第一毛细沟槽和第二毛细沟槽组合形成毛细沟槽。
[0019]根据本专利技术第一方面一些实施例的激光刻蚀均热板的制造方法，在盖板上激光刻蚀微米槽阵，还包括以下步骤：
[0020]在盖板上激光刻蚀首尾相通且贯穿第一隔条的缓冲沟槽。
[0021]根据本专利技术第一方面一些实施例的激光刻蚀均热板的制造方法，激光刻蚀用到的激光器为皮秒或飞秒激光器，激光刻蚀用到的激光的重复频率为10KHz
‑
10000KHz，功率为1
‑
1000W，扫描速度为10
‑
10000mm/s，焦斑大小为1
‑
300μm，扫描次数为单次或多次。
[0022]根据本专利技术第一方面一些实施例的激光刻蚀均热板的制造方法，对盖板进行修整，包括以下步骤：
[0023]将盖板进行整平处理，使平面度达到要求。
[0024]根据本专利技术第一方面一些实施例的激光刻蚀均热板的制造方法，对盖板进行修整，包括以下步骤：
[0025]将盖板放入超声波清洗机清洗，去除激光刻蚀后的残留物；
[0026]将盖板用干燥空气吹干。
[0027]根据本专利技术第一方面一些实施例的激光刻蚀均热板的制造方法，还包括有以下步骤：
[0028]在激光蚀刻时，使用压缩氮气吹扫加工平面。
[0029]根据本专利技术第二方面一些实施例的均热板，包括有上述第一方面实施例的激光刻蚀均热板的制造方法制造而成。
[0030]根据本专利技术第二方面一些实施例的均热板，至少具有如下有益效果：
[0031]采用上述第一方面实施例的激光刻蚀均热板的制造方法制造而成的盖板的亲水性和毛细作用。
[0032]本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0033]本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0034]图1为本专利技术实施例中盖板的结构示意图；
[0035]图2为图1的局部放大图；
[0036]图3为图1中另一区域的局部放大图；
[0037]图4为本专利技术实施例的流程图；
[0038]图5为图4中在盖板上激光刻蚀微米槽阵的流程图；
[0039]图6为图4中对盖板进行修整的流程图。
[0040]附图标记：
[0041]蒸发槽100；毛细沟槽200；第一毛细沟槽200a；第二毛细沟槽200b；多孔结构210；表面波纹结构220；第二隔条230；缓冲沟槽300；第一隔条400。
具体实施方式
[0042]下面详细描述本专利技术的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0043]在本专利技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、左、右、前、后等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0044]在本专利技术的描述中，如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0045]本专利技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本专利技术中的具体含义。
[0046]以下参照附图1至附图6，描述本专利技术第一方面实施例的激光刻蚀均热板的制造方法本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光刻蚀均热板的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：在盖板上激光刻蚀蒸发槽；在所述盖板上激光刻蚀微米槽阵，其中，所述微米槽阵包括有若干沿所述蒸发槽的周向间隔排布且连通所述蒸发槽的毛细沟槽，并且在任意相邻的两所述毛细沟槽之间形成有第一隔条；对所述盖板进行修整；将盖板保存于去离子水或超纯水中。2.根据权利要求1所述的激光刻蚀均热板的制造方法，其特征在于，所述在所述盖板上激光刻蚀微米槽阵，包括以下步骤：在所述毛细沟槽的槽底激光蚀刻多孔结构；在所述第一隔条的表面激光刻蚀表面波纹结构。3.根据权利要求2所述的激光刻蚀均热板的制造方法，其特征在于，所述在所述盖板上激光刻蚀微米槽阵，还包括以下步骤：在盖板上激光刻蚀连通所述蒸发槽的第一毛细沟槽，其中，随着距所述蒸发槽的距离的增加，所述第一毛细沟槽的两相对的槽壁之间的距离逐渐增加。4.根据权利要求3所述的激光刻蚀均热板的制造方法，其特征在于，所述在所述盖板上激光刻蚀微米槽阵，还包括以下步骤：在每一所述第一毛细沟槽远离所述蒸发槽的一侧激光蚀刻至少两个连通所述第一毛细沟槽的第二毛细沟槽，其中，所述第一毛细沟槽和所述第二毛细沟槽组合形成所述毛细沟槽。5.根据权利要求2所述的激光刻蚀均热板的制造方法，其特征在于，所述在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈国榕，王勇，许金玲，徐志文，梁平平，
申请(专利权)人：领新新加坡有限公司，
类型：发明
国别省市：