硅片自动测试设备制造技术

本实用新型专利技术公开的属于硅片检测技术领域，具体为硅片自动测试设备，包括底座和顶板，所述顶板安装在底座的上端，还包括：用于对硅片长度和宽度测量的测量组件，所述测量组件安装在顶板上；用于支撑硅片横向和纵向放置的支撑组件，所述支撑组件安装在底座上，所述测量组件包括伸缩杆一和连接块一，本实用新型专利技术有益效果是：通过对硅片放置台上侧设置测量组件，以竖夹板对硅片两侧端进行夹持后通过红外距离传感器测量长度，然后通过硅片放置台自动转动90度后，再次对硅片进行夹持检测，自动测量出硅片的宽度，硅片检测过程中自动进行操作，不仅提高了硅片的测量效率，而且保证工人操作的安全性。安全性。安全性。

【技术实现步骤摘要】
硅片自动测试设备


[0001]本技术涉及硅片检测
，具体为硅片自动测试设备。

技术介绍

[0002]硅片是制作晶体管和集成电路的原料，一般是单晶硅的切片，硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力，科学技术的发展不断推动着半导体的发展，硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低，因此需要对来料硅片进行检测，工序主要用来对硅片的一些技术参数进行在线测量。
[0003]现有的硅片在生产后，需要再对硅片的长度和宽度进行检测，硅片的长度和宽度达标后，生产的硅片才是合格的，但是硅片长度检测后，还需要工人再次放置硅片的位置，再对硅片急性宽度检测，从而导致了硅片的检测效率低的问题。
[0004]因此，专利技术硅片自动测试设备很有必要。

技术实现思路

[0005]鉴于上述和/或现有硅片自动测试设备中存在的问题，提出了本技术。
[0006]因此，本技术的目的是提供硅片自动测试设备，通过对硅片放置台上侧设置测量组件，以竖夹板对硅片两侧端进行夹持后通过红外距离传感器测量长度，然后通过硅片放置台自动转动90度后，再次对硅片进行夹持检测，自动测量出硅片的宽度，硅片检测过程中自动进行操作，不仅提高了硅片的测量效率，而且保证工人操作的安全性，能够解决上述提出现有硅片长度检测后，还需要工人再次放置硅片的位置，再对硅片急性宽度检测，从而导致了硅片的检测效率低的问题。
[0007]为解决上述技术问题，根据本技术的一个方面，本技术提供了如下技术方案：
[0008]硅片自动测试设备，其包括：底座和顶板，所述顶板安装在底座的上端，还包括：
[0009]用于对硅片长度和宽度测量的测量组件，所述测量组件安装在顶板上；
[0010]用于支撑硅片横向和纵向放置的支撑组件，所述支撑组件安装在底座上。
[0011]作为本技术所述的硅片自动测试设备的一种优选方案，其中：所述测量组件包括伸缩杆一和连接块一，所述伸缩杆一安装在顶板的上端，所述连接块一安装在伸缩杆一的输出端。
[0012]作为本技术所述的硅片自动测试设备的一种优选方案，其中：所述连接块一的右端安装有竖夹板一，所述竖夹板一的右端安装有支撑板，所述支撑板的内壁开设有滑槽。
[0013]作为本技术所述的硅片自动测试设备的一种优选方案，其中：所述滑槽内侧滑动安装连接块二，所述连接块二的外壁安装有限位块，所述限位块在滑槽上侧滑动，所述连接块二下端安装有竖夹板二，所述竖夹板二的内壁安装有红外线接收管。
[0014]作为本技术所述的硅片自动测试设备的一种优选方案，其中：所述竖夹板一的左端安装有伸缩杆二，所述伸缩杆二的输出端和连接块二相连接，所述竖夹板一的左端还安装有红外距离传感器。
[0015]作为本技术所述的硅片自动测试设备的一种优选方案，其中：所述支撑组件包括支撑架和支撑杆，所述支撑架安装在底座的上端，所述支撑杆转动安装在支撑架的上端内侧。
[0016]作为本技术所述的硅片自动测试设备的一种优选方案，其中：所述支撑架上侧外侧安装有电机，所述电机输出端连接支撑杆，所述支撑杆的上端安装有用于放置硅片的支撑台。
[0017]作为本技术所述的硅片自动测试设备的一种优选方案，其中：所述支撑台的上端粘贴有贴片，所述支撑台的侧端安装有限位板。
[0018]与现有技术相比：
[0019]通过对硅片放置台上侧设置测量组件，以竖夹板对硅片两侧端进行夹持后通过红外距离传感器测量长度，然后通过硅片放置台自动转动90度后，再次对硅片进行夹持检测，自动测量出硅片的宽度，硅片检测过程中自动进行操作，不仅提高了硅片的测量效率，而且保证工人操作的安全性。
附图说明
[0020]图1为本技术硅片自动测试设备的结构图一；
[0021]图2为本技术硅片自动测试设备中支撑板安装的示意图；
[0022]图3为本技术硅片自动测试设备中支撑台的俯视图；
[0023]图4为本技术硅片自动测试设备中支撑架安装的俯视图；
[0024]图5为本技术硅片自动测试设备的结构图二。
[0025]图中：底座1、顶板11、测量组件2、伸缩杆一21、连接块一22、伸缩杆二23、红外距离传感器24、红外线接收管241、竖夹板一25、竖夹板二26、限位块261、连接块二262、支撑板27、滑槽271、支撑组件3、支撑架31、电机32、支撑杆33、支撑台34、贴片35、限位板36。
具体实施方式
[0026]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术的实施方式作进一步地详细描述。
[0027]本技术提供硅片自动测试设备，请参阅图1
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5，包括底座1和顶板11；
[0028]顶板11安装在底座1的上端，用于顶板11用于支撑伸缩杆一21安装的作用，还包括：用于对硅片长度和宽度测量的测量组件2，测量组件2安装在顶板11上；用于支撑硅片横向和纵向放置的支撑组件3，支撑组件3安装在底座1上。
[0029]测量组件2包括伸缩杆一21和连接块一22，伸缩杆一21安装在顶板11的上端，伸缩杆一21用于支撑竖夹板一25和竖夹板二26进行升降的作用，竖夹板一25和竖夹板二26升降可以调节竖夹板二26最低端的位置，还方便支撑台34进行转动，连接块一22安装在伸缩杆一21的输出端，连接块一22用于支撑竖夹板一25的作用，连接块一22的右端安装有竖夹板一25，竖夹板一25用于夹持在硅片的一侧端的作用，竖夹板一25的右端安装有支撑板27，支
撑板27用于支撑限位块261限位滑动的作用，支撑板27的内壁开设有滑槽271，滑槽271用于对连接块二262导向滑动的作用，滑槽271内侧滑动安装连接块二262，连接块二262用于支撑竖夹板二26左右移动，调整竖夹板二26的横向位置，连接块二262的外壁安装有限位块261，限位块261用于支撑竖夹板二26限位滑动的作用，使竖夹板二26在移动的时候不会发生偏斜，限位块261在滑槽271上侧滑动，连接块二262下端安装有竖夹板二26，竖夹板二26用于夹持在硅片对立侧端的作用，竖夹板二26的内壁安装有红外线接收管241，竖夹板一25的左端安装有伸缩杆二23，伸缩杆二23的输出端和连接块二262相连接，竖夹板一25的左端还安装有红外距离传感器24，红外距离传感器24照射竖夹板二26上的红外线接收管241，从而测量竖夹板一25距离竖夹板二26之间的距离，从而测量硅片的长度。
[0030]支撑组件3包括支撑架31和支撑杆33，支撑架31安装在底座1的上端，支撑架31用于对支撑杆33和支撑台34进行支撑的作用，支撑杆33转动安装在支撑架31的上端内侧，支撑杆33用于对支撑台34进行支撑转动的作用，支撑架31上侧外侧安装有电机32，电机32用于带动支撑杆33进行转动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.硅片自动测试设备，包括底座(1)和顶板(11)，所述顶板(11)安装在底座(1)的上端，其特征在于，还包括：用于对硅片长度和宽度测量的测量组件(2)，所述测量组件(2)安装在顶板(11)上；用于支撑硅片横向和纵向放置的支撑组件(3)，所述支撑组件(3)安装在底座(1)上。2.根据权利要求1所述的硅片自动测试设备，其特征在于，所述测量组件(2)包括伸缩杆一(21)和连接块一(22)，所述伸缩杆一(21)安装在顶板(11)的上端，所述连接块一(22)安装在伸缩杆一(21)的输出端。3.根据权利要求2所述的硅片自动测试设备，其特征在于，所述连接块一(22)的右端安装有竖夹板一(25)，所述竖夹板一(25)的右端安装有支撑板(27)，所述支撑板(27)的内壁开设有滑槽(271)。4.根据权利要求3所述的硅片自动测试设备，其特征在于，所述滑槽(271)内侧滑动安装连接块二(262)，所述连接块二(262)的外壁安装有限位块(261)，所述限位块(261)在滑槽(271)上侧滑动，...

【专利技术属性】
技术研发人员：高波，祝伟，
申请(专利权)人：仟格仪器上海有限公司，
类型：新型
国别省市：