一种含砷废水连续收集零污染排放装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及含砷废水排放装置领域，尤其涉及一种含砷废水连续收集零污染排放装置。其技术方案，包括：进水口、一号收集槽、二号收集槽、三号收集槽和水封桶，进水口一端分别连通有一号导水管和二号导水管，一号导水管上设有一号阀门，二号导水管上设有二号阀门，本实用新型专利技术具有如下有益的技术效果：通过一号阀门、二号阀门和取样泵以及砷表便于持续收集和检测含砷废水的浓度，进而判断含砷废水是否达标排放到废水站还是外运，减少外运耗费的成本；通过五号阀门将砷表检测过程中的取样水排放到收集槽，避免含砷废水溢流到外界，污染环境。境。境。

【技术实现步骤摘要】
一种含砷废水连续收集零污染排放装置


[0001]本技术涉及含砷废水排放装置领域，尤其涉及一种含砷废水连续收集零污染排放装置。

技术介绍

[0002]在砷化镓集成电路芯片过程中，即以砷化镓作为衬底进行芯片生产其生产过程中产生的含砷废水主要来源于抛光、背面减薄工艺。在产生过程中产生两股含砷废水：其一为无机颗粒态砷化镓研磨废水，清洗工艺产生的含砷废水，其主要以大量超纯水及各种酸碱有机清洗剂清洗芯片，该过程产生的含砷废水成分复杂，但污染物浓度较低。另一种含砷废气洗涤塔吸收废液则废水量小，污染物浓度高。
[0003]目前行业中都是把这两股废水合并稀释后排放到废水站进行处理。由于砷的高毒性和致癌性，在GB8978
‑
1996《污水综合排放标准》中总砷被列于第一类污染物，最高允许排放浓度为0.5mg/L。半导体行业排放监管的日趋严格，对含砷废水的收集和处理要求越来越高。传统的两股含砷废水的合并稀释不但需要大量的水资源而且无法解决砷超标的问题。不在适应环保要求。
[0004]目前大多数含砷废水排放装置，无法检测砷废水中砷的含量，以此来判断含砷废水是否达标排放到废水站还是外运。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是针对
技术介绍
中存在的问题，提出一种含砷废水连续收集零污染排放装置，使其便于持续收集和检测含砷废水的浓度。
[0006]本技术的技术方案：一种含砷废水连续收集零污染排放装置，包括：进水口、一号收集槽、二号收集槽、三号收集槽和水封桶，所述进水口一端分别连通有一号导水管和二号导水管，所述一号导水管上设有一号阀门，所述二号导水管上设有二号阀门。
[0007]优选的，所述一号导水管远离进水口一端与二号收集槽连通，所述二号导水管远离进水口一端与一号收集槽连通，所述一号收集槽和二号收集槽一侧均通过导管连通有电磁阀，两个所述电磁阀中间设有取样泵，两个所述电磁阀相互靠近的一端均与取样泵连通，所述取样泵上安装有砷表。
[0008]优选的，所述取样泵远离两个电磁阀一端连通有三号导水管，所述三号导水管上设有三号阀门，所述三号导水管上位于三号阀门远离取样泵一端设有一号提升泵，所述一号提升泵远离三号阀门一端分别连通有四号阀门和出水口，所述四号阀门远离一号提升泵一端与三号收集槽连通，所述三号收集槽一端连通有二号提升泵，所述三号收集槽顶部开设有导水口。
[0009]优选的，所述取样泵一端通过导管连通有两个五号阀门，两个所述五号阀门远离取样泵一端分别与一号收集槽和二号收集槽连通。
[0010]优选的，所述水封桶位于地坑内，所述一号收集槽、二号收集槽和三号收集槽上的
溢流口均通过管道与水封桶连通。
[0011]优选的，所述一号收集槽、二号收集槽和三号收集槽上部均安装有排气装置。
[0012]与现有技术相比，本技术具有如下有益的技术效果：通过一号阀门、二号阀门和取样泵以及砷表便于持续收集和检测含砷废水的浓度，进而判断含砷废水是否达标排放到废水站还是外运，减少外运耗费的成本；通过五号阀门将砷表检测过程中的取样水排放到收集槽，避免含砷废水溢流到外界，污染环境。
附图说明
[0013]图1给出了本技术一种实施例的组装结构示意图；
[0014]图2为本技术一种实施例的一号取样泵连接结构示意图。
[0015]附图标记：1、进水口；2、一号收集槽；3、二号收集槽；4、三号收集槽；5、水封桶；6、一号导水管；7、二号导水管；8、二号阀门；9、一号阀门；10、电磁阀；11、取样泵；12、砷表；13、三号导水管；14、三号阀门；15、一号提升泵；16、四号阀门；17、出水口；18、排气装置；19、导水口；20、二号提升泵；21、五号阀门。
具体实施方式
[0016]下文结合附图和具体实施例对本技术的技术方案做进一步说明。
[0017]实施例一
[0018]如图1和图2所示，本技术提出的一种含砷废水连续收集零污染排放装置，包括：进水口1、一号收集槽2、二号收集槽3、三号收集槽4和水封桶5，一号导水管6和二号导水管7分别连通于进水口1一端，一号阀门9设于一号导水管6上，二号阀门8设于二号导水管7上。
[0019]二号收集槽3与一号导水管6远离进水口1一端连通，一号收集槽2与二号导水管7远离进水口1一端连通，一号收集槽2和二号收集槽3一侧均通过导管连通有电磁阀10，取样泵11位于两个电磁阀10中间，取样泵11均与两个电磁阀10相互靠近的一端连通，砷表12安装于取样泵11上。
[0020]三号导水管13连通于取样泵11远离两个电磁阀10一端，三号阀门14设于三号导水管13上，一号提升泵15设于三号导水管13上位于三号阀门14远离取样泵11一端，一号提升泵15远离三号阀门14一端分别连通有四号阀门16和出水口17，三号收集槽4与四号阀门16远离一号提升泵15一端连通，二号提升泵20连通于三号收集槽4一端，导水口19开设于三号收集槽4顶部。
[0021]基于实施例一的工作原理是：AS机台含砷废水排放后从进水口1进入，开始二号阀门8打开，一号阀门9关闭，含砷废水进入一号收集槽2中，待一号收集槽2收集到高液位后，一号阀门9打开二号阀门8关闭，含砷废水在一号收集槽2内静置两个小时含砷检测工艺要求让废水充分混合。这时电磁阀10打开，含砷废水通过取样泵11和其上的砷表12检测一号收集槽2内的砷废水浓度，如果浓度低于零点五ppm零点五mg/L。打开三号阀门14，通过一号提升泵15将一号收集槽2内的含砷废液输送到废水站。反之打开三号阀门14和四号阀门16，通过一号提升泵15把废液输送到三号收集槽4内，该收集槽内的容积是一号收集槽2和二号收集槽3的两倍。其过程中当一号收集槽2内的含砷废水排放到低液位后停止。
[0022]如果含砷废水二号收集槽3内收集至高液位，这时一号阀门9关闭，二号阀门8打开，并使二号收集槽3内的砷废水静置两个小时。重复前面的步骤，检测二号收集槽3内的砷废水浓度进而排放到相应的三号收集槽4或者低浓度通过出水口17排放到废水站，高浓度的砷废水会直接通过导水口19进入三号收集槽4内，三号收集槽4内的高浓度砷废水会通过二号提升泵20将其导入槽罐车内，进行外运处理。
[0023]实施例二
[0024]如图1所示，基于实施例一的基础上，本技术提出的一种含砷废水连续收集零污染排放装置，两个五号阀门21均通过导管连通与取样泵11一端，一号收集槽2和二号收集槽3分别与两个五号阀门21远离取样泵11一端连通。
[0025]水封桶5位于地坑内，水封桶5均通过管道与一号收集槽2、二号收集槽3和三号收集槽4上的溢流口连通。
[0026]一号收集槽2、二号收集槽3和三号收集槽4上部均安装有排气装置18。
[0027]基于实施例二的工作原理是：砷表12检测过程中的取样水会通过取样泵11和五号阀门21排放到一号收集槽2内或二号收集槽3内，这样就不会有任何含砷废水本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种含砷废水连续收集零污染排放装置，包括：进水口(1)、一号收集槽(2)、二号收集槽(3)、三号收集槽(4)和水封桶(5)，其特征在于：所述进水口(1)一端分别连通有一号导水管(6)和二号导水管(7)，所述一号导水管(6)上设有一号阀门(9)，所述二号导水管(7)上设有二号阀门(8)。2.根据权利要求1所述的一种含砷废水连续收集零污染排放装置，其特征在于，所述一号导水管(6)远离进水口(1)一端与二号收集槽(3)连通，所述二号导水管(7)远离进水口(1)一端与一号收集槽(2)连通，所述一号收集槽(2)和二号收集槽(3)一侧均通过导管连通有电磁阀(10)，两个所述电磁阀(10)中间设有取样泵(11)，两个所述电磁阀(10)相互靠近的一端均与取样泵(11)连通，所述取样泵(11)上安装有砷表(12)。3.根据权利要求2所述的一种含砷废水连续收集零污染排放装置，其特征在于，所述取样泵(11)远离两个电磁阀(10)一端连通有三号导水管(13)，所述三号导水管(13)上设有三号阀门(14)，所述三号导水管(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：张银良，黄香，季胜杰，薛伟石，郁春，
申请(专利权)人：源众电子系统科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：