一种节能型银靶材的晶粒辊压细化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及晶粒细化技术领域，具体为一种节能型银靶材的晶粒辊压细化装置，包括机床，所述机床的内部卡接固定有银靶材本体，所述银靶材本体的表面卡接固定连接有三角卡盘，所述三角卡盘的表面设置有辅助细化装置，所述底座的内部分别固定连接有上辊压轮和下辊压轮，所述辅助细化装置的底部设置有收集装置，所述收集装置的表面设置有收集箱。本实用新型专利技术通过设置辅助细化装置和收集装置，达到机床在带动银靶材本体转动时利用三角卡盘进行滑动辊压细化和表面清理的效果，达到降低银靶材本体的晶粒大小，达到使银靶材本体的均匀性更好的目的，同时利用转动的银靶材本体作为动力来源，进一步达到节能的效果。进一步达到节能的效果。进一步达到节能的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种节能型银靶材的晶粒辊压细化装置


[0001]本技术涉及晶粒细化
，具体为一种节能型银靶材的晶粒辊压细化装置。

技术介绍

[0002]在双银低辐射玻璃的制造过程中，会涉及到玻璃的溅射等工艺，所采用的靶材主要有平面银靶材及旋转银靶材，旋转银靶材具有利用率高、使用时间长、溅射过程中产生较少的电弧等优点，故使得旋转银靶材越来越受到人们的关注，但是，旋转银靶材在使用过程中的均匀性较差，在调试好后的使用过程中，旋转银靶材的均匀性常常发生变化，由于均匀性的变化导致镀膜玻璃的银膜层的厚度变化，从而导致镀膜玻璃颜色产生色差
[0003]为了提高旋转银靶材的均匀性，需要将旋转银靶材表面的晶粒进行辊压细化，但是现有的细化装置要么时人员利用工具辅助进行，要么就是利用气缸进行辅助细化，银靶材在进行细化时本身就需要电机带动其进行转动，在用一个气缸进行辅助细化，不满足节能的要求，同时在细化的过程中银靶材表面的晶粒会不断掉落，需要人工后期进行清理，鉴于此，我们提出一种节能型银靶材的晶粒辊压细化装置。

技术实现思路

[0004]本说明书提供一种节能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种节能型银靶材的晶粒辊压细化装置，包括机床(1)，其特征在于：所述机床(1)的内部卡接固定有银靶材本体(2)，所述银靶材本体(2)的表面卡接固定连接有三角卡盘(3)，所述三角卡盘(3)的表面设置具有推动功能的辅助细化装置(4)，所述辅助细化装置(4)的表面设置有底座(5)，所述底座(5)的内部分别固定连接有上辊压轮(6)和下辊压轮(7)，所述辅助细化装置(4)的底部设置具有清理功能的收集装置(8)，所述收集装置(8)的表面设置有收集箱(9)。2.根据权利要求1所述的一种节能型银靶材的晶粒辊压细化装置，其特征在于：所述辅助细化装置(4)包括有推杆(41)和固定座(47)，所述推杆(41)的后端与三角卡盘(3)的前部固定连接，所述推杆(41)的表面滑动连接有空心滑座(42)，所述空心滑座(42)的右侧固定连接有连杆(43)，所述连杆(43)远离空心滑座(42)的一侧固定连接有滑动座(44)，所述滑动座(44)的左侧固定连接有调节弹簧(45)，所述连杆(43)的底部固定连接有折形齿杆(46)。3.根据权利要求2所述的一种节能型银靶材的晶粒辊压细化装置，其特征在于：所述连杆(43)的表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘现庆，
申请(专利权)人：澜晶科技沈阳有限公司，
类型：新型
国别省市：