光检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及具有用来能够进行高灵敏度且动态范围宽的光检测的结构的光检测装置。如果光入射于光检测部内的有源像素型的像素部，则根据该像素部中所含有的光电二极管中发生的电荷量的电压值经由选择用晶体管从像素部输出。第一像素数据读出部把来自像素部的输出作为第一电压值输出。另一方面，像素部中所含有的光电二极管中发生的电荷经由放电用晶体管从像素部输出。经由开关流入第二像素数据读出部的电荷蓄积于电容元件，根据此蓄积电荷量的电压值作为第二电压值从第二像素数据读出部输出。第二像素数据读出部内的电容元件的电容值大于像素部中所含有的寄生电容部的电容值。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种光检测装置，其特征在于，具有：　　　　像素部，该像素部包括：发生对应于入射光强度的量的电荷的光电二极管、输出根据蓄积于在栅极端子上所形成的寄生电容部的电荷的量的电压值的放大用晶体管、把在所述光电二极管中发生的电荷向所述放大用晶体管的栅极端子传送的传送用晶体管、把所述寄生电容部的电荷初始化的放电用晶体管、以及有选择地输出从所述放大用晶体管所输出的电压值的选择用晶体管；　　　　读出从所述像素部的所述选择用晶体管所输出的电压值，输出根据此电压值的第一电压值的第一像素数据读出部；　　　　具有连接于所述像素部的所述放电用晶体管的第一端子、输入用来把所述像素部的所述放大用晶体管的栅极端子的电荷初始化的偏置电位的第二端子、以及第三端子，电气上连接在所述第一端子与所述第二端子之间或所述第一端子与所述第三端子之间的连接切换部；以及　　　　输入端子连接于所述连接切换部的所述第三端子，包含具有电容值大于所述寄生电容部的电容值的电容元件，把从所述连接切换部的所述第三端子流入到所述输入端子的电荷蓄积于所述电容元件，输出根据该蓄积的电荷的量的第二电压值的第二像素数据读出部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：水野诚一郎，杉山行信，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]